一种柔性氧化镓基日盲紫外光电探测器及其制备方法与流程

文档序号:12066114阅读:来源:国知局
技术总结
本发明公开一种柔性氧化镓基日盲紫外光电探测器及其制备方法,具体是指利用气相沉积法制备氧化镓微米带材料,将其作为日盲紫外光的光敏材料,将氧化镓微米带材料转移到柔性衬底上,再结合掩模和真空镀膜方法在氧化镓微米带的两端制备金属电极,最终制备获得柔性氧化镓基日盲紫外光电探测器。本发明首次利用柔性的氧化镓微米带材料结合柔性衬底制备出柔性氧化镓基日盲紫外光电探测器,该器件具有针对日盲紫外光的特征响应和柔性可弯曲的特点。柔性探测器件具有重复弯曲可恢复性,可以应用于可穿戴探测设备、弯曲屏交互设备、仿生组织等领域;可以大幅提高日盲光电探测系统的便携性、设置及设计的自由度。

技术研发人员:郑清洪;陈礼辉;欧阳新华;黄六莲;杨海洋
受保护的技术使用者:福建农林大学
文档号码:201710012296
技术研发日:2017.01.09
技术公布日:2017.05.24

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