1.一种晶圆盒测试装置,其特征在于,所述晶圆盒测试装置包括驱动装置及位于所述驱动装置上的晶圆盒承载装置,所述驱动装置驱动所述晶圆盒承载装置进行上下振动。
2.如权利要求1所述的晶圆盒测试装置,其特征在于,所述晶圆盒承载装置还包括固定装置,所述固定装置将晶圆盒固定在晶圆盒承载装置上。
3.如权利要求1所述的晶圆盒测试装置,其特征在于,所述驱动装置与所述晶圆盒承载装置通过柔性连接装置连接。
4.如权利要求1所述的晶圆盒测试装置,其特征在于,所述驱动装置包括第一驱动装置,所述第一驱动装置安装于所述晶圆盒承载装置第一端的下方。
5.如权利要求4所述的晶圆盒测试装置,其特征在于,所述第一驱动装置包括第一升降装置和与所述第一升降装置连接的第一气缸,其中:
所述第一气缸通过气体的进入和排出驱动所述第一升降装置进行升降运动,所述第一升降装置驱动所述晶圆盒承载装置的第一端的升降。
6.如权利要求5所述的晶圆盒测试装置,其特征在于,所述驱动装置还包括第二驱动装置,所述第二驱动装置安装于所述晶圆盒承载装置第二端的下方。
7.如权利要求6所述的晶圆盒测试装置,其特征在于,所述第二驱动装置包括第二升降装置和与所述第二升降装置连接的第二气缸,其中:
所述第二气缸通过气体的进入和排出驱动所述第二升降装置进行升降运动,所述第二升降装置驱动所述晶圆盒承载装置的第二端的升降。
8.如权利要求7所述的晶圆盒测试装置,其特征在于,所述驱动装置还包括进排气控制阀门,其中:
所述进排气控制阀门控制所述第一气缸和所述第二气缸中的气体的进入和排出。
9.如权利要求5所述的晶圆盒测试装置,其特征在于,所述第一升降装置在晶圆盒测试过程中的升降的幅度为0~14厘米。
10.如权利要求7所述的晶圆盒测试装置,其特征在于,所述第二升降装置在晶圆盒测试过程中的升降的幅度为0~14厘米。
11.一种晶圆盒监测系统,其特征在于,所述晶圆盒监测系统包括:晶圆盒承载装置、驱动装置、振幅传感装置及控制器;其中,
所述晶圆盒承载装置位于所述驱动装置上,所述驱动装置驱动所述晶圆盒承载装置振动;
所述控制器连接所述驱动装置,所述控制器控制所述驱动装置;
所述振幅传感器位于所述晶圆盒承载装置上,所述振幅传感装置检测所述晶圆盒承载装置的振幅并将检测到的所述晶圆盒承载装置的振幅提供给所述控制器。
12.如权利要求11所述的晶圆盒监测系统,其特征在于,所述驱动装置包括第一驱动装置,所述第一驱动装置安装于所述晶圆盒承载装置第一端的下方。
13.如权利要求12所述的晶圆盒监测系统,其特征在于,所述第一驱动装置包括第一升降装置和与所述第一升降装置连接的第一气缸,其中:
所述第一气缸通过气体的进入和排出驱动所述第一升降装置进行升降运动,所述第一升降装置驱动所述晶圆盒承载装置的第一端的升降。
14.如权利要求13所述的晶圆盒监测系统,其特征在于,所述驱动装置还包括第二驱动装置,所述第二驱动装置安装于所述晶圆盒承载装置第二端的下方。
15.如权利要求14所述的晶圆盒监测系统,其特征在于,所述第二驱动装置包括第二升降装置和与所述第二升降装置连接的第二气缸,其中:
所述第二气缸通过气体的进入和排出驱动所述第二升降装置进行升降运动,所述第二升降装置驱动所述晶圆盒承载装置的第二端的升降。
16.如权利要求15所述的晶圆盒监测系统,其特征在于,所述驱动装置还包括进排气控制阀门,其中:
所述进排气控制阀门控制所述第一气缸和所述第二气缸中的气体的进入和排出。
17.如权利要求16所述的晶圆盒监测系统,其特征在于,所述控制器连接所述进排气控制阀门,控制所述进排气控制阀门的开启和关闭。
18.如权利要求11所述的晶圆盒监测系统,其特征在于,所述晶圆盒监测系统还包括键盘,所述键盘将所述晶圆盒承载装置振动的振幅和振动的次数输入到控制器中。
19.如权利要求11所述的晶圆盒监测系统,其特征在于,所述晶圆盒监测系统还包括显示器,所述显示器显示所述振幅传感装置发送给所述控制器的晶圆盒承载装置的振幅。
20.如权利要求13所述的晶圆盒监测系统,其特征在于,所述晶圆盒监测系统还包括报警装置,所述报警装置对晶圆盒承载装置振动次数和振动的振幅超过标准的情况进行报警。