用于晶圆加工设备的缓冲腔室单元的制作方法

文档序号：18399801发布日期：2019-08-09 23:45阅读：来源：国知局

技术特征：

技术总结
本发明涉及一种用于晶圆加工设备的缓冲腔室单元。

技术研发人员：金台勋
受保护的技术使用者：SNW有限公司
技术研发日：2017.11.10
技术公布日：2019.08.09