一种Ka波段叠层式薄膜铁氧体微带环行器的制作方法

文档序号:12865236阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种Ka波段叠层式铁氧体薄膜结构微带环行器,包括介质基片、以镀膜工艺在所述介质基片上依次形成第一铁氧体薄膜层、介质薄膜层和第二铁氧体薄膜层、以及设置所述第二铁氧体薄膜层上的微带线,所述微带线作为环行器的导体电路与外部电路相连接;所述介质薄膜层采用薄膜附着性的材料且其相对介电常数低于所述第一铁氧体薄膜层和第二铁氧体薄膜层的相对介电常数。本发明通过改变铁氧体薄膜的结构形式,达到了既能改善铁氧体单层薄膜易断裂的问题,降低了镀膜工艺的难度,又能提升环行器环行效果的目的。实验结果表明,适当厚度且低相对介电常数的介质层对环行器的回波损耗、隔离度、插入损耗和工作带宽都有显著的改善。

技术研发人员:郑辉;刘佩森;郑鹏;吴建锋;郑梁
受保护的技术使用者:杭州电子科技大学
技术研发日:2017.06.30
技术公布日:2017.11.03
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