1.一种柔性氧化镓基日盲紫外光电探测器的制备方法,其特征在于包括如下步骤:1)利用气相沉积法制备氧化镓微米带材料;2)将氧化镓微米带材料转移到柔性衬底上充当日盲紫外光的光敏材料;3)再结合掩模和真空镀膜方法在已转移到柔性衬底上氧化镓微米带的两端制备金属电极,最终制备获得柔性氧化镓基日盲紫外光电探测器。
2.如权利要求1所述的一种柔性氧化镓基日盲紫外光电探测器的制备方法,其特征在于步骤1)的生长氧化镓微米带材料的气相沉积法为物理气相沉积法或化学气相沉积法,生长设备为高温管式炉。
3.如权利要求1所述的一种柔性氧化镓基日盲紫外光电探测器的制备方法,其特征在于步骤2)的氧化镓微米带材料转移到的柔性衬底为聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚碳酸酯(PC)、聚氯乙烯(PVC)、聚丙烯(PP)或聚乙烯(PE)塑料薄片。
4.如权利要求1所述的一种柔性氧化镓基日盲紫外光电探测器的制备方法,其特征在于步骤3)的氧化镓微米带的两端制备的金属电极为Au、Ag、Ti、Ni、Cr或Al的单层电极或它们组合的复合层电极。
5.如权利要求1所述的一种柔性氧化镓基日盲紫外光电探测器的制备方法,其特征在于所述金属电极的形状和尺寸定义的掩模技术为金属掩模版技术或光刻掩模技术。
6.如权利要求1或4所述的一种柔性氧化镓基日盲紫外光电探测器的制备方法,其特征在于所述金属电极的真空镀膜方法为磁控溅射镀膜方法、电子束蒸发镀膜方法或热蒸发镀膜方法。
7.权利要求1或4所述的一种柔性氧化镓基日盲紫外光电探测器的制备方法,其特征在于所述金属电极厚度为50~1000nm。
8.权利要求1-7任一所述的制备方法制得的柔性氧化镓基日盲紫外光电探测器。