专利名称：射频电感耦合等离子体灭菌器的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种新型的射频电感耦合等离子体灭菌器，尤其是在真空室中的等离 子体是采用电感耦合的方式产生的等离子体灭菌装置。
背景技术：
在医疗领域随着各种高新医疗仪器和器材的日益广泛应用，如何对这些器械进行低温灭菌和高效消毒成为医疗领域的新难题。传统高温湿灭菌已不能适应快速、高效、无 腐蚀、无变性的新要求。液态灭菌剂，如戊二醛类，由于其刺激性、毒性及腐蚀性，已无法实 现对精密医疗器械，如口腔类器材的灭菌，只能用于一般的消毒。而常用的环氧乙烷灭菌耗 时长，对器要求高，具毒性大。用简单的气体过氧化氢及液态过氧乙酸灭菌，其操作复杂，待 灭菌材料，如葡聚酸，塑料和橡胶等常用的医疗器械材料的化学变性，以及对医疗人员的刺 激，损伤，也是其无法避免的缺陷。射频真空低温等离子体技术已广泛的应用于(1)薄膜材料的制备。(2)材料表面 的改性。(3)表面溅射和表面刻蚀等。(4)材料表面的清洗以及材料表面的消毒和灭菌。但是，通常的射频低温真空等离子体灭菌柜是采用射频电容耦合的放电产生形 式，与电感耦合的放电形式比较(1)由于电容极板放置在真空室内中占有一定的空间，使 实际的灭菌空间变小，等离子体的利用率也较低。(2)采用电容耦合放电时真空室的造价较 高。(3)真空室制造成本低。
发明内容为了提高真空室内的等离子体的放电效率和增加消毒灭菌区域，本发明提供一种 新型的射频电感耦合等离子体灭菌器，包括一个壳体及壳体内的真空室、射频电源、抽气系 统，其特征在于在该壳体内的真空室是一个由绝缘材料制成的圆筒腔体及在圆筒腔体上 下的两个密封板面构成，其中上密封板面是一个盖面，该盖面通过电极控制的升降杆来实 现开和闭，下密封板上设有真空泵抽气口和放气阀口，在该圆筒腔体的外壁包覆有电感线 圈形式的射频电极天线，在该真空室内设有载物框架，等离子体是产生在真空室内。所述的射频电感耦合等离子体灭菌器，其特征在于在壳体内的真空室是一个由 绝缘材料制成的圆筒腔体及在圆筒上下的两个密封板面构成，其中上密封板面是个盖面， 下密封板上设有密封垫圈、真空泵抽气口和放气阀口，在该真空室的中间位置设有载物灭 菌框架。所述的射频电感耦合等离子体灭菌器，其特征在于在该圆筒腔体的外壁包覆有 电感射频电极，该射频电极是缠绕在圆筒壁的外侧形成一个电感线圈，其线圈一端与射频 电源的输出端连接，另一端与壳体连接并接地，等离子体放电是通过该射频线圈天线激发 的电场能量电离圆筒腔体内的气体产生的。所述的射频电感耦合等离子体灭菌器，其特征在于该灭菌器壳体内还包括一个 射频电源、一个直线电极、进气和抽气系统、自动控制系统。射频电源选用频率为13.56MHz或27. 12MHz的电源及相应的匹配器；直线电机带动与盖面连接的升降杆来实现开和闭，在该盖面上设有密封槽、密封圈和通气口，该通气口通过气体阀门与一个超声雾化装置连接， 打开电磁阀开关，可以让雾化罐中被超声后的雾化液体进入到真空室内。所述的射频电感耦合等离子体灭菌器，其特征在于该壳体面板上设有PLC控制 操作系统来控制进气开关、电磁阀开关、抽气泵开关、电机开关以及射频电源开关。本发明是一种新型的射频电感耦合等离子体灭菌器，其优点是电感耦合等离子 体效率高，真空室的等离子体生产空间大，真空室成本低。
图(1)为本发明射频电感耦合等离子体灭菌器结构剖视视示意图；图(2)为本发明射频电感耦合等离子体灭菌器局部真空室盖面结构示意图。首先，请参阅图(1)和图(2)，该射频电感耦合等离子体灭菌器，该灭菌器壳体内 还包括一个壳体100，及壳体内的真空室200、射频电源115、一个直线电机113、进气和抽气 系统、以及一个自动控制系统。在该壳体内的真空室200是一个由绝缘材料制成的圆筒型腔体105及在圆筒105 上下的两个密封板面108和103构成，其中上密封板面108是一个盖面，该盖面通过电机 113控制的升降杆107来实现开和闭，在该盖面108上设有密封圈109和一个与通气导管 118连接的进气口 119，气体通过气体控制阀门与一个超声雾化罐117连接，打开气体导管 的阀开关可以让雾化罐中被超声后的雾化液体进入到真空室200腔体内。下密封板103上设有密封垫圈、真空泵抽气口 102和放气阀口 104，在该真空室的 中间位置设有载物灭菌框架114，被灭菌的物体是放置在该灭菌框架114上。在该真空室圆 筒105的外壁包覆有电感射频电极106，该射频电极106是缠绕在圆筒105壁外侧形成一个 电感，其一端与射频电源115的输出端连接，另一端与壳体连接并接地，等离子体放电是通 过该射频电极106天线激发电离圆筒105腔体内的气体产生的。在壳体100的上面一侧安装触摸屏110以及PLC控制系统，由PLC控制的打印机 111。超声雾化罐117中的液面高度可以由一个透明玻璃管112显示；在壳体100下部安装 一个机械泵101。该壳体100可以采用金属材料也可以采用聚合物材料制成，真空室腔体圆筒105 是采用玻璃或玻璃钢材料制成，射频电极106是采用金属薄片或金属线制成，被消毒的器 械可以放置在灭菌框架114中进行消毒。上面参考附图结合具体的实施例对本发明进行了描述，然而，需要说明的是，对于 本领域的技术人员而言，在不脱离本发明的精神和范围的情况下，可以对上述实施例作出 许多改变和修改，这些改变和修改都落在本发明的权利要求限定的范围内。
权利要求
一种新型的射频电感耦合等离子体灭菌器，包括一个壳体及壳体内的真空室、射频电源、抽气系统，其特征在于在该壳体内的真空室是一个由绝缘材料制成的圆筒腔体及在圆筒腔体上下的两个密封板面构成，其中上密封板面是一个盖面，该盖面通过电极控制的升降杆来实现开和闭，下密封板上设有真空泵抽气口和放气阀口，在该圆筒腔体的外壁包覆有电感线圈形式的射频电极天线，在该真空室内设有载物框架，等离子体是产生在真空室内。
2.如权利要求1所述的射频电感耦合等离子体灭菌器，包括一个壳体及壳体内的真空 室、射频电源、抽气系统，其特征在于在壳体内的真空室是一个由绝缘材料制成的圆筒腔 体及在圆筒上下的两个密封板面构成，其中上密封板面是个盖面，在该盖面上设有密封圈 和充气口，下密封板上设有密封垫圈、真空泵抽气口和放气阀口 ；在该圆筒腔体真空室的中 间位置设有载物框架。
3.如权利要求1和2所述的射频电感耦合等离子体灭菌器，包括一个壳体及壳体内 的真空室、射频电源、抽气系统，其特征在于在该圆筒腔体的外壁包覆有电感射频电极，该 射频电极是缠绕在圆筒壁的外侧形成一个电感线圈，其线圈的一端与射频电源的输出端连 接，另一端与壳体连接并接地，等离子体放电是通过该射频线圈天线激发的电场能量电离 圆筒腔体内的气体产生的。
4.如权利要求1所述的射频电感耦合等离子体灭菌器，包括一个壳体及壳体内的真 空室、射频电源、抽气系统，其特征在于该灭菌器壳体内还包括一个射频电源、一个直线电 机、升降杆和支架、进气和抽气系统、自动控制系统。
5.如权利要求1和4所述的射频电感耦合等离子体灭菌器，包括一个壳体及壳体内 的真空室、射频电源、抽气系统，其特征在于该壳体内的射频电源选用频率为13. 56MHz或 27. 12MHz的电源及相应的匹配器。
6.如权利要求1和4所述的射频电感耦合等离子体灭菌器，包括一个壳体及壳体内的 真空室、射频电源、抽气系统，其特征在于该壳体内的直线电机带动与盖面连接的升降杆 来实现盖面的开和闭，在该盖面上充气口通过气体阀门与一个超声雾化装置连接。
7.如权利要求1和4所述的射频电感耦合等离子体灭菌器，包括一个壳体及壳体内的 真空室、射频电源、抽气系统，其特征在于该壳体内的进气系统是包括一个对液体的超声 雾化罐、一个电磁控制阀以及一个与之连接的气体导管，打开电磁阀开关，可以让雾化罐中 被超声后的雾化液体进入到真空室内。
8.如权利要求1和4所述的射频电感耦合等离子体灭菌器，包括一个壳体及壳体内的 真空室、射频电源、抽气系统，其特征在于该壳体面板上设有PLC控制操作系统来控制进 气开关、电磁阀开关、抽气泵开关、电机开关以及射频电源开关。
全文摘要
本发明提供一种新型的射频电感耦合等离子体灭菌器，包括一个壳体及壳体内的真空室、射频电源、抽气系统，其特征在于在该壳体内的真空室是一个由绝缘材料制成的圆筒腔体及在圆筒腔体上下的两个密封板面构成，其中上密封板面是一个盖面，该盖面通过电极控制的升降杆来实现开和闭，下密封板上设有真空泵抽气口和放气阀口，在该圆筒腔体的外壁包覆有电感线圈形式的射频电极天线，在该真空室内设有载物框架，等离子体是产生在真空室内。该等离子体灭菌器，不会对人体和环境造成污染，不会对敏感医疗器械造成热损伤。
文档编号H05H1/46GK101797394SQ20091000863
公开日2010年8月11日 申请日期2009年2月9日 优先权日2009年2月9日
发明者王龙哲 申请人:王龙哲