一种晶元片多探针检测头的制作方法

本实用新型涉及自动化检测技术领域，尤其涉及一种晶元片多探针检测头。

背景技术：

晶元(Wafer)，是生产集成电路所用的载体，多指单晶硅圆片，也叫晶元芯片。普通硅砂拉制提炼，经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制成单晶硅棒，单晶硅棒经过抛光、切片之后，就成为了晶元片。一个圆盘状的晶元片上分布有很多一格格的晶元，晶元呈阵列排布，晶元在封装制造成芯片之前需要对其性能进行检测，由于一个晶元片上存在成百上千个晶元，人工通过探针对每个晶元进行检测，工作量非常大，而且容易漏检。

技术实现要素：

本实用新型为了解决现有技术中晶元片检测效率低的问题，提供了一种能适用于自动检测设备，极大提高检测效率的晶元片多探针检测头。

为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种晶元片多探针检测头，包括探针座，所述探针座的上端中心设有凹腔，所述凹腔底部设有若干探针定位通孔，所述探针定位通孔内设有探针，所述探针的下端伸出探针座底面，所述凹腔的底面设有与探针一一对应连接的导电片，所述的导电片与凹腔底面之间螺栓连接，每个导电片上均设有导电柱，所述凹腔的内壁上设有环形阶梯面，所述的环形阶梯面上设有线路板，所述的线路板与导电柱之间电连接，所述凹腔的开口端设有端盖，端盖与凹腔开口端之间螺纹连接，所述端盖的上侧面中心设有连接柱；所述探针座的底面中心设有限位柱。连接柱与自动检测设备上的升降机构连接，晶元片安装在滑动支架上，探针座向下移动一次，所有的探针与晶元片表面的晶元弹性接触、检测，然后探针座上移，滑动支架带动晶元片移动一段距离，探针座下降检测，依次循环，将晶元片上的所有晶元都检测一次，检测后直接从自动化检测设备上读取检测结果，极大的提高了晶元片的检测效率；线路板、探针上端电连接都被封装在凹腔内，防水、防尘性能好，整体稳定性好；限位柱用于限定探头的伸缩形变量，探针形变量太小，探针与晶元接触不稳定，探针形变量太大容易损坏，限位柱对探针起到保护作用。

作为优选，所述限位柱与探针座之间螺纹连接，所述限位柱的外侧套设有调节套，所述的限位柱为螺柱，所述调节套与限位柱之间螺纹连接，所述调节套的侧面设有限位螺栓，所述调节套的下端设有缓冲垫片。调节套在限位柱上转动，从而可以调节限位高度，能适用于不同探针的限位，通用性强。

作为优选，所述凹腔的侧面设有引线孔，线路板上的数据线穿过引线孔，数据线的外端设有数据插头，所述的引线孔内设有防水套。线路板上的数据线从引线孔处伸出，数据接头与自动化设备上的接口直接连接，实现数据传递；防水套对引线孔密封，起到防水作用，防止外界的水汽进入凹腔内导致探针短路。

作为优选，所述端盖的下侧面边缘与线路板边缘处设有密封圈。密封圈起到密封作用，防止外界水分进入凹腔内造成短路。

作为优选，所述的探针与探针定位通孔的内壁之间设有防水胶。为了便于探针的安装，探针与探针定位通孔之间间隙配合，这样就会导致探针晃动，防水胶一方面对探针完全定位，防止探针晃动，另一方面起到防水作用，防止外界水汽从探针与探针定位通孔之间的间隙内进入凹腔。

作为优选，所有探针的检测端面为球面，所有探针的检测端面共面。检测端面与晶元接触检测，球面能确保与晶元接触良好。

作为优选，所述的探针座由电木制成。电木的化学名称叫酚醛塑料，电木具有良好的机械强度、绝缘性、耐热性、耐腐蚀性，探针座采用电木制成，能确保探针之间相互绝缘，稳定性好。

因此，本实用新型与自动检测设备连接使用，极大提高晶元片的检测效率；同时自身密封性能好，防水防尘性能好，稳定性好，确保晶元的检测精度。

附图说明

图1为本实用新型的一种结构示意图。

图2为图1的剖视图。

图中：探针座1、凹腔2、探针定位通孔3、探针4、导电片5、防水胶6、导电柱7、环形阶梯面8、线路板9、端盖10、密封圈11、连接柱12、引线孔13、数据线14、数据插头15、防水套16、限位柱17、调节套18、限位螺栓19、缓冲垫片20。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步描述：

如图1和图2所示的一种晶元片多探针检测头，包括探针座1，探针座由电木制成，探针座1的上端中心设有凹腔2，凹腔底部设有若干探针定位通孔3，探针定位通孔内设有探针4，本实施例中的探针有16根，呈4X4的矩阵分布，探针的下端伸出探针座底面，探针的检测端面为球面，所有探针的检测端面共面；凹腔的底面设有与探针一一对应连接的导电片5，探针与导电片之间焊接连接，导电片与凹腔底面之间螺栓连接，每个导电片上均设有导电柱7，探针与探针定位通孔的内壁之间设有防水胶6，凹腔的内壁上设有环形阶梯面8，环形阶梯面上设有线路板9，线路板与导电柱之间电连接，凹腔的开口端设有端盖10，端盖与凹腔开口端之间螺纹连接，端盖的下侧面边缘与线路板边缘处设有密封圈11，端盖的上侧面中心设有连接柱12；凹腔的侧面设有引线孔13，线路板上的数据线14穿过引线孔，数据线的外端设有数据插头15，引线孔内设有防水套16；探针座的底面中心设有限位柱17，限位柱与探针座之间螺纹连接，限位柱的外侧套设有调节套18，限位柱为螺柱，调节套与限位柱之间螺纹连接，调节套的侧面设有限位螺栓19，调节套的下端设有缓冲垫片20。

结合附图，本实用新型的使用方法如下：连接柱12与自动检测设备上的升降机构连接，根据探针长度通过调节套调节限位柱的高度，晶元片安装在滑动支架上，探针座向下移动一次，所有的探针与晶元片表面的晶元弹性接触、检测，然后探针座上移，滑动支架带动晶元片移动一段距离，探针座下降检测，依次循环，将晶元片上的所有晶元都检测一次，检测后直接从自动化检测设备上读取检测结果，极大的提高了晶元片的检测效率；线路板、探针与导电片的连接都被完全封装在凹腔内，受外界干扰小，防水、防尘性能好，同时线路板与凹腔底面、线路板与端盖之间都存在间隙，便于线路板散热。