技术总结
本发明公开了一种清洗液喷嘴，包括喷嘴管、喷射口和设置在喷嘴管内部的涡流形成工具；所述喷射口设置在喷嘴管的下端。本发明的有益效果：在半导体基板或平板显示器件的基板等清洗对象上，起喷射清洗液的作用的清洗液喷嘴内，设置涡流形成工具，使清洗液喷嘴内的清洗液里形成涡流，将其喷射到清洗对象物上，能使清洗范围更宽广，通过涡流的物理作用，能有效除掉清洗对象物上的异物。
技术研发人员：任海;郎丰伟
受保护的技术使用者：四川虹视显示技术有限公司
文档号码：201510556218
技术研发日：2015.09.02
技术公布日：2017.03.08