一种PERC太阳能电池结构及其制备工艺的制作方法

文档序号:11102086阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种PERC太阳能电池结构,其特征是,包括电池片本体,所述电池片本体(4)的正面依次沉积/生长有正SiO2层(3)、减反层(2)和正AlOx层(1),所述电池片本体(4)的背面依次沉积有背AlOx层(5)和SiNx层(6)。

2.根据权利要求1所述的一种PERC太阳能电池结构,其特征是,所述减反层(2)的结构为SiNx/SiNy/SiOxNy与SiNx/SiOxNy/SiOx中的其中一种。

3.根据权利要求1或2所述的一种PERC太阳能电池结构,其特征是,所述电池片本体(4)的背面与背AlOx层(5)之间还沉积/生长有背SiO2层(7)。

4.如权利要求1或2所述的一种PERC太阳能电池结构的制备工艺,其特征是,具体包括如下步骤:

(1)硅片在碱性或者酸性溶液中制绒后,清洗,烘干,绒面尺寸控制在5um以内;

(2)扩散炉中进行高温磷扩散,扩散方阻在60-120Ω/口之间,表面浓度在1019-1022atom/cm3之间,结深控制在200-800nm之间,进行湿法刻蚀和清洗;

(3)扩散炉中进行氧化掺杂,氧化温度在600-900℃之间,时间在10-60min,同时通入POCl3进行掺杂,控制表面浓度,掺入杂质类型与发射结相同,掺杂温度在600-900℃之间,时间为60-300s之间,掺杂后表面浓度控制在1020-1022atom/cm3之间,结深控制在300-900nm之间;

(4)正面镀膜:通过PECVD沉积减反层,并控制折射率和膜厚;

(5)背面刻蚀和清洗,去除氧化掺杂过程中引入的边结/背结,同时清洗背面;

(6)双面同时沉积AlOx层,折射率1.6-1.65,膜厚3-30nm;

(7)退火,背面SiNx层沉积,折射率1.9-2.4,膜厚80-200nm;

(8)激光开窗,制备背面局部接触图案;

(9)丝网印刷及高温烧结。

5.根据权利要求4所述的一种PERC太阳能电池结构的制备工艺,其特征是,在步骤(1)中,所述的硅片为单晶电池片或者多晶电池片;在步骤(4)中,通过PECVD依次沉积SiNx层、SiNy层和SiOxNy层,其中:控制的折射率依次为2.0-2.3、1.8-2.0和1.7-1.9,控制的膜厚依次为5-20nm、20-40nm和30-50nm。

6.根据权利要求4所述的一种PERC太阳能电池结构的制备工艺,其特征是,在步骤(1)中,所述的硅片为单晶电池片或者多晶电池片;在步骤(4)中,通过PECVD依次沉积SiNx层、SiOxNy层和SiOx层,其中:控制的折射率依次为1.9-2.2、1.6-1.9和1.4-1.6,控制的膜厚依次为5-20nm、20-40nm和30-50nm。

7.如权利要求3所述的一种PERC太阳能电池结构的制备工艺,其特征是,具体包括如下步骤:

(1)硅片在碱性或者酸性溶液中制绒后,清洗,烘干,绒面尺寸控制在5um以内;

(2)扩散炉中进行高温磷扩散,扩散方阻在60-120Ω/□之间,表面浓度在1019-1022atom/cm3之间,结深控制在200-800nm之间,进行湿法刻蚀和清洗;

(3)扩散炉中进行氧化掺杂,氧化温度在600-900℃之间,时间在10-60min,同时通入POCl3进行掺杂,控制表面浓度,掺入杂质类型与发射结相同,掺杂温度在600-900℃之间,时间为60-300s之间,掺杂后表面浓度控制在1020-1022atom/cm3之间,结深控制在300-900nm之间;

(4)正面镀膜:通过PECVD沉积减反层,并控制折射率和膜厚;

(5)采用等离子体或者激光方式进行刻边;

(6)双面同时沉积AlOx层,折射率1.6-1.65,膜厚3-30nm;

(7)退火,背面SiNx层沉积,折射率1.9-2.4,膜厚80-200nm;

(8)激光开窗,制备背面局部接触图案;

(9)丝网印刷及高温烧结。

8.根据权利要求7所述的一种PERC太阳能电池结构的制备工艺,其特征是,在步骤(1)中,所述的硅片为单晶电池片或者多晶电池片;在步骤(4)中,通过PECVD依次沉积SiNx层、SiNy层和SiOxNy层,其中:控制的折射率依次为2.0-2.3、1.8-2.0和1.7-1.9,控制的膜厚依次为5-20nm、20-40nm和30-50nm;。

9.根据权利要求7所述的一种PERC太阳能电池结构的制备工艺,其特征是,在步骤(1)中,所述的硅片为单晶电池片或者多晶电池片;在步骤(4)中,通过PECVD依次沉积SiNx层、SiOxNy层和SiOx层,其中:控制的折射率依次为1.9-2.2、1.6-1.9和1.4-1.6,控制的膜厚依次为5-20nm、20-40nm和30-50nm。

10.根据权利要求7或8或9所述的一种PERC太阳能电池结构的制备工艺,其特征是,在步骤(4)之后,直接进入到步骤(6),并在步骤(9)之后,增加一个工艺,具体为:采用等离子体或者激光方式进行刻边。

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