一种蓝宝石衬底单结太阳能电池结构的制作方法

文档序号:11990351阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种蓝宝石衬底单结太阳能电池结构,其特征在于,包括依次从下到上设置的蓝宝石衬底、低温GaP缓冲层、高温GaP缓冲层、GaP欧姆接触层、GaAsP过渡层、GaAs缓冲层、AlGaAs背场层、GaAs基层、GaAs发射层、AlGaAs窗口层、GaAs电极接触层,所述低温GaP缓冲层的厚度为15-50nm,所述高温GaP缓冲层的厚度为0.3-1μm,所述GaP欧姆接触层的厚度为2-5μm,所述GaAsP过渡层的厚度为0.5-1μm,所述GaAs缓冲层的厚度为0.5-1μm。

2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石衬底单结太阳能电池结构,其特征在于,所述低温GaP缓冲层的厚度为16-45nm,所述高温GaP缓冲层的厚度为0.35-0.9μm,所述GaP欧姆接触层的厚度为2.5-4.5μm,所述GaAsP过渡层的厚度为0.6-0.9μm,所述GaAs缓冲层的厚度为0.6-0.9μm。

3.根据权利要求1所述的一种蓝宝石衬底单结太阳能电池结构,其特征在于,所述低温GaP缓冲层的厚度为25nm,所述高温GaP缓冲层的厚度为0.5μm,所述GaP欧姆接触层的厚度为3.2μm,所述GaAsP过渡层的厚度为0.52μm,所述GaAs缓冲层的厚度为0.65μm。

4.根据权利要求1所述的一种蓝宝石衬底单结太阳能电池结构,其特征在于,所述AlGaAs背场层的厚度为0.1-0.5μm,所述GaAs基层厚度为2-5um,所述GaAs发射层厚度为0.5-1um,所述AlGaAs窗口层厚度为0.03-0.1um,所述GaAs电极接触层厚度为0.2-1um。

5.根据权利要求1所述的一种蓝宝石衬底单结太阳能电池结构,其特征在于,所述AlGaAs背场层厚度为0.15-0.45μm,所述GaAs基层的厚度为3-5um,所述GaAs发射层的厚度为0.51-0.9um,所述AlGaAs窗口层的厚度为0.04-0.9um,所述GaAs电极接触层的厚度为0.2-0.9um。

6.根据权利要求1-5任一所述的一种蓝宝石衬底单结太阳能电池结构,其特征在于,所述AlGaAs背场层厚度为0.27um,所述GaAs基层的厚度为3.2um,所述GaAs发射层的厚度为0.6um,所述AlGaAs窗口层的厚度为0.15um,所述GaAs电极接触层的厚度为0.5um。

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