一种具有同步辊子输送结构的晶体硅片刻蚀清洗设备的制作方法

本实用新型涉及蚀清洗设备技术领域，更具体地说涉及一种具有同步辊子输送结构的晶体硅片刻蚀清洗设备。

背景技术：
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晶体硅片需要经过多道工序的生产加工之后才能将其应用到太阳能设备上，其中较为重要的工序就有对晶体硅片进行刻蚀的工序，在刻蚀工序之后需要对晶体硅片进行清洗，刻蚀的过程是通过酸性溶液对其进行腐蚀加工，现有技术中的刻蚀设备一般将晶体硅片放置在输送辊子上，然后通过输送辊子进行输送晶体硅片，在晶体硅片的移动过程中完成刻蚀加工，现有技术中的输送辊子一般采用链条和链轮传动，这种传动方式使得各辊子之间不能同步，因此会影响加工的质量。

技术实现要素：
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本实用新型的目的就在于提供一种具有同步辊子输送结构的晶体硅片刻蚀清洗设备，它的所有输送辊子能同步运行，因此其提高了晶体硅片加工的质量。

为实现上述目的，本实用新型的一种具有同步辊子输送结构的晶体硅片刻蚀清洗设备，所述刻蚀清洗设备包括机架，所述机架上设置有刻蚀水槽和清洗水槽，所述机架上设置有硅片输送装置，所述硅片 输送装置从刻蚀水槽和清洗水槽中穿过，所述硅片输送装置包括输送辊子、伺服驱动电机和驱动主轴，所述伺服驱动电机的主轴与蜗杆连接，所述驱动主轴上设置有涡轮，所述蜗杆和涡轮相配合，每一输送辊子上安装有第一锥形齿轮，所述驱动主轴上安装有与所述第一锥形齿轮位置与数量相对应的第二锥形齿轮，所述第一锥形齿轮和第二锥形齿轮相互啮合。

作为上述技术方案的优选，所述硅片输送装置还包括上轨道，所述上轨道上设置有U形缺口，所述输送辊子的轴部置于所述U形缺口中。

作为上述技术方案的优选，所述第一锥形齿轮安装在所述输送辊子一端的轴部。

作为上述技术方案的优选，所述U形缺口中可拆卸地安装有U形托架，所述输送辊子的轴部置于所述U形托架上。

作为上述技术方案的优选，所述U形缺口的两侧壁部设置有T形导轨，所述U形托架安装在所述T形导轨上且可沿所述T形导轨移动，所述U形托架的形状与所述U形缺口相配合。

作为上述技术方案的优选，所述上轨道安装在下轨道上。

作为上述技术方案的优选，所述上轨道上设置有安装孔，所述安装孔中设置有紧固螺栓，所述上轨道通过紧固螺栓安装在所述下轨道上，所述上轨道上还设置有沉孔，所述沉孔中设置有调节螺栓，所述调节螺栓的下部与所述下轨道螺纹连接。

本实用新型的有益效果在于：本实用新型通过涡轮、蜗杆驱动同 时带动锥形齿轮转动，在这个过程中可以使得所有的输送辊子同步转动，防止由于输送辊子的不同步而导致有些晶体硅片在输送过程中滞后或是提前，保证了在刻蚀过程中晶体硅片的质量和良品率。

附图说明：

下面结合附图对本实用新型做进一步的说明：

图1为本实用新型实施例的立体结构示意图

图2为本实用新型实施例中硅片输送装置的立体结构示意图

图3为本实用新型实施例中硅片输送装置的俯视图

图4为图3的主视图

图5为本实用新型实施例中上轨道的安装结构示意图

图中：1、机架；2、硅片输送装置；3、刻蚀水槽；4、机罩；5、清洗水槽；6、中控柜；7、热风机；21、输送辊子；22、伺服驱动电机；23、涡轮；24、第二锥形齿轮；25、蜗杆；26、驱动主轴；27、第一锥形齿轮；28、U形托架；29、上轨道；210、下轨道；211、轴部；212、紧固螺栓；213、沉孔；214、安装孔；215、调节螺栓；216、U形缺口。

具体实施方式：

以下所述仅为体现本实用新型原理的较佳实施例，并不因此而限定本实用新型的保护范围。

如图1至5所示为本实用新型一种具有同步辊子输送结构的晶体硅片刻蚀清洗设备，所述刻蚀清洗设备包括机架1，所述机架1上设置有刻蚀水槽3和清洗水槽5，所述机架1上设置有硅片输送装置2， 所述硅片输送装置2从刻蚀水槽3和清洗水槽5中穿过，所述硅片输送装置2包括输送辊子21、伺服驱动电机22和驱动主轴26，所述伺服驱动电机22的主轴与蜗杆25连接，所述驱动主轴26上设置有涡轮23，所述蜗杆25和涡轮23相配合，每一输送辊子21上安装有第一锥形齿轮27，所述驱动主轴26上安装有与所述第一锥形齿轮27位置与数量相对应的第二锥形齿轮24，所述第一锥形齿轮27和第二锥形齿轮24相互啮合。另外，本实施例中，在机架1上设置有机罩4，机架1的侧面设置有热风机7和中控柜6。

本实施例中的输送辊子21在第一锥形齿轮27和第二锥形齿轮24的带动下，所有的输送辊子21进行同步旋转，因此使得位于输送辊子21上的所有晶体硅片都具备一致性，这样刻蚀的时间和过程均可控制而且刻蚀更加稳定，因此其提高了晶体硅片加工的质量。

硅片输送装置2还包括上轨道29，所述上轨道29上设置有U形缺口216，所述输送辊子21的轴部211置于所述U形缺口216中。

第一锥形齿轮27安装在所述输送辊子21一端的轴部211。

U形缺口216中可拆卸地安装有U形托架28，所述输送辊子21的轴部211置于所述U形托架28上。

U形缺口216的两侧壁部设置有T形导轨，所述U形托架28安装在所述T形导轨上且可沿所述T形导轨移动，所述U形托架28的形状与所述U形缺口216相配合，所述U形托架28的材料硬度低于所述输送辊子轴部的材料硬度。

在输送辊子旋转的过程中，辊子的轴部上要与其接触的部位相互 摩擦的，在摩擦的过程中会造成部件损伤报废，因此该结构中的U形托架更换方便，方便维修，另外，U形缺口的结构使得本实施例中的输送辊子可以单个进行安装和拆卸，安装和拆卸非常方便。

上轨道29安装在下轨道210上。

上轨道29上设置有安装孔214，所述安装孔214中设置有紧固螺栓212，所述上轨道29通过紧固螺栓212安装在所述下轨道210上，所述上轨道29上还设置有沉孔213，所述沉孔213中设置有调节螺栓215，所述调节螺栓215的下部与所述下轨道210螺纹连接。

在辊子输送以及刻蚀过程中，需要所有的辊子的最上部位于同一平面上，本实施例中通过调节螺栓215的拧紧和拧松来调节上轨道29的高度来调节输送辊子所在的高度，可以有效提高加工产品的质量。

本文中所描述的具体实施例仅仅是对本实施例精神作举例说明。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本实用新型的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。