技术总结
一种电感结构及其形成方法，其中所述电感结构包括：基底，所述基底表面具有接地端；位于基底上方的若干层堆叠的金属屏蔽层，上下层金属屏蔽层相互电连接，最底层的金属屏蔽层与接地端电连接，每一层金属屏蔽层包括相互断开的第一部分和第二部分，第一部分和第二部分均包括若干平行的半圆金属线，若干平行的半圆金属线电连接在一起；位于最上层金属屏蔽层上方的电感层。本发明的电感结构抑制了电感层与基底之间交互噪音的产生，并增加了单位面积内的金属层的密度，满足设计的标准和工艺的要求。
技术研发人员：程仁豪;高金凤;刘凌
受保护的技术使用者：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
文档号码：201510906559
技术研发日：2015.12.09
技术公布日：2017.06.16