技术特征：
技术总结
本公开是关于一种工艺腔、工艺腔的加热控制方法及装置，该工艺腔，包括：加热部，位于所述工艺腔底部，包括：加热板；N个加热器件，位于所述加热板下方，所述N个加热器件分别对所述加热板上表面分布的N个加热区域加热，所述N为大于等于1的整数；测温部，位于所述工艺腔的侧壁上，用于测量所述加热板上表面分布的N个加热区域的N个感应温度；控制器，连接所述测温部和所述加热部，根据所述测温部测量出的N个感应温度，控制所述N个加热器件各自的加热功率。该技术方案可以避免温差过大导致的加热器件受热不均变形，甚至断裂；可以保证对待处理物品的真实加热均匀性。
技术研发人员：金子玉;张寅;卫福强
受保护的技术使用者：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
技术研发日：2018.04.23
技术公布日：2018.08.07