基于台阶结构的发光二极管的制作方法

文档序号:13731621阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型涉及一种基于台阶结构的发光二极管10,包括:单晶Si衬底11第一Ge层12,设置于单晶Si衬底11表面;Ge基台阶结构13,设置于第一Ge层12表面的中心位置处;正电极14,设置于第一Ge层12的上表面并位于台阶结构13两侧的位置处;负电极15,设置于台阶结构13的上表面;钝化层16,设置于第一Ge层(12)和Ge基台阶结构(13)的上表面以及正电极(14)和Ge基台阶结构(13)的中间,以形成发光二极管10。本实用新型台阶结构的发光二极管,Si衬底上外延Ge层,制备出高质量GeSn层,极大地提高发光二极管的发光效率。

技术研发人员:乔丽萍
受保护的技术使用者:西藏民族大学
文档号码:201720544312
技术研发日:2017.05.17
技术公布日:2018.02.16

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