1.一种用于保持基板的静电夹盘，包括：
感受器，包含：
导电性感受器基底，所述导电性感受器基底具有形成于所述导电性感受器基底的上表面中的一个或更多个冷却通道；
突起中央支撑件，所述突起中央支撑件设置覆盖所述一个或更多个冷却通道；及
介电顶板，所述介电顶板设置于所述突起中央支撑件上，其中所述介电顶板具有凸起顶部表面，且其中所述介电顶板及所述突起中央支撑件包含多个孔洞，以便于在设置于所述介电顶板的所述凸起顶部表面上时，输送由所述一个或更多个冷却通道的冷却气体至所述基板的背侧。
2.如权利要求1所述的静电夹盘，其中所述感受器基底及所述突起中央支撑件包括铝。
3.如权利要求1所述的静电夹盘，其中所述介电顶板为陶瓷顶板。
4.如权利要求1所述的静电夹盘，其中所述介电顶板由氮化铝、氧化铝或氮化硼制成。
5.如权利要求1所述的静电夹盘，其中调整所述介电顶板大小以支撑150mm基板。
6.如权利要求1所述的静电夹盘，进一步包括：
一个或更多个升降杆孔洞，所述一个或更多个升降杆孔洞设置穿过所述感受器基底、所述突起中央支撑件及所述介电顶板。
7.如权利要求1至6的任一项所述的静电夹盘，所述介电顶板进一步包括：
多个凸起特征，所述多个凸起特征自所述介电顶板的上表面延伸，其中在设置于所述介电顶板顶部时，每个所述凸起特征具有横截面，所述横截面具有与所述基板的所述表面平行的平面中的平滑变化的周围边缘。
8.如权利要求1至6的任一项所述的静电夹盘，其中所述感受器包含渐狭边缘。
9.如权利要求1至6的任一项所述的静电夹盘，其中所述感受器包含直线边缘。
10.一种用于处理基板的设备，包括：
腔室，所述腔室限定处理区域；
静电夹盘，所述静电夹盘用于在所述处理区域中保持基板，所述静电夹盘包括：
台座；及
感受器，所述感受器设置于所述台座上，包含：
导电性感受器基底，所述导电性感受器基底具有形成于所述导电性感受器基底的上表面中的一个或更多个冷却通道；
突起中央支撑件，所述突起中央支撑件设置覆盖所述一个或更多个冷却通道；及
介电顶板，所述介电顶板设置于所述突起中央支撑件上，其中所述介电顶板具有凸起顶部表面，且其中所述介电顶板及所述突起中央支撑件包含多个孔洞，以便于在设置于所述介电顶板的所述凸起顶部表面上时，输送由所述一个或更多个冷却通道的冷却气体至所述基板的背侧。
11.如权利要求10所述的设备，其中所述静电夹盘进一步包括用于固定所述感受器至所述台座的单捕捉环。
12.如权利要求10所述的设备，其中所述台座包括：
基底阴极结构；及
冷却板，所述冷却板由所述基底阴极结构支撑，其中所述感受器设置于所述冷却板上。
13.如权利要求10至12的任一项所述的设备，其中所述介电顶板为陶瓷顶板。
14.如权利要求10至12的任一项所述的设备，其中调整所述介电顶板大小以支撑150mm基板。
15.一种用于保持一150mm基板的静电夹盘，包括：
感受器，包含：
铝制感受器基底，所述铝制感受器基底具有形成于所述铝制感受器基底的上表面中的一个或更多个冷却通道；
铝制突起中央支撑件，所述铝制突起中央支撑件设置覆盖所述一个或更多个冷却通道；及
150mm陶瓷顶板，所述150mm陶瓷顶板设置于所述突起中央支撑件上，其中所述陶瓷顶板具有凸起顶部表面，且其中所述陶瓷顶板及所述突起中央支撑件包含多个孔洞，以便于在设置于所述陶瓷顶板的所述凸起顶部表面上时，输送由所述一个或更多个冷却通道所提供的冷却气体至所述基板的背侧。