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包括电感器的射频集成电路及其制造方法与流程
文档序号:11955945
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来源:国知局
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包括电感器的射频集成电路及其制造方法与流程
技术总结
一种射频集成电路(RFIC)包括:衬底;N型深阱区域,其设置在衬底的上部区域中,并且具有与衬底的顶表面共面的顶表面;电感器,其设置在N型深阱区域之上;以及绝缘层,其设置在电感器与N型深阱区域之间,其中电感器通过绝缘层与N型深阱区域电绝缘。
技术研发人员:
崔祯训
受保护的技术使用者:
爱思开海力士有限公司
文档号码:
201510303450
技术研发日:
2015.06.04
技术公布日:
2016.12.07
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