技术特征:
技术总结
一种薄膜晶体管及其制备方法、显示基板及其制备方法、以及显示装置。该薄膜晶体管的制备方法包括:在衬底基板上形成有源层;在所述有源层上方形成栅极,该栅极与所述有源层绝缘;以栅极为掩模对所述有源层进行第一次掺杂;在所述栅极上方形成金属层,该金属层与所述栅极绝缘并具有突出部,所述栅极在所述衬底基板上的正投影为第一投影,所述金属层在所述衬底基板上的正投影为第二投影,在所述金属层的所述突出部对应的区域处所述第二投影突出于所述第一投影;以及以所述金属层为掩模对所述有源层进行第二次掺杂。
技术研发人员:冯佑雄
受保护的技术使用者:京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
技术研发日:2017.06.16
技术公布日:2017.10.10