1.一种太阳能电池制备方法,其特征在于,包括:
步骤S1:制备等离子反应刻蚀RIE硅片;
步骤S2:在所述等离子反应刻蚀RIE硅片表面进行PN结扩散,形成PN结扩散层,在所述PN结扩散层的表面印刷副栅图案;
步骤S3:覆盖所述副栅图案蒸镀减反射膜,在所述等离子反应刻蚀RIE硅片的背面制备背电极;
步骤S4:在所述减反射膜上印刷主栅图案,所述主栅图案中的主栅线与所述副栅图案中的副栅线相互垂直,进行烧结后形成太阳能电池。
2.如权利要求1所述的太阳能电池制备方法,其特征在于,所述步骤S1中,所述制备等离子反应刻蚀RIE硅片包括:
对选取的硅片进行清洗制绒,形成第一绒面层;
在所述第一绒面层上进行反应离子刻蚀,形成第二绒面层,得到等离子反应刻蚀RIE硅片。
3.如权利要求2所述的太阳能电池制备方法,其特征在于,所述步骤S1中,所述制备等离子反应刻蚀RIE硅片之后,还包括:
对所述等离子反应刻蚀RIE硅片进行刻蚀清洗从而去除边缘磷硅玻璃以及碎屑。
4.如权利要求3所述的太阳能电池制备方法,其特征在于,所述步骤S2中,在所述等离子反应刻蚀RIE硅片表面进行PN结扩散之前,还包括:
对所述等离子反应刻蚀RIE硅片依次进行HF酸洗、ID水洗以及KOH碱洗。
5.一种太阳能电池,其特征在于,包括等离子反应刻蚀RIE硅片,以及在所述等离子反应刻蚀RIE硅片的正面依次设置的PN结扩散层、副栅图案、减反射膜以及主栅图案,所述主栅图案中的主栅线与所述副栅图案中的副栅线相互垂直。
6.如权利要求5所述的太阳能电池,其特征在于,所述等离子反应刻蚀RIE硅片为正表面依次设置的第一绒面层以及第二绒面层的硅片。
7.如权利要求6所述的太阳能电池,其特征在于,所述硅片为金刚线切割多晶硅片。
8.如权利要求7所述的太阳能电池,其特征在于,所述金刚线切割多晶硅片的厚度范围为168nm~212nm范围,面积范围为150mm*150mm~160mm*160mm。
9.如权利要求8所述的太阳能电池,其特征在于,所述减反射膜为SixNy减反射膜,所述SixNy减反射膜的膜厚范围为75~85nm,折射率范围为2.05~2.15。
10.如权利要求9所述的太阳能电池,其特征在于,所述主栅线的条数范围为2~6根,所述副栅线的条数范围为90~120根。