技术总结
本实用新型提供了一种晶圆盒测试装置、晶圆盒监测系统，晶圆盒监测系统包括晶圆盒测试装置、振幅传感装置及控制器，其中：所述晶圆盒测试装置包括驱动装置，及位于所述驱动装置上的晶圆盒承载装置，所述驱动装置驱动所述晶圆盒承载装置振动；控制器连接所述晶圆盒测试装置中的驱动装置，控制器控制驱动装置的进排气控制阀门的开启和关闭；所述振幅传感装置检测晶圆盒承载装置的振幅并将检测的所述晶圆盒承载装置的振幅的数据发送给控制器。本实用新型通过建立标准的晶圆盒测试装置和监控系统，及时准确发现晶圆盒使用情况及时处理，来完全量化晶圆盒的使用控制，从而监测线上所有晶圆盒的使用情况，并且智能控制晶圆盒测试时的振动次数、振幅和冲量。
技术研发人员：吴健健;朱瑜杰;许晓世
受保护的技术使用者：中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
文档号码：201720240274
技术研发日：2017.03.13
技术公布日：2017.11.14