技术总结
本发明公开了一种单臂三自由度的晶圆传输机械手及使用方法，包括旋转运动系统，径向运动系统，垂直运动系统和支架；旋转运动系统包括连接在升降架上的旋转驱动电机，旋转驱动电机通过第一传动装置驱动主臂旋转，主臂顶端穿出所述的上支架与径向运动系统相连接进而驱动径向运动系统旋转；径向运动系统包括一连接在径向支架上的径向驱动电机，径向驱动电机通过第二传动装置驱动沿两径向导轨滑动的机械手爪，机械手爪表面设置有用于吸附晶圆的真空吸附装置；垂直运动系统包括连接在所述垂直电机支架上的垂直驱动电机，垂直驱动电机通过第三传动装置驱动沿两线性导向轴上下移动的升降架，进而驱动旋转运动系统和径向运动系统上下移动。
技术研发人员：闫鹏;张志名
受保护的技术使用者：山东大学
文档号码：201610919448
技术研发日：2016.10.21
技术公布日：2017.02.15