一种柔性耐高温BaTi1‑xCoxO3阻变存储器的制作方法

文档序号:11102803阅读:来源:国知局
技术总结
本发明公开了一种柔性耐高温BaTi1‑xCoxO3阻变存储器,其结构为:衬底上设置底电极,底电极上设置BaTi1‑xCoxO3阻变功能层,x为0.05至0.3,功能层上设置顶电极,所述衬底为柔性云母。本发明的柔性耐高温阻变存储器具有优异的阻变性质,且柔性弯折性好,弯曲半径为1mm时,至少抗106次弯曲,阻变性质无明显变化;耐高温性优异,在500℃退火后仍能保持良好的阻变性能,在柔性存储器及柔性电子器件领域中有良好的应用前景。

技术研发人员:谢忠帅;杨玉玺;马赫;袁国亮
受保护的技术使用者:南京理工大学
文档号码:201611120850
技术研发日:2016.12.08
技术公布日:2017.05.10

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