运输辊的制作方法

文档序号:18005032发布日期:2019-06-25 23:16阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及一种新的运输辊类型,其提供改性表面以为新衬底提供经改进运输性质。此外,本发明涉及有益地利用此类运输辊(特别是用于提供保持辊对)的水平运输系统。另外,本发明涉及含有此运输辊或水平运输系统的处理装置。此外,本发明涉及一种用于处理衬底的方法及此运输辊的使用。

技术研发人员:费迪南多·温诺;斯特凡·格鲁斯纳
受保护的技术使用者:德国艾托特克公司
技术研发日:2017.09.21
技术公布日:2019.06.25
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