离子源及其维护方法与流程

文档序号:16484064发布日期:2019-01-04 22:54阅读:来源:国知局
技术总结
本发明提供了一种离子源及其维护方法,离子源包括进样管、泵;空腔,所述空腔具有样品进口、离子出口和气体出口,所述进样管安装在所述样品进口处;推斥极,所述推斥极为底部具有适于样品进入的通孔的筒形电极;吸引极,所述吸引极为底部具有适于样品进入的通孔、侧部具有通孔的筒形电极,设置在所述推斥极的内部;环形灯丝,所述环形灯丝设置在所述推斥极和吸引极之间的空间内,且绕在所述吸引极的外围;电源,所述电源的输出端连接所述推斥极、吸引极和环形灯丝。本发明具有灯丝使用寿命长、信噪比高等优点。

技术研发人员:张进伟;任焱
受保护的技术使用者:聚光科技(杭州)股份有限公司
技术研发日:2016.12.29
技术公布日:2019.01.04

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