无损式自清洁硅片插片装置的制作方法

文档序号:11197179阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种无损式自清洁硅片插片装置,包括用于承载相同硅片的大花篮(22)和小花篮(23),大花篮(22)和小花篮(23)均具有开口向上的容纳腔,容纳腔内均等间隔分布有若干用于插设硅片的插槽(24),大花篮(22)中相邻两个插槽(24)的间距与小花篮(23)中相邻两个插槽(24)的间距相等,其特征在于:还包括底座(1),所述底座(1)上通过立柱(2)固定有层板(3),所述层板(3)上通过侧板(4)固定有平台(5),所述平台(5)上开设有与所述小花篮(23)相匹配的第一通孔(501),所述层板(3)上开设有与第一通孔(501)相匹配的第二通孔(301),所述第二通孔(301)位于第一通孔(501)的正下方,所述小花篮(23)开口端的前后两侧分别向外延伸有侧翼(23-1),小花篮(23)前后两端的侧翼(23-1)分别支撑在平台(5)上位于第一通孔(501)的两侧,所述小花篮(23)开口端的左右两侧端面均嵌入有条形铁片(23-2),所述小花篮(23)的开口端盖设有托板(6),所述托板(6)的左右两侧均设置有用于与条形铁片(23-2)吸附的第一磁铁(7),所述托板(6)的下表面设置有第二磁铁(8),所述大花篮(22)的底面具有与托板(6)相匹配的缺口(22-1);

所述层板(3)的上表面固定有推动气缸(9),所述推动气缸(9)的伸出端与滑座(10)固定连接,所述滑座(10)滑动设置在层板(3)的上表面,所述滑座(10)上开设有与大花篮(22)相匹配的定位槽,所述定位槽的底面开设有第三通孔(10-1),定位槽与第三通孔(10-1)之间形成台阶面;

所述底座(1)上固定有伸出端朝上的顶升气缸(11),所述顶升气缸(11)的伸出端上固定有托杆(12),所述托杆(12)依次穿过第二通孔(301)、第三通孔(10-1)及第一通孔(501),所述托杆(12)的顶端固定有用于与第二磁铁(8)吸附的第三磁铁(13),所述第二磁铁(8)与第三磁铁(13)之间的吸附力大于第一磁铁(7)与条形铁片(23-2)之间的吸附力;

所述层板(3)的下方设置有气泵(14),所述气泵(14)的出气端连接有喷出管(15),所述喷出管(15)位于第二通孔(301)的正下方,所述喷出管(15)的侧壁上沿其轴向方向等间隔分布有若干气孔,所述气孔的轴线与托杆(12)的轴线平行。

2.根据权利要求1所述的无损式自清洁硅片插片装置,其特征在于:所述平台(5)上设置有用于夹持小花篮(23)的夹持装置,所述夹持装置包括左固定板(16)、左活动板(17)及右固定板(18),所述左活动板(17)与平台(5)滑动连接,所述右固定板(18)与平台(5)固定连接,所述左固定板(16)固定在平台(5)上位于左活动板(17)右侧的部位,所述左固定板(16)与左活动板(17)之间设置有弹簧(19),所述左活动板(17)和右固定板(18)分别位于第一通孔(501)的左右两侧。

3.根据权利要求2所述的无损式自清洁硅片插片装置,其特征在于:所述滑座(10)上设置有定位座(20),所述定位座(20)上开设有销孔,所述销孔内滑动设置有定位销(21),所述大花篮(22)的侧面开设有与定位销(21)相匹配的定位孔,所述定位销(21)的轴线与推动气缸(9)的轴线平行。

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