1.一种蓝宝石衬底回收再使用的方法,其特征在于,所述蓝宝石衬底回收再使用的方法包括以下步骤:
提供待回收再使用的蓝宝石衬底;
使用盐酸溶液去除所述蓝宝石衬底表面残留的Ga;
使用王水去除所述蓝宝石衬底表面残留的金属;
使用ITO刻蚀液去除所述蓝宝石衬底表面残留的ITO;
使用磷酸去除所述蓝宝石衬底表面残留的GaN。
2.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底回收再使用的方法,其特征在于:使用盐酸处理所述蓝宝石衬底的处理温度为常温,处理时间为3分钟~7分钟。
3.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底回收再使用的方法,其特征在于:使用王水处理所述蓝宝石衬底的处理温度为常温,处理时间为2小时~2.5小时。
4.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底回收再使用的方法,其特征在于:使用ITO刻蚀液处理所述蓝宝石衬底的处理温度为30℃~60℃,处理时间为6分钟~10分钟。
5.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底回收再使用的方法,其特征在于:使用磷酸处理所述蓝宝石衬底的处理温度为140℃~170℃,处理时间为2.5分钟~3分钟。
6.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底回收再使用的方法,其特征在于:使用磷酸去除所述蓝宝石衬底表面残留的GaN之后还包括以下步骤:
使用511溶液清洗所述蓝宝石衬底;
再次使用盐酸溶液清洗所述蓝宝石衬底。
7.根据权利要求6所述的蓝宝石衬底回收再使用的方法,其特征在于:使用511溶液清洗所述蓝宝石衬底的清洗温度为50℃~100℃,清洗时间为3分钟~6分钟。
8.根据权利要求6所述的蓝宝石衬底回收再使用的方法,其特征在于:再次使用盐酸清洗所述蓝宝石衬底的的清洗温度为常温,清洗时间为3分钟~6分钟。
9.根据权利要求6所述的蓝宝石衬底回收再使用的方法,其特征在于:所述盐酸溶液中HCl 与水的摩尔比为1:1。