技术总结
一种带有陶瓷衬套的可控温盘面结构，主要解决现有的控温盘面打火几率大导致支撑件加工数量、难度、费用增加的问题，本发明提供一种带有陶瓷衬套的可控温盘面结构，该结构包括铝盘与陶瓷衬套，所述铝盘上设有三个通孔A和九个通孔B，铝盘的内部还设有传热通道，所述传热通道上设有进口和出口；所述陶瓷衬套上设有凸台和边沿，陶瓷衬套的内部设有与所述三个通孔A位置对应的三个顶升销套管，每个顶升销套管中有通孔C，陶瓷衬套内部还设有与所述九个通孔位置相对应的九个支撑柱，陶瓷衬套的底部设有孔A与孔B。本发明的可控温盘面结构可消除打火现象并且温度可控。
技术研发人员：吴凤丽;苏欣;张建
受保护的技术使用者：沈阳拓荆科技有限公司
文档号码：201510725508
技术研发日：2015.10.29
技术公布日：2017.05.10