基板固定装置的制作方法

本发明涉及用以固定基板的基板固定装置。

背景技术：

就上述类型的基板固定装置而言，有一种基板固定装置如专利文献1所示，为用于对基板照射离子束的离子束照射装置，并具备载置呈大致矩形形状的基板的平台及夹抓机构；该夹抓机构在该夹抓机构与该平台之间固定基板。

具体而言，该夹抓机构具备与基板的彼此相对向的两边分别对应而设置的一对夹具以及致动器；该致动器与各夹具对应而设置以使各夹具在固定基板的固定位置与释放基板的释放位置之间移动。

然而，在上述构成的基板固定装置中，由于仅以相对向的两边固定基板，故有基板会朝与该相对向方向正交的方向位置偏移之虞。

上述问题尤其在离子束注入装置使水平地载置的基板立起并注入离子射束时，往与离子束交叉的方向扫描基板的情况下更为显著。

另一方面，若与基板的各边分别对应而设置夹具，则需要与所增加的夹具数量相当的致动器，而导致装置构成的复杂化及装置整体的大型化。

[现有技术文献]

[专利文献]

专利文献1：日本特开2001-107235号公报

技术实现要素：

(发明所欲解决的课题)

因此，本发明为用以解决上述问题点而研创，主要发明目的在于提供一种不会导致装置构成的复杂化及装置整体的大型化而确实地固定基板的基板固定装置。

(解决课题的手段)

也就是，本发明的基板固定装置具备载置呈大致矩形形状的基板的平台以及夹抓机构，该夹抓机构在该夹抓机构与前述平台之间固定前述基板；其中，前述夹抓机构包括：多个夹具，其与前述基板的各边对应而设置，并可在将前述基板予以固定的固定位置、与将前述基板予以释放的释放位置之间移动；以及动力传达机构，其在对应于前述基板的相对向的两边之中的一边而设置的一边侧夹具与对应于另一边而设置的另一边侧夹具之间传达用以移动前述夹具的驱动力；而前述动力传达机构具有：滑动构件，其随着前述一边侧夹具的移动、或随着对前述一边侧夹具传达前述驱动力的构件的移动，而往预定方向滑动移动，来对前述另一边侧夹具传达前述驱动力。

依据上述基板固定装置，由于夹具与基板的各边对应而设置，故可确实地固定基板，并且，由于滑动构件随着一边侧夹具的移动或随着对该一边侧夹具传达驱动力的构件的移动而滑动移动，来对另一边侧夹具传达驱动力，故可使用共通的致动器来使一边侧夹具及另一边侧夹具移动，进而谋求装置构成的简化及装置整体的小型化。

本发明的基板固定装置优选：构成为前述一边侧夹具及前述另一边侧夹具的相对向方向是与前述基板对于前述平台搬入搬出的基板搬入搬出方向大致一致。

只要为该构成，即可将于一边侧夹具及另一边侧夹具共通使用的致动器避开基板搬入搬出侧而配置，使致动器不会妨碍基板搬入搬出。

相对于此，以往的与各夹具分别对应而设置致动器的构成中，若要使一边侧夹具及另一边侧夹具的相对向方向与基板搬入搬出方向一致，则配置于基板搬入搬出侧的致动器会妨碍基板的搬入搬出。

本发明的基板固定装置优选：前述一边侧夹具或前述另一边侧夹具之中的基板搬入搬出侧的夹具，是构成为于前述释放位置中位于比前述平台的基板载置面更靠下方的位置。

只要为该构成，由于基板的搬入搬出不会被夹具妨碍，故可将搬入搬出的基板的高度维持在既有的设定，换言之，可不变更搬运基板的搬运机器人的设定而将基板搬入搬出。

本发明的基板固定装置优选：前述动力传达机构具备：第一传达要素，其对侧边侧夹具传达前述驱动力，该侧边侧夹具与和前述基板的前述相对向 的两边不同的至少一边对应而设置；以及第二传达要素，其对前述一边侧夹具传达前述驱动力；经由前述第一传达要素、前述第二传达要素及前述滑动构件来将前述驱动力分别传达至前述侧边侧夹具、前述一边侧夹具及前述另一边侧夹具。

只要为该构成，可通过来自共通的致动器的驱动力使与基板的至少三边分别对应而设置的夹具移动，以谋求更优选的装置构成的简化及装置整体的小型化。

本发明的基板固定装置优选：前述夹具是构成为被弹性构件往前述固定位置弹推，并通过前述驱动力而从前述固定位置往前述释放位置移动，且在前述夹具位于前述固定位置的状态下，在前述夹具与前述动力传达机构之间形成有不使前述驱动力作用于前述夹具的空隙。

只要为该构成，由于位于固定位置的各夹具为以不受驱动力作用的状态(也就是以彼此独立的状态)个别地固定基板，故即便假设有一个夹具因夹住存在于基板上的微粒等而自固定位置稍微浮起，也可通过其他夹具确实地固定基板。

本发明的基板固定装置优选：基板固定装置还具备比前述平台的基板载置面更往上方突出的挡止件，并且前述挡止件设置成可在制止位置与退出位置之间移动，该制止位置是接触载置于前述基板载置面的基板的外缘而制止该基板的移动的位置，该退出位置为相对于前述基板退出至比前述制止位置更靠外侧的位置。

只要为该构成，通过位于制止位置的挡止件接触基板的外缘而可防止过度的基板的位置偏移或基板的掉落，并且在通过搬运机器人抬起基板时，使挡止件从制止位置往退出位置移动而使挡止件与基板成为非接触，由此可防止基板端面与挡止件摩擦而产生微粒。

相对于此，在挡止件被固定于预定位置时，当通过搬运机器人将基板抬起时，基板端面与挡止件摩擦而可能会产生微粒。

本发明的基板固定装置优选：前述平台为可在递送前述基板的水平姿势与自该水平姿势立起的立起姿势之间移动，前述挡止件设于位于前述立起姿势的前述平台的下侧。

只要为该构成，在使平台自水平姿势移动成立起姿势之际等情形，可防 止基板自平台掉落。

本发明的基板固定装置优选：上述基板固定装置还具备：旋转构件，其与前述滑动构件的滑动移动连动而绕着预定的旋转中心旋转；以及转换机构，其将前述旋转构件的旋转驱动力转换成沿着前述挡止件的移动方向的直线驱动力；并且构成为将通过前述转换机构而转换得来之前述直线驱动力传达至前述挡止件。

只要为该构成，由于与挡止件的移动连动而将直线驱动力传达至挡止件，故可使夹具与挡止件连动，而无须用以使挡止件移动的专用的致动器。

本发明的基板固定装置优选：前述转换机构包括设于前述旋转构件或固定前述挡止件的固定板的一方的滑动体、及形成于另一方以供前述滑动体滑动的滑动空间，并构成为随着前述旋转构件的旋转，前述滑动体在前述滑动空间滑动，且前述固定板沿着前述挡止件的移动方向移动，并构成为在前述挡止件位于前述制止位置的状态下，于前述平台移动至立起姿势时，前述滑动体位于前述旋转中心的垂直上方的位置。

只要为该构成，在使平台立起时，即便在挡止件位于制止位置的状态下对固定板施加荷重，也由于使滑动体位于旋转中心的垂直上方的位置，故该滑动体不会旋转，且固定板不会移动。由此，即便是基板掉落的情形，也可防止挡止件往下方偏移。

(发明的功效)

依据如上述所构成的本发明，不会导致装置构成的复杂化及装置整体的大型化而可确实地固定基板。

附图说明

图1为从表面侧观看本实施例的基板固定装置的示意图。

图2为从背面侧观看本实施例的基板固定装置的示意图。

图3用以说明本实施例的第一传达机构的示意图。

图4用以说明本实施例的第一夹具的动作的图(A1－A1'剖面图)。

图5用以说明本实施例的第二传达机构的示意图。

图6用以说明本实施例的第二夹具的动作的图(A2－A2'剖面图)。

图7用以说明本实施例的第三传达机构的示意图。

图8用以说明本实施例的挡止件的动作的示意图。

图9用以说明本实施例的连动机构的示意图。

图10用以说明变形实施例的连动机构的示意图。

符号说明

3 纵滑动件 4 横滑动件

5 方向转换机构 6 固定构件

7 滑动构件 8 挡止件

9 连动机构 10 平台

11 梳齿 12 基板载置面

20 夹抓机构 21 夹具

21a 第一夹具 21b 第二夹具

21bl 左侧第二夹具 21br 右侧第二夹具

21c 第三夹具 22 动力传达机构

22a 第一传达要素 22b 第二传达要素

22c 第三传达要素 41、61 内周面

51 斜孔 52 滑动部

81 固定板 90 旋转构件

91 第一直线转动转换机构

92 第二直线转动转换机构

93 固定构件 94 第一滑动体

95 第二滑动体 9h1、9h2 滑动空间

100 基板固定装置 211 抵接部

B 弹性构件 G 导引构件

H 贯穿孔 I 轴

L、La、Lb、Lc 旋转轴 Ma、Mb、Mc 卡勾部

Na、Nb、Nc 被卡勾部 O、Oz 旋转中心

P 制止位置 Q 退出位置

R 导辊 Sa、Sb、Sc 空隙

V 收纳凹部 W 基板

X 固定位置 Y 释放位置

Z 杆。

具体实施方式

以下参阅附图针对本发明的基板固定装置的一实施例进行说明。

本实施例的基板固定装置100为例如用于离子束照射装置并固定属于处理对象的基板W，且如图1及图2所示，其具备载置呈大致矩形形状的薄板状的基板W的平台10以及夹抓机构20；该夹抓机构20在该夹抓机构20与该平台10之间固定基板W。

前述平台10为在与未图示的搬运机器人之间递送基板W，并构成为可在载置基板W的水平姿势与自该水平姿势立起的立起姿势之间绕着轴I旋转。

另外，于此所谓水平姿势包含有自水平方向倾斜的姿势，而立起姿势包含有沿着垂直方向立起的姿势及自垂直方向倾斜的姿势。

在本实施例中，于对基板W照射离子束的处理室内，前述搬运机器人对于位于前述水平姿势的平台10以预定的基板搬入搬出方向来搬运基板并予以载置。然后，平台10是在前述处理室内从水平姿势成为立起姿势且离子束照射基板W时，于与离子束交错的方向以离子束扫描。

在以下为了便于说明，如图2所示，将前述基板搬入搬出方向设为上下方向，并将与该上下方向正交的方向定义成左右方向。另外，上下方向的上侧为基板搬入搬出侧，左右方向的左侧及右侧为自背面观看平台时的左侧及右侧。

具体而言，如图1所示，该平台10是以预定的间隔排列多支(于此为4支)梳齿11而形成为梳子形状，并将其表面设定为载置基板W的基板载置面12。

另外，平台10的形状并不限于上述形状，也可为大致矩形形状。

此外，基板载置面12并不一定要设定于平台10的表面，例如，在平台10具有装设于表面的销等多个高度调整构件时，可将由多个所述多个高度调整构件的前端所形成的虚拟平面设为基板载置面12。

如图1及图2所示，前述夹抓机构20具备与基板W的各边对应而设置的多个夹具21、以及在前述多个夹具21之间传达从外部输入的驱动力的动 力传达机构22。

如图1及图2所示，本实施例中，在平台10的左边部、右边部、上边部、及下边部分别有多个夹具21彼此分开设置。

在以下要区别设于各边部的夹具21时，是将沿着左右方向彼此相对向的夹具21称为第一夹具21a，将沿着上下方向彼此相对向的夹具21之中，下侧的夹具21称为第二夹具21b，上侧的夹具21称为第三夹具21c。

如图3至图7所示，前述夹具21是构成为可在前述夹具21与平台10之间固定基板W的固定位置X、与释放基板W的释放位置Y之间移动，并且，于此是构成为可绕着设在比位于水平姿势的平台10的基板载置面12更靠下方(比基板载置面12更靠平台10的背面侧)的旋转轴L而旋转。在本实施例中，例如在前述旋转轴L设有扭转弹簧等弹性构件B，并通过该弹性构件B将各夹具21往固定位置X弹推。

更具体而言，尤其如图4及图6所示，各夹具21具有在前述固定位置时会与基板W抵接的一对抵接部211。

于此，第一夹具21a及第三夹具21c形成为彼此相同的形状，并具有柱状的抵接部211，而第二夹具21b具有平板状的抵接部211。

另外，各夹具21的形状及抵接部211的形状可有各种变更。

在本实施例中，在平台10位于水平姿势的状态下，由于基板W在第三夹具21c的上方搬入搬出，而为使前述第三夹具21c不会妨碍基板W的搬入搬出，故构成为：使位于释放位置Y的第三夹具21c位于比平台10的基板载置面12更靠下方(比基板载置面12更靠平台10的背面侧)的位置。

于此，前述第三夹具21c的固定位置X与释放位置Y的张开角度设定成：使位于释放位置Y的第三夹具21c整体位于比前述基板载置面12更靠下方(比基板载置面12更靠平台10的背面侧)的位置。

接着，针对动力传达机构22进行说明。

前述动力传达机构22是由未图示的致动器而被赋予用以使夹具21移动的驱动力，并将该驱动力在与基板W的一边对应而设置的夹具21、和与其他的至少一边对应而设置的夹具21之间进行传达，于此，构成为在第一夹具21a、第二夹具21b及第三夹具21c之间传达前述驱动力。

在本实施例中，如图2所示，一对动力传达机构22是独立设置于平台 10的左右两侧，各动力传达机构22构成为在与前述基板W的3边对应而设置的夹具21(左右单侧的第一夹具21a、第二夹具21b及第三夹具21c)之间传达前述驱动力。

另外，于此，前述一对动力传达机构22为左右对称的构成，在以下说明中，是针对左侧的动力传达机构22进行说明来代表多个所述动力传达机构。

如图2所示，前述动力传达机构22具备对第一夹具21a传达驱动力的第一传达要素22a、对第二夹具21b传达驱动力的第二传达要素22b、及对第三夹具21c传达驱动力的第三传达要素22c。

如图3所示，前述第一传达要素22a为使第一夹具21a绕着旋转轴La旋转而从固定位置X往释放位置Y移动，并具有通过驱动力往上下方向滑动移动的纵滑动件3、伴随纵滑动件3的移动而往左右方向滑动移动的横滑动件4、以及位于纵滑动件3及横滑动件4之间，用以将上下方向的驱动力转换成左右方向的驱动力的方向转换机构5。

纵滑动件3是于平台10的背面侧中从上端部遍及下端部而沿着上下方向设置且呈棒状的构件，于此，是连接有被传达未图示的致动器的驱动力而绕着旋转中心Oz旋转的杆Z。本实施例的杆Z虽连接于纵滑动件3的上侧及下侧的第一夹具21a之间，但也可连接于上侧的第一夹具21a的上方或下侧的第一夹具21a的下方。

另外，纵滑动件3的一部分为夹于一对导辊R。

横滑动件4是设置于纵滑动件3及第一夹具21a之间，以使第一夹具21a从固定位置X往释放位置Y移动的构件，如图2所示，是设于与多个第一夹具21a分别对应的位置。

更具体地说明，如图4所示，于前述横滑动件4或前述第一夹具21a的一方设置卡勾部Ma，并在另一方设置由前述卡勾部Ma卡勾的被卡勾部Na。此外，在卡勾部Ma与被卡勾部Na之间形成有空隙Sa，该空隙Sa用以在第一夹具21a位于固定位置X的状态下，不使驱动力作用于第一夹具21a。

在本实施例中，于横滑动件4形成有剖面呈大致U字形状的凹沟作为前述卡勾部Ma，并于第一夹具21a设置与旋转轴La平行的棒体作为前述被卡勾部Na，在前述凹沟的内周面41与前述棒体的外周面之间形成有上述的空 隙Sa。

如图3所示，方向转换机构5是用以将传达于纵滑动件3的上下方向的驱动力转换成左右方向的构件，具体而言，其具有：设于前述纵滑动件3或前述横滑动件4的一方并往与上下方向及左右方向交叉的斜方向延伸的斜孔51、以及设于另一方并可在前述斜孔51内滑动的滑动部52。

在本实施例中，于前述横滑动件4例如形成有从上下方向及左右方向倾斜45度的斜孔51，并于前述纵滑动件3设置属于滑动部52的突起部。

另外，斜孔51并不一定要为贯穿孔，也可为凹沟。

接着，一面参阅图3及图4一面针对上述第一传达要素22a及第一夹具21a的动作进行说明。

首先，如图3(a)所示，在第一夹具21a是被弹性构件B往固定位置X弹推的状态下，当来自未图示的致动器的驱动力赋予至杆Z时，杆Z为绕着旋转中心Oz旋转，并且纵滑动件3是从上侧往下侧滑动移动。

此时，与前述纵滑动件3的滑动移动连动，前述滑动部52是沿着前述斜孔51移动，由此，前述横滑动件4是从左侧往右侧(从平台10的外侧往内侧)滑动移动。

并且，如图4所示，随着该横滑动件4的滑动移动，属于前述卡勾部Ma的凹沟的内周面41是将属于前述被卡勾部Na的棒体从左侧往右侧牵引，由此，第一夹具21a为绕着旋转轴La旋转。

在本实施例中由于形成有上述空隙Sa，故在第一夹具21a位于固定位置X的状态下，卡勾部Ma与被卡勾部Na为非接触(图4(a))。并且，通过从该状态使前述横滑动件4从左侧往右侧滑动移动，卡勾部Ma与被卡勾部Na接触(图4(b))，并更进一步地使前述横滑动部4从左侧往右侧滑动移动，由此使前述驱动力是从前述卡勾部Ma作用于前述被卡勾部Na，而使第一夹具21a往释放位置Y移动(图4(c))。

另一方面，当来自未图示的致动器的驱动力被遮断时，如图3(b)所示，通过弹性构件B的弹推力，使第一夹具21a从释放位置Y往固定位置X移动。

接着针对第二传达要素22b进行说明。

如图5所示，第二传达要素22b为使第二夹具21b绕着旋转轴Lb旋转，而从固定位置X往释放位置Y移动。

于此，在本实施例中，前述第一传达要素22a构成为对至少一个第二夹具21b传达驱动力，而前述第二传达要素22b构成为对其他第二夹具21b传达驱动力。

更详细而言，如图5所示，是构成为一对第二夹具21b绕着共通的旋转轴Lb旋转，且第一传达要素22a对一对第二夹具21b的中左侧的第二夹具21b(以下也称为左侧第二夹具21bl)传达驱动力，而第二传达要素22b对右侧的第二夹具21b(以下也称为右侧第二夹具21br)传达驱动力。

首先，针对左侧第二夹具21bl与第一传达要素22a的关系进行说明。

如图5所示，前述左侧第二夹具21bl构成为配置于第一传达要素22a的纵滑动件3的下端部附近，且随着该纵滑动件3的滑动移动而在固定位置X与释放位置Y之间移动。

更具体地说明，如图6所示，在前述左侧第二夹具21bl或前述纵滑动件3的一方设有卡勾部Mb，在另一方设有前述卡勾部Mb所卡勾的被卡勾部Nb。此外，在卡勾部Mb与被卡勾部Nb之间形成有空隙Sb，该空隙Sb于左侧第二夹具21bl位于固定位置X的状态下用以不使驱动力作用于左侧第二夹具21bl。

在本实施例中，于被固定于纵滑动件3的下端部的固定构件6形成有剖面呈大致U字形状的凹沟来作为前述卡勾部Mb，并于左侧第二夹具21bl设有与旋转轴Lb平行的棒体来作为前述被卡勾部Nb，且于前述凹沟的内周面61与前述棒体的外周面之间形成有前述空隙Sb。

通过上述构成，如图6所示，当纵滑动件3从上侧往下侧滑动移动时，属于前述卡勾部Mb的凹沟的内周面61是将属于前述被卡勾部Nb的棒体从上侧往下侧(从平台10的内侧往外侧)牵引，由此，左侧第二夹具21bl为绕着旋转轴Lb旋转。

在本实施例中由于形成有上述空隙Sb，故在左侧第二夹具21bl位在固定位置X的状态下，卡勾部Mb与被卡勾部Nb为非接触(图6a)。并且，通过从该位置使前述纵滑动件3从上侧往下侧滑动移动，卡勾部Mb与被卡勾部Nb接触(图6b)，并更进一步地使前述纵滑动件3从上侧往下侧滑动移动，由此使前述驱动力从卡勾部Mb作用于前述被卡勾部Nb，而使左侧第二夹具21bl往释放位置Y移动(图6c)。

接着，针对第二传达要素22b与右侧第二夹具21br的关系进行说明。

如图5所示，本实施例的第二传达要素22b为将传达至左侧第二夹具21bl的驱动力往右侧第二夹具21br传达，于此，为将多个所述各第二夹具21bl、21br予以连接的旋转轴Lb。

通过该构成，右侧第二夹具21br是通过前述驱动力而与左侧第二夹具21bl连动并旋转，而在固定位置X与释放位置Y之间移动。

接着，针对第三传达要素22c进行说明。

如图7所示，前述第三传达要素22c用以使前述第三夹具21c绕着旋转轴Lc旋转而自固定位置X往释放位置Y移动，并具有往预定方向滑动移动的滑动构件7。

如图5及图7所示，前述滑动构件7位于右侧第二夹具21br与第三夹具21c之间，而将前述驱动力从前述第二夹具21br传达至第三夹具21c，于此，为与上述纵滑动件3平行设置的棒状物。

更具体地说明，如图6所示，在前述滑动构件7的下端部或前述右侧第二夹具21br的一方设有卡勾部Mb，而在另一方设有卡勾部Mb所卡勾的被卡勾部Nb。

此外，如图7所示，在前述滑动构件7的上端部或前述第三夹具21c的一方设有卡勾部Mc，而在另一方设有卡勾部Mc所卡勾的被卡勾部Nc。

在本实施例中，滑动构件7的下端部及右侧第二夹具21br的构成与上述纵滑动件3及左侧第二夹具21bl的构成相同，而滑动构件7的上端部及第三夹具21c的构成与上述第一夹具21a及横滑动件4为相同构成。

也就是，如图6所示，在固定于滑动构件7的下端部的固定构件6形成有剖面呈大致U字形状的凹沟来作为卡勾部Mb，而在右侧第二夹具21br设有与旋转轴Lb平行的棒体来作为被卡勾部Nb。

此外，如图7所示，在滑动构件7的上端部形成有剖面呈大致U字形状的凹沟来作为卡勾部Mc，而在第三夹具21c设有与旋转轴Lc平行的棒体来作为被卡勾部Nc。

另外，在前述卡勾部Mb、Mc与前述被卡勾部Nb、Nc之间形成有空隙Sb、Sc，多个所述空隙Sb、Sc用以在右侧第二夹具21br及第三夹具21c位于固定位置X的状态下，不使前述驱动力作用于右侧第二夹具21br及第三夹具 21c。

通过上述的构成，随着右侧第二夹具21br在固定位置X与释放位置Y之间的移动，前述滑动构件7沿着上下方向滑动移动，且随着该滑动构件7的滑动移动，第三夹具21c是在固定位置X与释放位置Y之间移动。

更具体而言，通过使右侧第二夹具21br从固定位置X往释放位置Y移动，属于前述被卡勾部Nb的棒体是从上侧往下侧(从平台10的内侧往外侧)推压属于前述卡勾部Mb的凹沟的内周面61，由此前述滑动构件7是从上侧往下侧滑动移动。

并且，通过使滑动构件7从上侧往下侧滑动移动，属于前述卡勾部Mc的凹沟的内周面是将属于前述被卡勾部Nc的棒体从上侧往下侧(从平台10的内侧往外侧)牵引，由此，第三夹具21c是绕着旋转轴Lc旋转。

通过上述的动力传达机构22，在本实施例中，是与第一夹具21a连动而使左侧第二夹具21bl进行旋转，并与左侧第二夹具21bl连动而使右侧第二夹具21br进行旋转，且与右侧第二夹具21br连动而使第三夹具31c进行旋转。也就是，第一夹具21a、第二夹具21b及第三夹具21c为彼此连动而在固定位置X与释放位置Y之间移动，且在本实施例中，各夹具21a至21c为同时到达固定位置X，并同时到达释放位置Y。

更且，本实施例的基板固定装置100更具备限制被载置于平台10的基板W的移动的挡止件8。

于此，为了防止基板W从位于立起姿势的平台10掉落，如图2所示，在位于立起姿势的平台10的下侧设置有多个前述挡止件8，具体而言，是配置在纵滑动件3的下端部附近及滑动构件7的下端部附近。

前述各挡止件8是在平台10位于水平姿势的状态下，比基板载置面12更往上方(比基板载置面12更往平台10的表面侧)突出，且如图8所示，是设置成可在制止位置P与退出位置Q之间移动，该制止位置P是接触载置于基板载置面12的基板W而制止该基板W的移动的位置，该退出位置Q为相对于前述基板W退出至比前述制止位置P更靠外侧的位置。

前述制止位置P为位于基板W通过搬运机器人而被载置于平台10的位置的基板W、与前述挡止件8为非接触的位置，而前述退出位置Q为前述挡止件8从基板离开至比前述制止位置P更靠外侧的位置。

如图9(a)、(b)所示，前述挡止件8被固定于固定板81，该固定板81是构成为例如在被导引构件G导引的状态下往上下方向移动。

前述固定板81为立起设置有前述挡止件8，且例如与前述挡止件8一体成型。在本实施例中，将前述固定板81设于平台10的背面侧，且使前述挡止件8从背面侧往表面侧贯穿于贯穿孔H，而该贯穿孔H是将平台10及纵滑动件3或平台10及滑动构件7贯穿而形成。

在本实施例中，如图9所示，基板固定装置100更具备使前述挡止件8与上述动力传达机构22连动的连动机构9，前述挡止件8构成为：通过从前述动力传达机构22传达而来的驱动力而在前述制止位置P及前述退出位置Q之间移动。

前述连动机构9分别与各挡止件8对应而设置。

在以下说明中，虽针对位在挡止件8与滑动构件7之间的连动机构9的构成进行说明，但位于挡止件8与纵滑动件3之间的连动机构9的构成也为相同。

前述连动机构9具备以可旋转的方式设于平台10的旋转构件90、将沿着滑动构件7的移动方向的直线移动驱动力转换成旋转构件90的旋转驱动力的第一直线转动转换机构91、以及将前述旋转构件90的旋转驱动力转换成沿着挡止件8的移动方向的直线移动驱动力的第二直线转动转换机构92。

前述旋转构件90可绕着旋转中心O而旋转，于此，前述一对的旋转构件90被设于滑动构件7的左右两侧。

如图9(c)、(d)所示，前述第一直线转动转换机构91包括设于固定于滑动构件7的固定构件93或前述旋转构件90的一方的第一滑动体94、及形成于另一方而供前述第一滑动体94滑动的滑动空间9h1。

另外，图9(c)、(d)显示将图9(a)、(b)的固定板81拆除的状态。

在本实施例中，于前述旋转构件90设有绕着前述旋转中心O旋转的旋转辊来作为前述第一滑动体94，而于前述固定构件93的左右两侧形成有一对缺口来作为前述第1滑动空间9h1。

依据上述构成，通过固定构件93与滑动构件7连动而往上下方向滑动移动，第一滑动体94在第1滑动空间9h1内移动并同时绕着旋转中心O旋转，一对旋转构件90是往相反方向旋转。

如图9(a)、(b)所示，前述第二直线转动转换机构92包括：设于前述旋转构件90或上述固定板81的一方的第二滑动体95、及形成于另一方而供前述第二滑动体95滑动的滑动空间9h2。

在本实施例中，于前述旋转构件90的与前述第一滑动体94不同的位置设有绕着前述旋转中心O旋转的旋转辊来作为前述第二滑动体95，而于前述固定板81的左右两侧形成有长孔来作为前述第2滑动空间9h2。

通过上述构成，前述第二滑动体95与旋转构件90的旋转连动而旋转，并同时在第2滑动空间9h2内滑动移动，且固定板81往上下方向滑动移动。

在本实施例中，构成为：通过滑动构件7从上侧往下侧移动，而通过上述连动机构9使固定板81从上侧往下侧(从平台10的内侧往外侧)移动。也就是，当通过动力传达机构22使夹具21从固定位置X往释放位置Y移动时，挡止件8与该夹具21的动作连动而从制止位置P往退出位置Q移动，而当使夹具21从释放位置Y往固定位置X移动时，挡止件8与该夹具21的动作连动而从退出位置Q往制止位置P移动。

于此，是构成为：前述第二滑动体95在挡止件8位于制止位置P的状态下，于平台10移动至立起姿势时位于旋转构件90的旋转中心O的垂直上方的位置。也就是，构成为：当挡止件8移动至制止位置P时，前述第二滑动体95的重心与旋转构件90的旋转中心O会位于垂直线上的位置。

另外，在本实施例中，如图2等所示，上述动力传达机构22及连动机构9为被收纳在形成于平台10的背面的收纳凹部V，并在平台10位于水平姿势的状态下，使构成动力传达机构22的各构件及构成连动机构9的各构件不会从平台10的背面露出。

该收纳凹部V构成为由未图示的罩构件闭塞。

依据由此构成的本实施例的基板固定装置100，由于夹具21为与基板W的各边对应而设置，故可确实地固定基板W，并且由于动力传达机构22在第一夹具21a、第二夹具21b、及第三夹具21c之间传达驱动力，因此对各夹具21可使用共通的致动器，而可谋求装置构成的简化及装置整体的小型化。

此外，由于对各夹具21可使用共通的致动器，故通过将该致动器设置于例如平台10的下侧或左右侧，而不会妨碍基板W的搬入搬出。

此外，由于位于释放位置Y的第三夹具21c整体是在平台10位于水平 姿势的状态下位于比平台10的基板载置面12更靠下方(比基板载置面12更靠平台10的背面侧)的位置，故第三夹具21c不会妨碍基板W的搬入搬出，所搬入搬出的基板W的高度位置可维持既有的设定，也就是，可不变更对平台10搬运基板W的搬运机器人等的设定而搬入搬出基板W。

并且，在各卡勾部Ma至Mc与各被卡勾部Na至Nc之间，由于形成有用以不使驱动力作用于夹具21的空隙Sa至Sc，故各个夹具21是被个别地往固定位置X弹推，即便假设有一个夹具21夹住基板W上存在的微粒等而自固定位置X稍微浮起，也可通过其他夹具21确实地固定基板W。

更且，由于在平台10的下侧设置有多个可动式的挡止件8，故可通过位于制止位置P的挡止件8防止基板W的掉落，并且在搬运机器人抬起基板W时使挡止件8从制止位置P往退出位置Q移动，而使挡止件8与基板W成为非接触，故挡止件8与基板W不会摩擦，而可防止产生微粒。

此外，假设是在基板相对于搬运机器人位置偏移的状态下被搬运的情形等，载置于基板载置面12的基板W会有偏离预定的载置位置的情形。在这种情形下，通过使前述挡止件8从退出位置Q往制止位置P移动，可由挡止件8推动基板W的外缘进行基板W的位置调整。

并且，在挡止构件8位于制止位置P的状态下，于平台10移动至立起姿势时，第二滑动体95的重心会位于旋转构件90的旋转中心O的垂直上方，故即便对固定板81施加荷重，第二滑动体95也不会旋转，而可防止由于基板W的掉落等而导致挡止件8从制止位置P往下方偏离。

此外，由于动力传达机构22及连动机构9被收纳在形成于平台10的背面的收纳凹部V，故可在平台10的厚度方向使装置整体更紧凑。

更且，由于前述收纳凹部V构成为由未图示的罩构件闭塞，故即便构成动力传达构件22或连动构件9的各构件摩擦产生微粒，也可防止该微粒在处理室内飞散。

另外，本发明并不限于前述实施例。

例如，在前述实施例中，动力传达机构构成为在与基板的3边对应设置的夹具之间传达驱动力，但也可构成为在与基板的4边对应设置的夹具(于左右方向相对向的第一夹具的双方、第二夹具、及第三夹具)之间传达驱动力。就为了达成该种构成的具体实施例而言，可举例不依前述实施例般设置 多支旋转轴Lb，而通过1支旋转轴Lb使多个第二夹具21b移动的构成。另外，在该情形中，只要将杆Z设于左右单侧即可。

通过此构成，由于与基板的4边对应设置的夹具为连动而移动，故可使用一个致动器使全部的夹具移动，且可更使装置整体更紧凑。

此外，动力传达机构虽为具备第一传达要素、第二传达要素及第三传达要素，但并不限定传达要素及构成传达要素的构件的数量。

此外，在前述实施例中，杆虽连接于第一传达要素，但杆也可连接于第二传达要素及第三传达要素。也就是，可为未图示的致动器的驱动力经由杆而赋予给构成第二传达要素的旋转轴，也可为前述致动器的驱动力经由杆而赋予给第三传达要素的滑动构件。

前述实施例的第一传达要素虽为对第二夹具传达驱动力，但也可构成为不经由第二夹具来对第二传达要素传达驱动力。

具体而言，可举例如下述构成：利用齿条与小齿轮，通过使设于第一传达要素的纵滑动件的齿条与设于第二夹具的旋转轴的齿轮咬合，而使沿着前述纵滑动件的移动方向的直线驱动力转换成旋转驱动力并传达给前述旋转轴。

在前述实施例中，虽构成为一对第二夹具绕着共通的旋转轴旋转，但也可使多个第二夹具与往左右方向滑动的横滑动构件连动。

此时，只要第二传达要素具有前述横滑动构件，且在第一传达要素的纵滑动件与第二传达要素的横滑动构件之间设有前述实施例的方向转换机构等即可。

前述实施例的第三传达要素虽构成为自第二夹具传达驱动力，但也可从对第二夹具传达动力的构件(也就是从第二传达要素)传达驱动力。

具体而言，可举例如利用上述的齿条与小齿轮的构成。也就是，通过使设于第二传达要素的旋转轴的齿轮与设于前述第三传达要素的滑动构件的齿条咬合，而将前述旋转轴的旋转驱动力转换成直线驱动力而传达给前述滑动构件的构成。

由于动力传达机构的构成可考量有上述各种构成，故设于左右两侧的一对动力传达机构无须如前述实施例般为左右对称的构成，也可为彼此不同的构成。

此外，在前述实施例中，滑动移动的各构件虽为沿着上下方向或左右方向移动，但也可沿着自上下方向或左右方向倾斜的方向移动。

此外，在前述实施例中，虽在平台的下侧设置挡止件，但也可在平台的上侧及左右单侧或左右两侧设置挡止件。

通过如此构成，可沿着上下方向及左右方向调整载置于位于水平姿势的平台的基板的位置。

更且，在前述实施例中，虽构成为在挡止件位于制止位置的状态下，于平台移动至立起姿势时，第二滑动体位于旋转构件的旋转中心的垂直上方的位置，但例如图10所示，也可在挡止件8移动至在制止位置P与退出位置Q的途中所通过的通过位置R时，使第二滑动体95位于旋转构件90的旋转中心O的垂直上方的位置。

如上述的构成，在使夹具21从释放位置Y移动至固定位置X时，随着前述第二滑动体95的旋转，固定板81是在相对于平台10往内侧移动之后往外侧移动。由此，前述挡止件8是从退出位置Q通过比该退出位置Q更靠近基板W的前述通过位置R，而往比该通过位置R更远离基板W的制止位置P移动。

由此，如前述实施例所示，于平台10位于立起姿势的状态下，即使基板W位置偏离而接触挡止件8，由于在使平台10成为水平姿势并通过搬运机器人将基板W抬起时为使挡止件8移动至与基板W为非接触的退出位置Q，因此挡止件8不会与基板W摩擦，而可防止产生微粒。

并且，即使假设基板W被载置于自基板载置面12的预定的载置位置偏离的位置，由于挡止件8是在从通过位置R通过之后移动至制止位置P，故可通过挡止件8移动至通过位置R而使基板W往前述预定的载置位置移动，而可在前述预定的载置位置确实地夹抓基板W。

此外，在前述实施例中，虽构成为夹具与挡止件会连动，但也可构成为夹具与挡止件个别地独立移动。

就具体的实施例而言，例如可举例将挡止件连接于电动马达并使其在制止位置与退出位置之间移动的构成，此时，无须前述实施例的连动机构。

此外，前述实施例的动力传达机构虽为在第一夹具、第二夹具及第三夹具之间传达驱动力，但也可仅在上下两侧的夹具(第二夹具及第三夹具)之间 传达驱动力。此时，动力传达机构只要至少具有前述实施例的滑动构件即可，并构成为上下两侧的夹具与该滑动构件的移动连动而在固定位置与释放位置之间移动即可。

当然，动力传达机构也可仅在左右两侧的夹具(相对向的第一夹具)之间传达驱动力。

此外，第二夹具及第三夹具在前述实施例中虽设成沿着上下方向(搬入搬出方向)彼此相对向，但也可设为沿着自上下方向稍微倾斜的方向彼此相对向。

此外，关于左右的第一夹具也相同，左右的第一夹具也可设为沿着自左右方向稍微倾斜的方向彼此相对向。

另外，本发明并不限于前述实施例，在未脱离其主旨的范围内可有各种变形是不言可喻的。