光电子半导体芯片的制作方法

文档序号:12474324阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种光电子半导体芯片(10),包括由半导体材料制成的半导体本体(1)、p型接触层(21a)和n型接触层(2),其中

-所述半导体本体(1)具有设为用于产生辐射的有源层(1a),

-所述半导体本体(1)具有p型侧(1c)和n型侧(1b),在所述p型侧和所述n型侧之间设置有所述有源层(1a),

-所述p型接触层(21a)设为用于电接触所述半导体本体(1)的所述p型侧(1c),

-所述n型接触层(2)设为用于电接触所述半导体本体(1)的所述n型侧(1b),

-所述n型接触层(2)包含TCO层(2a)和镜面层(2b),其中所述TCO层(2a)设置在所述半导体本体(1)的所述n型侧(1b)和所述镜面层(2b)之间,

-所述n型接触层(2)借助于穿通部(22)穿过所述p型接触层(21a)并且穿过所述半导体本体(1)的所述p型侧(1c)被引导到所述n型侧(1b),并且

-所述TCO层(2a)在所述穿通部(22)中设置在所述半导体本体(1)的所述n型侧(1b)和所述镜面层(2b)之间。

2.一种光电子半导体芯片(10),包括由半导体材料制成的半导体本体(1)、p型接触层(21a)和n型接触层(2),其中

-所述半导体本体(1)具有设为用于产生辐射的有源层(1a),

-所述半导体本体(1)具有p型侧(1c)和n型侧(1b),在所述p型侧和所述n型侧之间设置有所述有源层(1a),

-所述p型接触层(21a)设为用于电接触所述半导体本体(1)的所述p型侧(1c),

-所述n型接触层(2)设为用于电接触所述半导体本体(1)的所述n型侧(1b),以及

-所述n型接触层(2)包含TCO层(2a)和镜面层(2b),其中所述TCO层(2a)设置在所述半导体本体(1)的所述n型侧(1b)和所述镜面层(2b)之间,以及

-所述镜面层(2b)包含银。

3.根据权利要求1所述的光电子半导体芯片,其中

所述镜面层(2b)包含银。

4.根据权利要求1或2所述的光电子半导体芯片,其中

所述p型接触层(21a)和所述n型接触层(2)设置在所述半导体本体(1)的同一侧上。

5.根据权利要求1或2所述的光电子半导体芯片,其中

-所述p型接触层(21a)直接邻接于所述半导体本体(1)的所述p型侧(1c),

-所述n型接触层(2)设置在所述p型接触层(21a)的背离所述半导体本体(1)的侧上,以及

-在所述p型接触层(21a)和所述n型接触层(2)之间设置有电绝缘层(3)。

6.根据权利要求2所述的光电子半导体芯片,其中

所述n型接触层(2)借助于穿通部(22)穿过所述p型接触层(21a)并且穿过所述半导体本体(1)的所述p型侧(1c)被引导到所述n型侧(1b)。

7.根据权利要求1或6所述的光电子半导体芯片,其中

-所述镜面层(2b)被引导穿过所述穿通部(22),以及

-所述TCO层(2a)设置在所述穿通部(22)上。

8.根据权利要求1或2所述的光电子半导体芯片,其中

所述TCO层(2a)包含ZnO或ITO。

9.根据权利要求1或2所述的光电子半导体芯片,其中

所述TCO层(2a)具有大于0.5nm的厚度。

10.根据权利要求9所述的光电子半导体芯片,其中

所述TCO层(2a)具有位于15nm和25nm之间的范围中的厚度,其中包括边界值。

11.根据权利要求1或2所述的光电子半导体芯片,其中

所述半导体本体(1)具有倾斜的侧面(11)。

12.根据权利要求1或2所述的光电子半导体芯片,其中

所述半导体本体(1)基于GaN。

13.根据权利要求1或2所述的光电子半导体芯片,其中

所述有源层具有用于在紫外、可见光或红外光谱范围中产生辐射的III/V半导体材料。

14.根据权利要求1或2所述的光电子半导体芯片,其中

所述半导体芯片具有多个穿通部,所述n型接触层被引导穿过所述穿通部。

15.根据权利要求1或2所述的光电子半导体芯片,其中

在所述镜面层与所述半导体本体之间不构成直接接触。

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