一种柔性耐高温BaTi1‑xCoxO3阻变存储器的制作方法

文档序号:11102803阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种阻变存储器,其特征在于,衬底上设置底电极,底电极上设置BaTi1-xCoxO3阻变功能层,x为0.05至0.3,功能层上设置顶电极,所述衬底为柔性云母。

2.如权利要求1所述的阻变存储器,其特征在于,该存储器的最小弯曲半径为1mm,最小抗弯曲次数为106次。

3.如权利要求1所述的阻变存储器,其特征在于,柔性云母的厚度为0.5μm至10μm。

4.如权利要求1所述的阻变存储器,其特征在于,底电极为SrRuO3薄膜。

5.如权利要求1所述的阻变存储器,其特征在于,顶电极为Au薄膜。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1