载具的临时保管装置和临时保管方法与流程

本发明涉及对半导体晶圆等进行收纳的载具的临时保管。

背景技术：

为了增加半导体处理装置的运转率，要求在该装载区(load port)的附近设置临时保管装置(缓冲区)。对于此，申请人在专利文献1(JP2012-111635)中提出了如下方案：与桥式行驶车(OHT：Overhead Hoist Transport)的行驶轨道平行地并且在其下方设置区间台车的行驶轨道。而且，若将区间台车和桥式行驶车双方能够进行移载的缓冲区设置于区间台车的行驶轨道的下方且设置于装载区的正上方以外的部分，则例如能够设置四个缓冲区。在缓冲区的数量不足的情况下，考虑在桥式行驶车和区间台车设置载具的横向输送机构，并在区间台车的行驶轨道的斜下方追加缓冲区。

专利文献1：JP2012-111635

然而，若在区间台车设置载具的横向输送机构，则区间台车的高度增加，临时保管装置所占的空间增加。因此，发明人研究出在区间台车的行驶轨道的正下方的前进位置与行驶轨道的侧方的后退位置之间设置自由滑动的滑动缓冲区。这样的话，能够以将装载区的正上部设为前进位置的方式设置滑动缓冲区，从而缓冲区的数量增加。并且，区间台车不需要设置载具的横向输送机构。

接下来，发明人着眼于滑动缓冲区妨碍临时保管装置的搬入、处理装置的维护等情况。这是因为，滑动缓冲区从区间台车的行驶轨道附近向侧方、例如通道侧突出。因此，需要使滑动缓冲区不妨碍临时保管装置的搬入、处理装置的维护等。

技术实现要素：

本发明的课题在于提供如下临时保管装置：

·为了增加能够临时保管载具的数量，并且不需要在区间台车设置载具的横向输送机构，而具备滑动缓冲区，

·另外，滑动缓冲区不妨碍临时保管装置的搬入以及处理装置的维护等。

本发明的临时保管装置是在桥式行驶车与处理装置的前面的装载区之间对载具进行临时保管的临时保管装置，其中，具备：

区间台车，其具备使载具升降的提升机；

上述区间台车的行驶轨道，其在装载区的正上部通过，并且设于桥式行驶车的行驶路径的下方；以及

滑动缓冲区，其由自由载置载具的仓室和导向机构构成，该导向机构在上述行驶轨道的正下方的前进位置与行驶轨道的侧方的后退位置之间支承上述仓室并使上述仓室滑动，

上述导向机构构成为能够在动作位置与退避位置之间自由移动，其中，上述动作位置是上述导向机构从上述行驶轨道向侧方突出的位置，上述退避位置是与上述动作位置相比向侧方的突出长度较短且允许由桥式行驶车在与装载区之间进行载具的移载的位置，

上述行驶轨道沿处理装置的前面延伸至从装载区的正上部远离的待机位置，

上述区间台车在上述待机位置待机。

并且，在本发明的临时保管方法中，利用临时保管装置在桥式行驶车与处理装置的前面的装载区之间对载具进行临时保管，

上述临时保管装置具备：

区间台车，其具备使载具升降的提升机；

上述区间台车的行驶轨道，其在装载区的正上部通过，并且设于桥式行驶车的行驶路径的下方；

滑动缓冲区，其由自由载置载具的仓室和导向机构构成，该导向机构在上述行驶轨道的正下方的前进位置与行驶轨道的侧方的后退位置之间支承上述仓室并使上述仓室滑动；以及

水平轴，其使滑动缓冲区的导向机构转动，

上述临时保管方法中，

在没有分配给区间台车的作业时，通过控制器的控制使区间台车向上述待机位置移动并待机，并且，

通过使滑动缓冲区绕上述水平轴转动，来使滑动缓冲区在动作位置与退避位置之间变化姿势，其中，上述动作位置是滑动缓冲区的导向机构向行驶轨道的侧方突出的位置，上述退避位置是滑动缓冲区的导向机构朝向高度方向的位置。

由于滑动缓冲区能够设置为将装载区的正上部设为前进位置，所以与固定的缓冲区相比数量能够设置更多。并且，由于滑动缓冲区的仓室滑动，所以不需要在区间台车设置载具的横向输送机构。另外，由于区间台车在装载区的正上部以外待机，所以即使区间台车产生故障，桥式行驶车也能够在与装载区之间移载载具。此外，区间台车可以借助机载控制器而自发地向待机位置移动，或者也可以根据来自临时保管装置的控制器(实施例中的缓冲区控制器等)的指令，使区间台车向待机位置移动。

而且，由于滑动缓冲区的仓室(例如与一个载具的大小相应的搁架)能够与导向机构一起退避，所以使仓室和导向机构退避，就能够容易地进行临时保管装置的搬入，或者能够容易地进行处理装置的维护、搬出搬入等。在退避位置，允许由桥式行驶车在与装载区之间进行载具的移载。因此，在为了其他处理装置的维护等需要较宽地打开通道时，即使使仓室和导向机构退避，也能够进行装载区与桥式行驶车间之间的载具的移载。在该说明书中，关于临时保管装置的记载当然也保持原样地适用于的临时保管方法。

优选为，上述导向机构构成为，以与上述行驶轨道平行例如水平的轴为中心，自由转动地安装于临时保管装置的框架，在上述退避位置，上述仓室以及上述导向机构从上述行驶轨道的正下方偏离。若使导向机构与仓室一起绕与行驶轨道平行的轴向退避位置转动，则仓室和导向机构从行驶轨道的正下方偏离，从而桥式行驶车能够进行向装载区的移载。并且，在除了滑动缓冲区之外在临时保管装置还设有固定缓冲区的情况下，即使使滑动缓冲区退避，区间台车也能够进行固定缓冲区与装载区之间的搬运。

并且优选为，还具备对上述滑动缓冲区和上述区间台车进行控制的控制器，上述控制器构成为，在使上述导向机构向退避位置移动时，向桥式行驶车侧的控制器通知表示滑动缓冲区不能使用的内容。在该方式中，在与处理装置的维护、搬出搬入等对应地使滑动缓冲区的导向机构退避时，通过利用传感器等检测导向机构的转动，或者通过作业者输入，来向临时保管装置的控制器输入该内容。临时保管装置的控制器向桥式行驶车侧的控制器通知该内容。在桥式行驶车侧的控制器中，不将滑动缓冲区指定为搬运目的地，能够不使桥式行驶车所进行的搬运产生混乱。此外，即使使滑动缓冲区的导向机构绕与行驶轨道平行的轴转动，也不会妨碍装载区与桥式行驶车的移载。

优选为，临时保管装置在区间台车的行驶轨道的正下方、且从装载区的正上部远离的位置具备固定的缓冲区。此外，上述待机位置位于固定的缓冲区的上部。

优选为，还具备自由转动地支承导向机构的水平轴，在退避位置，导向机构朝向铅垂方向。这样的话，滑动缓冲区通过转动来退避，并且退避位置的滑动缓冲区不妨碍与装载区的移载，并且向行驶轨道的侧方的突出较少。

优选为，临时保管装置还具备：架台下部，其固定于地面侧；以及架台上部，其相对于上述架台下部自由装卸，并且固定有临时保管装置的框架，上述行驶轨道和上述导向机构安装于上述框架。此外，区间台车支承于行驶轨道，滑动缓冲区的仓室支承于导向机构。这样的话，由于能够预先将临时保管装置的框架固定于预先架台上部，所以临时保管装置的设置变得容易。并且，由于能够预先将架台的下部固定于地面侧，所以能够降低搬入时的临时保管装置的高度。

附图说明

图1是实施例的载具的临时保管装置的俯视图。

图2是实施例的载具的临时保管装置的局部剖开侧视图。

图3是实施例的载具的临时保管装置的局部剖开主视图。

图4是示意性地示出使容纳能力更大的变形例的俯视图。

图5是示意性地示出使容纳能力更大的变形例的侧视图。

图6是示意性地示出与较小的处理装置对应的变形例的俯视图。

图7是区间台车的俯视图。

图8是滑动缓冲区的俯视图。

图9是示出滑动缓冲区的转动机构的主视图。

图10是示出缓冲区控制器桥式行驶车侧的控制器的关系的图。

具体实施方式

以下示出用于实施本发明的最优实施例。本发明的范围应该基于权利要求书的记载，参照说明书的记载和本领域的公知技术，并根据本领域技术人员的理解来确定。

实施例

图1～图10示出实施例的载具的临时保管装置(临时保管装置)2和其变形例。临时保管装置2设置于无尘室内等，从无尘室的天花板支承有图3所示的桥式行驶车30(OHT)的行驶轨道4。6是半导体等的处理装置，处理装置包括检查装置，并且具备一个～多个装载区16。并且，半导体晶圆、中间掩模等物品被收纳于FOUP(Front-Opening Unified Pod)等载具18，而被临时保管于滑动缓冲区12、固定缓冲区14，并且由桥式行驶车(OHT)30和区间台车10搬运。

临时保管装置2在无尘室内的通道7上配置为不与人干涉的高度。在临时保管装置2的最上部设置有一对行驶轨道8、8，区间台车10在装载区16的正上部沿行驶轨道8、8而与处理装置6的前表面平行地行驶。在行驶轨道8、8之间存在供载具18可通过的缝隙，桥式行驶车30和区间台车10以在行驶轨道8、8的缝隙通过的方式对载具18进行移载。

临时保管装置2具备框架11，并在框架11，以借助铰链15绕与行驶轨道8平行的水平轴90°地自由转动的方式安装有滑动缓冲区12的框架13。滑动缓冲区12在处于行驶轨道8、8的正下方的前进位置与从行驶轨道8、8的下部向侧方远离的后退位置之间自由进退。并且优选为，除滑动缓冲区12以外，还将固定缓冲区14设置于行驶轨道8、8的两端或一端。而且，装载区16的上部和固定缓冲区14的上部成为区间台车10以及桥式行驶车30的停止位置，固定缓冲区14的上部也是区间台车10的待机位置。此外，也可以设置滑动缓冲区12来代替固定缓冲区14，而不设置固定缓冲区14。由于将除装载区16的上部以外的位置设为区间台车10的待机位置，所以即使区间台车10产生故障，也不会妨碍装载区16与桥式行驶车30的移载。

框架13以借助铰链15自由转动的方式安装于框架11，并且框架13能够从图1的姿势起向下转动90°。并且，17是对框架13施加朝向上方的力的阻尼器，例如由气缸构成，也可以由液压缸构成，或者也可以是弹簧等简易的结构。并且，经由图2、图3的架台24等供给驱动所需的空气。在使框架13以铰链15为中心转动时，由阻尼器17对框架13以及滑动缓冲区12的重力进行支承，从而使转动容易进行。

20是光传感器，21是反射板，它们设置于每个停止位置。而且，由于与反射板21之间被遮挡，所以利用光传感器20对出自桥式行驶车30的升降台、悬挂升降台的带、或者升降台所正把持的载具进行检测。22是缓冲区控制器，进行区间台车10的控制和滑动缓冲区12的控制、桥式行驶车30和区间台车10的联锁、与桥式行驶车侧的控制器的通信、以及与处理装置6的通信。

缓冲区控制器22构成为：

·在装载区16与桥式行驶车30或者区间台车10交接载具18时，使进行交接的装载区16的正上部的滑动缓冲区12退避，

·在区间台车10与滑动缓冲区12交接载具18时，使滑动缓冲区12前进，

·根据来自桥式行驶车30或者其地面控制器的要求，使滑动缓冲区12前进或者后退，由此能够交接载具18，

·在区间台车10不进行作业的情况下，使其向固定缓冲区14的上部的待机位置移动，并待机。

如图2、图3所示，临时保管装置2由门形的架台24支承，架台24的靠通道7侧的前表面25相对于通道7，进入至与装载区16的前表面26大致相同的位置，或者处于与前表面26相比更靠近处理装置6的位置。因此，通道7的宽度W根据装载区16的位置来决定，从而即使设置临时保管装置2，通道7的宽度W也不会变窄。此外，大致相同是指前表面之差例如为±100mm以下，尤其是±50mm以下，优选前表面25、26处于大致相同的位置。然而，临时保管装置2也可以从无尘室的天花板或者桥式行驶车30的行驶轨道4悬挂。但是，若以使临时保管装置2支承于架台24的方式将临时保管装置2搬入无尘室内并定位，则能够容易地设置临时保管装置2。而且，若架台24的前表面25与装载区16相比不会更向通道7侧进入，则不会使通道7变窄。

架台24由借助螺纹件等相互紧固了的上部27和下部28构成，下部28借助安装部29而固定于无尘室的地面等。另外，通过将临时保管装置2预先固定于上部27，并将上部27固定在下部28上，来设置临时保管装置2。这样的话，能够缩小将临时保管装置2搬入无尘室内时的高度。并且，为了降低临时保管装置2的重心来强化抗震性，而使下部28由较厚的钢材等构成来变重。

图3中示出桥式行驶车30的构造。行驶部32在行驶轨道4内行驶并且对横向输送机构33进行支承，横向输送机构33沿在水平面内与行驶轨道4垂直的方向对升降驱动部34进行横向输送。升降驱动部34导出以及卷绕带36等悬挂件，使自由夹持以及释放载具18的升降台35升降。升降驱动部34、升降台35以及带36构成提升机。而且，上述的光传感器20对提升机以及支承于提升机的载具进行检测。38是防止载具18落下的落下防止盖，除此以外，也可以追加使升降驱动部34绕铅垂轴转动的机构。此外，在不具备横向输送机构33的桥式行驶车中，使滑动缓冲区12向行驶轨道8、8的下部前进来进行移载。

图1～图3的临时保管装置2具备四个滑动缓冲区12、以及两个固定缓冲区14，处理装置6的装载区16例如是四个。与此相对地，图4、图5中示出针对四个装载区16使载具18的容纳能力最大的临时保管装置40。在临时保管装置40中，固定缓冲区14设置于与滑动缓冲区12相比以与一个载具的高度相对应的量低一层的位置(图5)，其结果，临时保管装置40所占据的高度增加。滑动缓冲区12设置于行驶轨道8、8的两侧，且在固定缓冲区14的上部，以前进到固定缓冲区14的上部的方式设置有从装载区16偏离的滑动缓冲区12’。其结果，能够设置八个滑动缓冲区12、四个从装载区16偏离的滑动缓冲区12'、以及两个固定缓冲区14，固定缓冲区14的上部是区间台车10的待机位置。

图6示出与小型的处理装置6'对应且容纳能力较小的临时保管装置60。处理装置6'具备两个装载区16，临时保管装置60具备四个滑动缓冲区，将从装载区16偏离的滑动缓冲区12'的上部设为区间台车10的待机位置。此外，虽然根据图5所示能够追加两个固定缓冲区14，但是临时保管装置60所占据的高度增加。

图7示出区间台车10的构造。区间台车10借助车轮62和未图示的马达沿一对行驶轨道8、8行驶，并借助升降驱动部63和未图示的带等使自由夹持/释放载具18的升降台64升降。除此之外，区间台车10还具备与缓冲区控制器22进行通信的通信装置、以及与用于与桥式行驶车30联锁的终端进行通信的通信装置、电池等电源、机载的控制器。

图8示出滑动缓冲区12的构造，滑动缓冲区12由仓室72和使仓室72在前进位置与后退位置之间前进后退的导向机构68构成。70是导向机构68的基座，固定于框架13，仓室72借助车轮73沿轨道71、71在前进位置与后退位置之间前进后退。此外，前进位置是区间台车的行驶轨道的正下方的位置，后退位置是远离前进位置的位置。设于仓室72的例如三个定位销74对载具18的底部进行定位。载具传感器75对载具18的有无进行检测，落座传感器76对载具18落座于定位销74上的正确的位置的情况进行检测，ID读取器77对载具的ID进行读取。此外，也可以不设置ID读取器77，传感器75、76、ID读取器77也同样地设于固定缓冲区。

利用气压缸、液压缸等的缸筒78和活塞79，或者利用未图示的马达和同步带等，使线性导向件80沿轨道81前进后退。利用由同步带82等构成的倍速机构，使仓室72以线性导向件80的两倍的行程前进后退。此外，该倍速机构是在滑叉中广泛地应用的部件，并且仓室72的前进后退的机构是任意的。传感器83对线性导向件80处于后退位置的情况进行检测，并且传感器84对线性导向件80处于前进位置的情况进行检测，缆线导向件85以自由弯曲的方式对电源线和信号线进行导向，在基座70侧连接传感器75、76以及ID读取器77。传感器83、84的作用是对仓室72的位置进行检测，由此也可以在轨道71上安装对仓室的前端位置进行检测的光传感器和对后端位置进行检测的光传感器等。

如图9所示，框架13和滑动缓冲区12能够以铰链15为中心在水平的姿势(实线)与铅垂的姿势(点划线)之间90°地自由转动。而且，图8的86是设于轨道71的前端的托架，具备销孔87。返回图9，在通常时，将托架86重叠于框架11侧的托架88，并用销89等将托架86固定于托架88。在退避时，将销89拔出，以铰链15为中心使框架13和滑动缓冲区12一体地转动。由于滑动缓冲区12在退避位置从行驶轨道8、8间的缝隙退避，所以桥式行驶车能够在其与装载区之间移载载具。在实施例中，滑动缓冲区12逆时针转动地退避，但也可以顺时针转动地退避。并且，虽然使框架13和全部的滑动缓冲区12一并地转动，但也可以构成为针对各个滑动缓冲区12的每一个分别转动。

若使框架13和滑动缓冲区12合在一起，则手动地使它们转动的话，有时过重。因此，利用阻尼器17对框架13施加朝向上方的力，从而能够容易地手动使框架13和滑动缓冲区12转动。

图10示出缓冲区控制器22与桥式行驶车控制器102的关系。在桥式行驶车控制器100的存储器存储有行驶路径的图表(map)102，在图表102一起记载有滑动缓冲区12的位置和代替的搬运目的地。若使滑动缓冲区退避，则缓冲区控制器22通知表示滑动缓冲区不能使用(Disable)的内容，并且桥式行驶车控制器100将这一内容转记到图表102。而且，将使临时保管装置2作为搬运目的地的指令，变更为朝向代替的搬运目的地的指令。此外，在代替的搬运目的地未被注册的情况下，根据图表102来决定代替的搬运目的地。这样的话，即使伴随处理装置的维护等而暂时不能使用滑动缓冲区，也不会使桥式行驶车所进行的搬运混乱。

在实施例中，能够得到以下的效果。

1)利用滑动缓冲区12能够保管多个载具。

2)区间台车10不需要载具的横向输送机构，并且能够在不妨碍装载区与桥式行驶车间的移载的位置待机。

3)在临时保管装置2的搬入、处理装置的维护、搬出搬入等时，能够使滑动缓冲区12退避，从而作业变得容易。

4)即使使滑动缓冲区12退避，桥式行驶车和区间台车10也能够在与装载区之间移载载具。

5)利用阻尼器17，能够容易地手动使滑动缓冲区12转动。

6)若使滑动缓冲区12退避，则向桥式行驶车侧的控制器通知这一内容，从而不会使桥式行驶车所进行的搬运混乱。

7)由于利用架台24从地面侧对临时保管装置2进行支承，所以临时保管装置2的设置不会带来高处作业。

8)由于架台24与装载区相比不会更向通道7侧进入，所以通道7不会因临时保管装置2而变窄。

9)若将架台24分为上下两部分，则临时保管装置2的搬入变得容易。

在实施例中，导向机构68和仓室72通过借助铰链15绕水平轴转动来退避，但退避机构的结构是任意的。并且，临时保管装置2也可以不由架台24支承，而由桥式行驶车的行驶轨道4等从天花板侧支承。

附图标记说明：

2、40、60…载具的临时保管装置(临时保管装置)；4…桥式行驶车的行驶轨道；6…处理装置；7…通道；8…区间台车的行驶轨道；10…区间台车；12…滑动缓冲区；11、13…框架；14…固定缓冲区；15…铰链；16…装载区；17…阻尼器；18…载具；20…光传感器；21…反射板；22…缓冲区控制器(控制器)；24…架台；25、26…前表面；27…上部；28…下部；29…固定部；30…桥式行驶车(OHT)；32…行驶部；33…横向输送机构；34…升降驱动部；35…升降台；36…带；38…落下防止盖；62…车轮；63…升降驱动部；64…升降台；68…导向机构；70…基座；71…轨道；72…仓室；73…车轮；74…定位销；75…载具传感器；76…落座传感器；77…ID读取器；78…缸筒；79…活塞；80…线性导向件；81…轨道；82…同步带；83、84…传感器；85…缆线导向件；86、88…托架；87…销孔；89…销；100…桥式行驶车控制器；102…图表。