一种显示面板及其制作方法与流程

文档序号:17475327发布日期:2019-04-20 06:05阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供一种显示面板及其制作方法,该制作方法包括:在衬底基板上依次形成有源层、第一栅极绝缘层、第二栅极绝缘层、第一层间绝缘层;对所述第一层间绝缘层和所述第二栅极绝缘层进行图案化处理,以形成两个填充孔;其中所述第一层间绝缘层和所述第二栅极绝缘层的材料相同;在所述第一层间绝缘层上和所述填充孔内沉积第二层间绝缘层;对与所述填充孔位置对应的所述第二层间绝缘层和所述第一栅极绝缘层进行图案化处理,以形成两个过孔,所述显示面板的源极和漏极均通过所述过孔与所述有源层连接,其中所述第二层间绝缘层和所述第一栅极绝缘层的材料相同。本发明的显示面板及其制作方法,能够提高薄膜晶体管的导电性能。

技术研发人员:张帆
受保护的技术使用者:武汉华星光电半导体显示技术有限公司
技术研发日:2018.12.18
技术公布日:2019.04.19
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