技术总结
一种用于附着玻璃与掩模的设备，包括：掩模支撑单元，用于支撑由金属材料形成的掩模；磁性卡盘，设置于掩模支撑单元上方并产生磁性力以附着至所述掩模，在所述磁性卡盘与所述掩模之间夹置有基板；磁性卡盘上/下驱动单元，连接至所述磁性卡盘并用于上下驱动所述磁性卡盘；以及控制器，用于控制所述磁性卡盘上/下驱动单元的操作，以改变所述磁性卡盘的位置进而防止在所述掩模的返回操作期间由于磁性力的干扰而使所述掩模与所述磁性卡盘相互接触。
技术研发人员：姜敞皓;赵灿熙;朴珉镐
受保护的技术使用者：SFA工程股份有限公司
文档号码：201611051220
技术研发日：2014.08.29
技术公布日：2017.05.31