离子源及其维护方法与流程

文档序号:16484064发布日期:2019-01-04 22:54阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种离子源,所述离子源包括进样管和泵;其特征在于:所述离子源进一步包括:

空腔,所述空腔具有样品进口、离子出口和气体出口,所述进样管安装在所述样品进口处;未被电离的中性样品由气体出口抽出;

推斥极,所述推斥极为底部具有适于样品进入的通孔的筒形电极;

吸引极,所述吸引极为底部具有适于样品进入的通孔、侧部具有通孔的筒形电极,设置在所述推斥极的内部;

杆状聚焦电极,所述杆状聚焦电极设置在所述空腔的腔体内,且处于所述吸引极和离子出口之间;

环形灯丝,所述环形灯丝设置在所述推斥极和吸引极之间的空间内,且绕在所述吸引极的外围;电源,所述电源的输出端连接所述推斥极、吸引极和环形灯丝。

2.根据权利要求1所述的离子源,其特征在于:所述推斥极的侧部具有通孔。

3.根据权利要求1所述的离子源,其特征在于:所述进样管的端部穿过所述推斥极和吸引极底部的通孔并处于所述吸引极的内侧。

4.根据权利要求1所述的离子源,其特征在于:所述进样管、所述推斥极底部的通孔、所述吸引极底部的通孔以及离子出口的中心轴线共线。

5.根据权利要求1所述的离子源,其特征在于:所述气体出口的中心到所述腔体的中心轴线的垂线与腔体的中心轴线的交点到所述离子出口的中心的距离与样品进口的中心到离子出口的中心的距离之比小于0.25。

6.根据权利要求1所述的离子源,其特征在于:所述离子源进一步包括:

切换模块,切换模块用于使所述进样管选择性地连通外界空气或待测样品。

7.一种根据权利要求1-6任一所述的离子源的维护方法,所述维护方法包括以下步骤:

(A1)离子源进入维护状态:通过加热使所述腔体的温度超过85度,且维护状态时腔体的温度T2>检测状态时腔体的温度T1;

提高灯丝电流I2,灯丝电流I2≥100I1,I1为检测状态时所述灯丝的电流;

提高推斥极和吸引极上的电压,以高于检测状态时推斥极和吸引极上的电压;

(A2)灯丝发射的电子撞击所述腔体内部的附着物质,附着杂质脱离吸附,并被抽出。

8.根据权利要求7所述的维护方法,其特征在于:所述维护方法进一步包括以下步骤:

(A0)离子源处于检测状态:空气进入所述腔体内,并被离子化,获知空气中参照物的信噪比;

若所述信噪比达不到要求,进入步骤(A1)。

9.根据权利要求7所述的维护方法,其特征在于:所述维护方法进一步包括以下步骤:

(A3)离子源处于检测状态:空气进入所述腔体内,并被离子化,获知空气中参照物的信噪比;

(A4)判断所述信噪比是否达到要求:

如未达到要求,进入步骤(A1);

如达到要求,维护结束。

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