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一种新型光电位置敏感传感器的制作方法
文档序号:11179411
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来源:国知局
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一种新型光电位置敏感传感器的制造方法与工艺
技术特征:
技术总结
本发明公开了一种新型光电位置敏感传感器,包括透明衬底(101)、ITO背电极(201)、N型层(301)、I型层(401)、P型层(501)、第一电极(601)和第二电极(602)组成。通过传感器整体结构和各功能层的巧妙设计,本发明的新型光电位置敏感传感器性能优异,制备简单,成本低廉,基底兼容性好,易于制成大面积器件。
技术研发人员:
不公告发明人
受保护的技术使用者:
芜湖乐知智能科技有限公司
技术研发日:
2017.06.06
技术公布日:
2017.10.03
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