技术特征：
技术总结
一种在设备中制造电化学元件的方法，此方法可包含：提供电化学元件基板；在此基板之上沉积元件层；原位施加电磁辐射至元件层以实现元件层的表面重构、再结晶及致密化中的一或更多者；重复此沉积及此施加直至达成所需元件层厚度为止。此外，施加可在沉积期间进行。一种薄膜电池可包含：基板；集电器，在此基板上；阴极层，在此集电器上；电解质层，在此阴极层上；及锂阳极层，在此电解质层上；其中LLZO电解质层具有结晶相，没有归因于LLZO电解质层中的裂缝的短路，且在电解质层与阴极层之间的介面处无高电阻夹层。
技术研发人员：秉-圣·利奥·郭;斯蒂芬·莫法特
受保护的技术使用者：应用材料公司
技术研发日：2015.11.02
技术公布日：2017.08.29