1.一种用于晶圆烘烤的装置，包括烤箱，其特征在于：还包括延时继电器、温度监测仪、报警器和计算机，所述烤箱内安装有温度传感器，所述温度传感器与温度监测仪相连，所述烤箱通过延时继电器与温度监测仪相连，所述温度监测仪通过总线与计算机相连，所述报警器与温度监测仪相连。
2.按照权利要求1所述的一种用于晶圆烘烤的装置，其特征在于：所述温度传感器有6个。
3.按照权利要求2所述的一种用于晶圆烘烤的装置，其特征在于：所述温度监测仪包括6路数码显示通道。
4.按照权利要求3所述的一种用于晶圆烘烤的装置，其特征在于：所述6个温度传感器通过RS485总线分别与温度监测仪的6路数码显示通道相连。
5.按照权利要求1所述的一种用于晶圆烘烤的装置，其特征在于：所述温度监测仪通过RS485总线或RS232总线与计算机相连。
6.按照权利要求1所述的一种用于晶圆烘烤的装置，其特征在于：所述延时继电器的延时范围为0.1秒到99分钟。