技术总结
一种灯丝结构，包括灯丝、上连接轴、下连接轴、上轴承、下轴承及第一连接头，所述上连接轴穿过上轴承，所述下连接轴与下轴承连接，所述灯丝连接于上连接轴与下连接轴之间，所述第一连接头与下连接轴电性连接，所述下连接轴与灯丝电性连接。如此取消了线缆的电位连接方式及壳体开孔，因此无需开孔、完全封闭，氩气、离子和电子不会泄露，避免了氩气浪费、环境污染及安全事故。本实用新型还提供了一种工件清洗设备及一种真空镀膜设备。
技术研发人员：毕凯
受保护的技术使用者：嘉兴岱源真空科技有限公司
技术研发日：2017.11.30
技术公布日：2018.05.29