一种带有陶瓷衬套的可控温盘面结构的制作方法

文档序号:11100944阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种带有陶瓷衬套的可控温盘面结构,其特征在于,该结构包括铝盘与陶瓷衬套,所述铝盘上设有三个通孔A和九个通孔B,铝盘的内部还设有传热通道,所述传热通道上设有进口和出口;所述陶瓷衬套上设有凸台和边沿,陶瓷衬套的内部设有与所述三个通孔A位置对应的三个顶升销套管,每个顶升销套管中有通孔C,陶瓷衬套内部还设有与所述九个通孔位置相对应的九个支撑柱,陶瓷衬套的底部设有孔A与孔B,所述孔A与出口相通,所述孔B与入口相通;所述传热通道采用摩擦焊或钎焊的方式固定于铝盘内部,所述铝盘和陶瓷衬套扣合固定,使陶瓷衬套底部的三个顶升销套管插入铝盘边缘处的三个通孔A内,使陶瓷衬套设置的九个支撑柱插入铝盘中的九个通孔B中。

2.如权利要求1所述的一种带有陶瓷衬套的可控温盘面结构,其特征在于,所述九个支撑柱插入九个通孔B中使九个支撑柱的顶端高于铝盘1的盘面。

3.如权利要求1所述的一种带有陶瓷衬套的可控温盘面结构,其特征在于,所述九个支撑柱的高度均相同。

4.如权利要求1所述的一种带有陶瓷衬套的可控温盘面结构,其特征在于,所述传热通道中通入液态传热介质或埋设加热丝来实现温度控制。

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