整合电容的热电堆感测结构的制作方法

文档序号:12479287阅读:来源:国知局
技术总结
本发明提出一种整合电容的热电堆感测结构。整合电容的热电堆感测结构包含:基板、红外线感应单元及分隔(partition)结构。红外线感应单元位于基板上,红外线感应单元具有第一感应结构及第二感应结构,其中第一感应结构及第二感应结构彼此相近的一端为热端(Hot junction)。分隔结构围绕红外线感应单元,其中分隔结构与第一感应结构彼此相近的一端为一冷端(Cold junction),分隔结构与该第二感应结构彼此相近的一端为另一冷端。其中,热端与冷端间的温度差产生电压差讯号,且其中,分隔结构的一部分构成至少一电容。

技术研发人员:蔡明翰;王世霖
受保护的技术使用者:原相科技股份有限公司
文档号码:201510811200
技术研发日:2015.11.20
技术公布日:2017.05.31

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