薄膜晶体管阵列基板及其制作方法与流程

文档序号:12129236阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种薄膜晶体管阵列基板,其特征在于,包括显示区(10)与设于所述显示区(10)外围的驱动电路区(20),所述显示区(10)中设有显示区TFT,所述驱动电路区(20)中设有驱动电路区TFT;

其中,所述显示区TFT的有源层与所述驱动电路区TFT的有源层的材料均为低温多晶硅;所述显示区TFT的沟道的电流传导方向垂直于所述驱动电路区TFT的沟道的电流传导方向。

2.如权利要求1所述的薄膜晶体管阵列基板,其特征在于,所述显示区TFT包括上下层叠设置且被一绝缘层间隔开的第一有源层(30)与第一栅极(40),所述第一有源层(30)呈U字型,包括相互平行的第一竖直部(31)与第二竖直部(32)、以及分别连接所述第一竖直部(31)与第二竖直部(32)相对应末端的一横向连接部(33),所述第一栅极(40)分别与所述第一竖直部(31)和第二竖直部(32)垂直相交叉,所述第一竖直部(31)上与所述第一栅极(40)交叉重叠的区域形成第一沟道(312),所述第二竖直部(32)上与所述第一栅极(40)交叉重叠的区域形成第二沟道(322);

所述第一竖直部(31)上远离所述横向连接部(33)的一端设有第一源极接触区(314),所述第二竖直部(32)上远离所述横向连接部(33)的一端设有第一漏极接触区(324);

所述显示区TFT工作时,所述第一有源层(30)中的电流在所述第一源极接触区(314)与第一漏极接触区(324)之间流动,即沿U型通道流动,因此,所述第一沟道(312)与第二沟道(322)中的电流传导方向均平行于所述第一竖直部(31)与第二竖直部(32)的延伸方向;

所述驱动电路区TFT包括上下层叠设置且被一绝缘层间隔开的第二有源层(50)与第二栅极(60),所述第二有源层(50)呈直条状,所述第二栅极(60)与所述第二有源层(50)垂直相交叉,所述第二有源层(50)上与所述第二栅极(60)交叉重叠的区域形成第三沟道(55);

所述第二有源层(50)的两端分别设有第二源极接触区(51)与第二漏极接触区(52);

所述驱动电路区TFT工作时,所述第二有源层(50)中的电流在所述第二源极接触区(51)与第二漏极接触区(52)之间流动,即沿所述第二有源层(50)的延伸方向流动,因此,所述第三沟道(55)中的电流传导方向平行于所述第二有源层(50)的延伸方向;

所述薄膜晶体管阵列基板中,所述第一有源层(30)的第一竖直部(31)与第二竖直部(32)的延伸方向垂直于所述第二有源层(50)的延伸方向,从而所述第一有源层(30)的第一沟道(312)和第二沟道(322)中的电流传导方向垂直于所述第二有源层(50)的第三沟道(55)中的电流传导方向。

3.如权利要求1所述的薄膜晶体管阵列基板,其特征在于,应用于LCD显示面板或AMOLED显示面板中。

4.一种薄膜晶体管阵列基板的制作方法,所述薄膜晶体管阵列基板包括显示区(10)与设于所述显示区(10)外围的驱动电路区(20),所述显示区(10)中设有显示区TFT,所述驱动电路区(20)中设有驱动电路区TFT,其中,所述显示区TFT的沟道的电流传导方向垂直于所述驱动电路区TFT的沟道的电流传导方向,其特征在于,所述薄膜晶体管阵列基板的制作方法包括:

沉积一非晶硅层;

采用准分子激光退火方法对所述非晶硅层进行晶化处理,使所述非晶硅层转化为低温多晶硅层;

采用准分子激光退火方法对所述非晶硅层进行晶化处理时,激光扫描方向垂直于所述显示区TFT的沟道的电流传导方向,并且平行于所述驱动电路区TFT的沟道的电流传导方向;

采用光刻技术对所述低温多晶硅层进行图形化处理,同时形成所述显示区TFT的有源层与所述驱动电路区TFT的有源层。

5.如权利要求4所述的薄膜晶体管阵列基板的制作方法,其特征在于,所述显示区TFT包括上下层叠设置且被一绝缘层间隔开的第一有源层(30)与第一栅极(40),所述第一有源层(30)呈U字型,包括相互平行的第一竖直部(31)与第二竖直部(32)、以及分别连接所述第一竖直部(31)与第二竖直部(32)相对应末端的一横向连接部(33),所述第一栅极(40)分别与所述第一竖直部(31)和第二竖直部(32)垂直相交叉,所述第一竖直部(31)上与所述第一栅极(40)交叉重叠的区域形成第一沟道(312),所述第二竖直部(32)上与所述第一栅极(40)交叉重叠的区域形成第二沟道(322);

所述第一竖直部(31)上远离所述横向连接部(33)的一端设有第一源极接触区(314),所述第二竖直部(32)上远离所述横向连接部(33)的一端设有第一漏极接触区(324);

所述显示区TFT工作时,所述第一有源层(30)中的电流在所述第一源极接触区(314)与第一漏极接触区(324)之间流动,即沿U型通道流动,因此,所述第一沟道(312)与第二沟道(322)中的电流传导方向均平行于所述第一竖直部(31)与第二竖直部(32)的延伸方向。

6.如权利要求5所述的薄膜晶体管阵列基板的制作方法,其特征在于,所述驱动电路区TFT包括上下层叠设置且被一绝缘层间隔开的第二有源层(50)与第二栅极(60),所述第二有源层(50)呈直条状,所述第二栅极(60)与所述第二有源层(50)垂直相交叉,所述第二有源层(50)上与所述第二栅极(60)交叉重叠的区域形成第三沟道(55);

所述第二有源层(50)的两端分别设有第二源极接触区(51)与第二漏极接触区(52);

所述驱动电路区TFT工作时,所述第二有源层(50)中的电流在所述第二源极接触区(51)与第二漏极接触区(52)之间流动,即沿所述第二有源层(50)的延伸方向流动,因此,所述第三沟道(55)中的电流传导方向平行于所述第二有源层(50)的延伸方向。

7.如权利要求6所述的薄膜晶体管阵列基板的制作方法,其特征在于,所述薄膜晶体管阵列基板中,所述第一有源层(30)的第一竖直部(31)与第二竖直部(32)的延伸方向垂直于所述第二有源层(50)的延伸方向,从而所述第一有源层(30)的第一沟道(312)和第二沟道(322)中的电流传导方向垂直于所述第二有源层(50)的第三沟道(55)中的电流传导方向。

8.如权利要求7所述的薄膜晶体管阵列基板的制作方法,其特征在于,采用准分子激光退火方法对所述非晶硅层进行晶化处理时,激光扫描方向垂直于所述第一竖直部(31)与第二竖直部(32)的延伸方向,并且平行于所述第二有源层(50)的延伸方向,即相当于,激光扫描方向垂直于所述第一有源层(30)的第一沟道(312)和第二沟道(322)中的电流传导方向,并且平行于所述第二有源层(50)的第三沟道(55)中的电流传导方向。

9.如权利要求7所述的薄膜晶体管阵列基板的制作方法,其特征在于,采用光刻技术对所述低温多晶硅层进行图形化处理时,同时形成所述显示区TFT的第一有源层(30)与所述驱动电路区TFT的第二有源层(50)。

10.如权利要求4所述的薄膜晶体管阵列基板的制作方法,其特征在于,应用于LCD显示面板的制作方法或者AMOLED显示面板的制作方法中。

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