一种用于晶圆生产刻蚀的均匀性的控制装置的制作方法

本实用新型涉及半导体制造附属装置的技术领域，特别是涉及一种用于晶圆生产刻蚀的均匀性的控制装置。

背景技术：

众所周知，用于晶圆生产刻蚀的均匀性的控制装置是一种用于半导体制作过程中，利用溶液与预刻蚀材料之间的化学反应来去除未被掩蔽膜材料掩蔽的部分的装置，其在半导体制造的领域中得到了广泛的使用；现有的用于晶圆生产刻蚀的均匀性的控制装置包括工作台和胶头滴管，胶头滴管位于工作台上方；现有的用于晶圆生产刻蚀的均匀性的控制装置使用时，使用者将预刻蚀材料放置于工作台上，用胶头滴管吸取溶液，然后通过胶头滴管将溶液滴到预刻蚀材料上即可；现有的用于晶圆生产刻蚀的均匀性的控制装置使用中发现，不方便进行夹紧，使用便捷性较差；不方便控制溶液的速度和量，使用可靠性较低。

技术实现要素：

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种方便夹紧，提高使用便捷性；易于控制溶液的速度和量，提高使用可靠性的用于晶圆生产刻蚀的均匀性的控制装置。

本实用新型的一种用于晶圆生产刻蚀的均匀性的控制装置，包括工作台和胶头滴管，胶头滴管位于工作台上方；还包括第一支撑杆、第二支撑杆、前限位板、后限位板、左挡板、右挡板、推动杆、齿条、后不完整齿轮、前不完整齿轮、后连接杆、前连接杆、前固定杆和后固定杆，所述第一支撑杆顶端与工作台顶端连接，所述第二支撑杆左端与第一支撑杆右侧壁中央区域连接，所述前限位板和后限位板底侧壁分别与第二支撑杆顶侧壁前半区域和后半区域连接，所述右挡板底侧壁与第二支撑杆顶侧壁连接，所述左挡板底侧壁与第二支撑杆顶侧壁接触，左挡板和右挡板中央区域分别横向设置有第一固定孔和第二固定孔，所述弹簧左端和右端分别与左挡板右侧壁和右挡板左侧壁连接，所述推动杆右端穿过第一固定孔、第二固定孔和弹簧与所述齿条左端连接，并且推动杆与左挡板固定连接，齿条前侧壁和后侧壁分别设置有上齿状结构和下齿状结构，所述前不完整齿轮圆周外侧壁后半区域和后不完整齿轮圆周外侧壁前半区域分别设置有与上齿状结构和下齿状结构相对应的前齿状结构和后齿状结构，前不完整齿轮和后不完整齿轮分别与齿条前侧壁和后侧壁咬合，前不完整齿轮和后不完整齿轮中央区域分别纵向设置有第三固定孔和第四固定孔，第二支撑杆顶侧壁右半区域的前半区域和后半区域分别设置有前放置槽和后放置槽，前放置槽处和后放置槽处分别设置有前滚珠轴承和后滚珠轴承，所述前固定杆和后固定杆分别穿过第三固定孔和第四固定孔并且与前不完整齿轮和后不完整齿轮固定连接，前固定杆和后固定杆底端分别插入前滚珠轴承和后滚珠轴承内部并且分别与前滚珠轴承和后滚珠轴承键连接，所述前连接杆和后连接杆左端分别与前不完整齿轮前端和后不完整齿轮后端连接，前连接杆和后连接杆上分别设置有前夹持机构和后夹持机构；还包括第三支撑杆、第四支撑杆、第一转动杆、第二转动杆、第一螺纹杆、上齿轮、下齿轮、第一连接杆、第二连接杆、第三连接杆、第四连接杆、套环、左夹板和右夹板，所述第一支撑杆右侧壁分别设置有第一放置槽和第二放置槽，第一放置槽和第二放置槽处分别设置有第一滚珠轴承和第二滚珠轴承，所述第三支撑杆和第四支撑杆左端分别插入第一滚珠轴承和第二滚珠轴承内并且与第一滚珠轴承和第二滚珠轴承键连接，所述上齿轮圆周外壁设置有第一齿状结构，所述下齿轮圆周外壁设置有与第一齿状结构相对应的第二齿状结构，上齿轮和下齿轮中央区域分别横向设置有第一连接孔和第二连接孔，第三支撑杆和第四支撑杆右端分别穿过上齿轮和下齿轮并且分别与上齿轮和下齿轮固定连接，上齿轮和下齿轮咬合，所述第一连接杆前端和后端分别与第三连接杆前侧壁左端和第四连接杆后侧壁左端连接，第一连接杆中央区域设置有贯穿孔，第四支撑杆右端穿过贯穿孔与所述第一螺纹杆左端连接，第三支撑杆穿过所述套环，第二连接杆底端和顶端分别第一连接杆顶侧壁中央区域和套环底端连接，所述右夹板顶侧壁前端和后端分别与第四连接杆顶侧壁右端和第三连接杆顶侧壁右端连接，所述左夹板前半区域、中央区域和后半区域分别横向设置有第三连接孔、第四连接孔和第五连接孔，第三连接杆和第四连接杆分别穿过第五连接孔和第三连接孔，第四连接孔内侧壁上设置有与所述第一螺纹杆外螺纹相对应的内螺纹，第一螺纹杆左端螺装穿过第四连接孔，右夹板左侧壁底端与所述胶头滴管右侧壁顶端接触，所述第一转动杆底端与第三支撑杆顶端连接，所述第二转动杆左端与第一转动杆右侧壁顶端连接。

本实用新型的一种用于晶圆生产刻蚀的均匀性的控制装置，所述前夹持机构包括前螺纹杆、前夹持块、前插入杆、前锁紧螺母和前把手，所述前连接杆右半区域设置有前螺纹孔，前螺纹孔内侧壁上设置有与所述前螺纹杆外螺纹相对应的内螺纹，前螺纹杆后端螺装穿过前连接杆，前螺纹杆前端和后端分别与所述前把手后侧壁左端和所述前插入杆前端连接，所述前夹持块前侧壁设置有前卡装槽，前卡装槽处设置有第三滚珠轴承，前插入杆后端插入第三滚珠轴承内并且与第三滚珠轴承键连接，前夹持块后侧壁设置有前夹持槽，前夹持槽与前夹持块顶侧壁和底侧壁连通，所述前锁紧螺母螺装至前螺纹杆上，所述后夹持机构包括后螺纹杆、后夹持块、后插入杆、后锁紧螺母和后把手，所述后连接杆右半区域设置有后螺纹孔，后螺纹孔内侧壁上设置有与所述后螺纹杆外螺纹相对应的内螺纹，后螺纹杆前端螺装穿过后连接杆，后螺纹杆后端和前端分别与所述后把手前侧壁左端和所述后插入杆前端连接，所述后夹持块后侧壁设置有后卡装槽，后卡装槽处设置有第四滚珠轴承，后插入杆前端插入第四滚珠轴承内并且与第四滚珠轴承键连接，后夹持块前侧壁设置有后夹持槽，后夹持槽与后夹持块顶侧壁和底侧壁连通，所述后锁紧螺母螺装至后螺纹杆上。

本实用新型的一种用于晶圆生产刻蚀的均匀性的控制装置，还包括第一过渡杆和第二过渡杆，所述第二过渡杆前端和后端分别与第四连接杆后侧壁右端和第三连接杆前侧壁右端连接，第二过渡杆左侧壁中央区域设置有第三放置槽，第三放置槽处设置有第五滚珠轴承，所述第一过渡杆左端第一螺纹杆右端连接，第一过渡杆右端插入第五滚珠轴承内部并且与第五滚珠轴承键连接。

本实用新型的一种用于晶圆生产刻蚀的均匀性的控制装置，还包括U形杆，所述U形杆底侧壁左端和右端均与推动杆顶侧壁连接。

本实用新型的一种用于晶圆生产刻蚀的均匀性的控制装置，还包括第五支撑杆，所述第五支撑杆底端与工作台顶侧壁连接，第五支撑杆横向设置有第一平衡孔、第二平衡孔和第三平衡孔，所述第三支撑杆、第四支撑杆和第二支撑杆左端分别穿过第一平衡孔、第二平衡孔和第三平衡孔。

本实用新型的一种用于晶圆生产刻蚀的均匀性的控制装置，还包括左卡环、右卡环和旋转环，所述第二转动杆穿过左卡环、旋转环和右卡环并且与左卡环和右卡环固定连接。

本实用新型的一种用于晶圆生产刻蚀的均匀性的控制装置，还包括多组上滚珠和多组下滚珠，所述第三连接杆前端和后端分别设置有两组第一盛放槽，所述第四连接杆前端和后端分别设置有两组第二盛放槽，所述第五连接孔前端和后端分别设置有两组第三盛放槽，所述第三连接孔前端和后端分别设置有两组第四盛放槽，所述多组上滚珠分别位于两组第一盛放槽和两组第三盛放槽内，所述多组下滚珠分别位于两组第二盛放槽和两组第四盛放槽内。

本实用新型的一种用于晶圆生产刻蚀的均匀性的控制装置，还包括两组防护盖，所述两组防护盖分别安装在第一滚珠轴承和第二滚珠轴承处。

本实用新型的一种用于晶圆生产刻蚀的均匀性的控制装置，还包括前防脱板和后防脱板，所述前固定杆和后固定杆顶端分别与前防脱板和后防脱板底侧壁中央区域连接。

与现有技术相比本实用新型的有益效果为：第一支撑杆与工作台连接，第二支撑杆与第一支撑杆连接，第二支撑杆上设置有前滚珠轴承和后滚珠轴承，前固定杆底端穿过前不完整齿轮然后插入前滚珠轴承内部，并且前固定杆与前不完整齿轮固定连接，后固定杆底端穿过后不完整齿轮然后插入后滚珠轴承内部，并且后固定杆与后不完整齿轮固定连接，前连接杆将前不完整齿轮和前夹持机构连接起来，后连接杆将后不完整齿轮和后夹持机构连接起来，从而前不完整齿轮、前连接杆和前夹持机构可以以前固定杆为中心轴转动，后不完整齿轮、后连接杆和后夹持机构可以以后固定杆为中心轴转动，前限位板、后限位板、右挡板均与第二支撑杆固定连接，推动杆穿过左挡板、弹簧和右挡板，弹簧左端和右端分别与左挡板和右挡板连接，推动杆与左挡板固定连接，推动杆右端与齿条连接，齿条与前不完整齿轮和后不完整齿轮咬合，使用者向右移动推动杆，弹簧被挤压，左挡板和右挡板之间的距离减小，齿条向右移动，从而带动前不完整齿轮和后不完整齿轮转动，进而前夹持机构和后夹持机构打开，使用者将胶头滴管中央区域放置于前夹持机构和后夹持机构之间，然后慢慢松手使推动杆向右移动，在弹簧弹力作用下，推动杆向左移动，齿条向左移动，从而带动前不完整齿轮和后不完整齿轮转动，进而前夹持机构和后夹持机构将胶头滴管夹紧，方便夹紧，提高使用便捷性；上齿轮外径小于下齿轮外径，第一支撑杆上分别设置有第一滚珠轴承和第二滚珠轴承，第三支撑杆和第四支撑杆分别插入第一滚珠轴承和第二滚珠轴承并且分别与第一滚珠轴承和第二滚珠轴承键连接，从而第三支撑杆和第四支撑杆可以分别以自身中心线为轴转动，第三支撑杆和第四支撑杆分别穿过上齿轮和下齿轮并且分别与上齿轮和下齿轮固定连接，第一转动杆将第二转动杆和第三支撑杆连接起来，第一连接杆将第三连接杆和第四连接杆连接起来，第三支撑杆穿过套环，第二连接杆将套环和第一连接杆连接起来，右夹板将第三连接杆和第四连接杆连接起来，第四支撑杆左端与第一螺纹杆连接，第三连接杆和第四连接杆均穿过左夹板，并且第一螺纹杆螺装穿过左夹板，使用者旋转第二转动杆使上齿轮转动，上齿轮转动带动下齿轮转动，下齿轮转动带动第四支撑杆转动，第四支撑杆转动带动第一螺纹杆转动，由于第三连接杆和第四连接杆均穿过左夹板，第一连接杆与第三连接杆和第四连接杆连接，第二连接杆与第一连接杆和套环连接，使第三连接杆和第四连接杆不会发生转动，从而第一螺纹杆转动带动左夹板左右移动，左夹板左侧壁和右夹板右侧壁分别与胶头滴管顶端接触时，继续旋转第二转动杆，由于上齿轮外径小于下齿轮外径，上齿轮转动较多的圈数才能使下齿轮转动一圈，使左夹板可以进行细微的移动，左夹板和右夹板的距离变化小，从而挤压胶头滴管的力度得到控制，进而控制溶液的速度和量，提高使用可靠性。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是前限位板、左挡板、右挡板、齿条、前不完整齿轮、弹簧、前连接杆、前固定杆、前螺纹杆、前夹持块、前插入杆、前把手、第三滚珠轴承、U形杆和前防脱板的连接示意俯视图；

图3是第四支撑杆、第一螺纹杆、下齿轮、第一连接杆、第二连接杆、第三连接杆、第四连接杆、、左夹板、第一过渡杆、第二过渡杆和第五滚珠轴承的连接示意俯视图；

图4是图1中A部的局部放大图；

图5是图1中B部的局部放大图；

图6是图1中C部的局部放大图；

图7是图1中D部的局部放大图；

图8是第三连接杆、左夹板和第三连接杆的连接示意俯视图；

附图中标记：1、工作台；2、胶头滴管；3、第一支撑杆；4、第二支撑杆；5、前限位板；6、左挡板；7、右挡板；8、推动杆；9、齿条；10、前不完整齿轮；11、弹簧；12、前连接杆；13、前固定杆；15、前滚珠轴承；16、第三支撑杆；17、第四支撑杆；18、第一转动杆；19、第二转动杆；20、第一螺纹杆；21、上齿轮；22、下齿轮；23、第一连接杆；34、第二连接杆；25、第三连接杆；26、第四连接杆；27、套环；28、左夹板；29、右夹板；30、第一滚珠轴承；31、前螺纹杆；32、前夹持块；33、前插入杆；34、前锁紧螺母；35、前把手；36、第三滚珠轴承；37、第一过渡杆；38、第二过渡杆；39、第五滚珠轴承；40、U形杆；41、第五支撑杆；42、左卡环；43、旋转环；44、上滚珠；45、防护盖；46、前防脱板。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。

如图1至图8所示，本实用新型的一种用于晶圆生产刻蚀的均匀性的控制装置，包括工作台1和胶头滴管2，胶头滴管2位于工作台1上方；还包括第一支撑杆3、第二支撑杆4、前限位板5、后限位板、左挡板6、右挡板7、推动杆8、齿条9、后不完整齿轮、前不完整齿轮10、后连接杆、弹簧11、前连接杆12、前固定杆13和后固定杆，第一支撑杆3顶端与工作台1顶端连接，第二支撑杆4左端与第一支撑杆3右侧壁中央区域连接，前限位板5和后限位板底侧壁分别与第二支撑杆4顶侧壁前半区域和后半区域连接，右挡板7底侧壁与第二支撑杆4顶侧壁连接，左挡板6底侧壁与第二支撑杆4顶侧壁接触，左挡板6和右挡板7中央区域分别横向设置有第一固定孔和第二固定孔，弹簧11左端和右端分别与左挡板6右侧壁和右挡板7左侧壁连接，推动杆8右端穿过第一固定孔、第二固定孔和弹簧11与齿条9左端连接，并且推动杆8与左挡板6固定连接，齿条9前侧壁和后侧壁分别设置有上齿状结构和下齿状结构，前不完整齿轮10圆周外侧壁后半区域和后不完整齿轮圆周外侧壁前半区域分别设置有与上齿状结构和下齿状结构相对应的前齿状结构和后齿状结构，前不完整齿轮10和后不完整齿轮分别与齿条9前侧壁和后侧壁咬合，前不完整齿轮10和后不完整齿轮中央区域分别纵向设置有第三固定孔和第四固定孔，第二支撑杆4顶侧壁右半区域的前半区域和后半区域分别设置有前放置槽和后放置槽，前放置槽处和后放置槽处分别设置有前滚珠轴承15和后滚珠轴承，前固定杆13和后固定杆分别穿过第三固定孔和第四固定孔并且与前不完整齿轮10和后不完整齿轮固定连接，前固定杆13和后固定杆底端分别插入前滚珠轴承15和后滚珠轴承内部并且分别与前滚珠轴承15和后滚珠轴承键连接，前连接杆12和后连接杆左端分别与前不完整齿轮10前端和后不完整齿轮后端连接，前连接杆12和后连接杆上分别设置有前夹持机构和后夹持机构；还包括第三支撑杆16、第四支撑杆17、第一转动杆18、第二转动杆19、第一螺纹杆20、上齿轮21、下齿轮22、第一连接杆23、第二连接杆24、第三连接杆25、第四连接杆26、套环27、左夹板28和右夹板29，第一支撑杆3右侧壁分别设置有第一放置槽和第二放置槽，第一放置槽和第二放置槽处分别设置有第一滚珠轴承30和第二滚珠轴承，第三支撑杆16和第四支撑杆17左端分别插入第一滚珠轴承30和第二滚珠轴承内并且与第一滚珠轴承30和第二滚珠轴承键连接，上齿轮21圆周外壁设置有第一齿状结构，下齿轮22圆周外壁设置有与第一齿状结构相对应的第二齿状结构，上齿轮21和下齿轮22中央区域分别横向设置有第一连接孔和第二连接孔，第三支撑杆16和第四支撑杆17右端分别穿过上齿轮21和下齿轮22并且分别与上齿轮21和下齿轮22固定连接，上齿轮21和下齿轮22咬合，第一连接杆23前端和后端分别与第三连接杆25前侧壁左端和第四连接杆26后侧壁左端连接，第一连接杆23中央区域设置有贯穿孔，第四支撑杆17右端穿过贯穿孔与第一螺纹杆20左端连接，第三支撑杆16穿过套环27，第二连接杆24底端和顶端分别第一连接杆23顶侧壁中央区域和套环27底端连接，右夹板29顶侧壁前端和后端分别与第四连接杆26顶侧壁右端和第三连接杆25顶侧壁右端连接，左夹板28前半区域、中央区域和后半区域分别横向设置有第三连接孔、第四连接孔和第五连接孔，第三连接杆25和第四连接杆26分别穿过第五连接孔和第三连接孔，第四连接孔内侧壁上设置有与第一螺纹杆20外螺纹相对应的内螺纹，第一螺纹杆20左端螺装穿过第四连接孔，右夹板29左侧壁底端与胶头滴管2右侧壁顶端接触，第一转动杆18底端与第三支撑杆16顶端连接，第二转动杆19左端与第一转动杆18右侧壁顶端连接；第一支撑杆与工作台连接，第二支撑杆与第一支撑杆连接，第二支撑杆上设置有前滚珠轴承和后滚珠轴承，前固定杆底端穿过前不完整齿轮然后插入前滚珠轴承内部，并且前固定杆与前不完整齿轮固定连接，后固定杆底端穿过后不完整齿轮然后插入后滚珠轴承内部，并且后固定杆与后不完整齿轮固定连接，前连接杆将前不完整齿轮和前夹持机构连接起来，后连接杆将后不完整齿轮和后夹持机构连接起来，从而前不完整齿轮、前连接杆和前夹持机构可以以前固定杆为中心轴转动，后不完整齿轮、后连接杆和后夹持机构可以以后固定杆为中心轴转动，前限位板、后限位板、右挡板均与第二支撑杆固定连接，推动杆穿过左挡板、弹簧和右挡板，弹簧左端和右端分别与左挡板和右挡板连接，推动杆与左挡板固定连接，推动杆右端与齿条连接，齿条与前不完整齿轮和后不完整齿轮咬合，使用者向右移动推动杆，弹簧被挤压，左挡板和右挡板之间的距离减小，齿条向右移动，从而带动前不完整齿轮和后不完整齿轮转动，进而前夹持机构和后夹持机构打开，使用者将胶头滴管中央区域放置于前夹持机构和后夹持机构之间，然后慢慢松手使推动杆向右移动，在弹簧弹力作用下，推动杆向左移动，齿条向左移动，从而带动前不完整齿轮和后不完整齿轮转动，进而前夹持机构和后夹持机构将胶头滴管夹紧，方便夹紧，提高使用便捷性；上齿轮外径小于下齿轮外径，第一支撑杆上分别设置有第一滚珠轴承和第二滚珠轴承，第三支撑杆和第四支撑杆分别插入第一滚珠轴承和第二滚珠轴承并且分别与第一滚珠轴承和第二滚珠轴承键连接，从而第三支撑杆和第四支撑杆可以分别以自身中心线为轴转动，第三支撑杆和第四支撑杆分别穿过上齿轮和下齿轮并且分别与上齿轮和下齿轮固定连接，第一转动杆将第二转动杆和第三支撑杆连接起来，第一连接杆将第三连接杆和第四连接杆连接起来，第三支撑杆穿过套环，第二连接杆将套环和第一连接杆连接起来，右夹板将第三连接杆和第四连接杆连接起来，第四支撑杆左端与第一螺纹杆连接，第三连接杆和第四连接杆均穿过左夹板，并且第一螺纹杆螺装穿过左夹板，使用者旋转第二转动杆使上齿轮转动，上齿轮转动带动下齿轮转动，下齿轮转动带动第四支撑杆转动，第四支撑杆转动带动第一螺纹杆转动，由于第三连接杆和第四连接杆均穿过左夹板，第一连接杆与第三连接杆和第四连接杆连接，第二连接杆与第一连接杆和套环连接，使第三连接杆和第四连接杆不会发生转动，从而第一螺纹杆转动带动左夹板左右移动，左夹板左侧壁和右夹板右侧壁分别与胶头滴管顶端接触时，继续旋转第二转动杆，由于上齿轮外径小于下齿轮外径，上齿轮转动较多的圈数才能使下齿轮转动一圈，使左夹板可以进行细微的移动，左夹板和右夹板的距离变化小，从而挤压胶头滴管的力度得到控制，进而控制溶液的速度和量，提高使用可靠性。

本实用新型的一种用于晶圆生产刻蚀的均匀性的控制装置，前夹持机构包括前螺纹杆31、前夹持块32、前插入杆33、前锁紧螺母34和前把手35，前连接杆12右半区域设置有前螺纹孔，前螺纹孔内侧壁上设置有与前螺纹杆31外螺纹相对应的内螺纹，前螺纹杆31后端螺装穿过前连接杆12，前螺纹杆31前端和后端分别与前把手35后侧壁左端和前插入杆33前端连接，前夹持块32前侧壁设置有前卡装槽，前卡装槽处设置有第三滚珠轴承36，前插入杆33后端插入第三滚珠轴承36内并且与第三滚珠轴承36键连接，前夹持块32后侧壁设置有前夹持槽，前夹持槽与前夹持块32顶侧壁和底侧壁连通，前锁紧螺母34螺装至前螺纹杆31上，后夹持机构包括后螺纹杆、后夹持块、后插入杆、后锁紧螺母和后把手，后连接杆右半区域设置有后螺纹孔，后螺纹孔内侧壁上设置有与后螺纹杆外螺纹相对应的内螺纹，后螺纹杆前端螺装穿过后连接杆，后螺纹杆后端和前端分别与后把手前侧壁左端和后插入杆前端连接，后夹持块后侧壁设置有后卡装槽，后卡装槽处设置有第四滚珠轴承，后插入杆前端插入第四滚珠轴承内并且与第四滚珠轴承键连接，后夹持块前侧壁设置有后夹持槽，后夹持槽与后夹持块顶侧壁和底侧壁连通，后锁紧螺母螺装至后螺纹杆上；前夹持机构和后夹持机构对称，前螺纹杆和后螺纹杆分别穿过前连接杆和后连接杆，前夹持块和后夹持块分别设置有第三滚珠轴承和第四滚珠轴承，前插入杆和后插入杆分别插入第三滚珠轴承和第四滚珠轴承内并且与第三滚珠轴承和第四滚珠轴承键连接，前插入杆和后插入杆分别与前螺纹杆和后螺纹杆连接，前把手和后把手分别与前螺纹杆和右螺纹杆连接，转动前把手和后把手使前螺纹杆和后螺纹杆转动，前连接杆和后连接杆不转动，从而前夹持块与前连接杆之间的距离和后夹持块与后连接杆之间的距离发生改变，可适应较多直径的胶头滴管，距离调整完毕后，将前锁紧螺母和后锁紧螺母旋紧，降低使用局限性。

本实用新型的一种用于晶圆生产刻蚀的均匀性的控制装置，还包括第一过渡杆37和第二过渡杆38，第二过渡杆38前端和后端分别与第四连接杆26后侧壁右端和第三连接杆25前侧壁右端连接，第二过渡杆38左侧壁中央区域设置有第三放置槽，第三放置槽处设置有第五滚珠轴承39，第一过渡杆37左端第一螺纹杆20右端连接，第一过渡杆37右端插入第五滚珠轴承39内部并且与第五滚珠轴承39键连接；第二过渡杆将第三连接杆和第四连接杆连接起来，第二过渡杆上设置有第五滚珠轴承，第一过渡杆与第一螺纹杆连接，第一过渡杆插入第五滚珠轴承内部并且与第五滚珠轴承键连接，提高第一螺纹杆转动时的稳定性。

本实用新型的一种用于晶圆生产刻蚀的均匀性的控制装置，还包括U形杆40，U形杆40底侧壁左端和右端均与推动杆8顶侧壁连接；移动推动杆时，使用者抓住U形杆来操作，方便使用者进行用力。

本实用新型的一种用于晶圆生产刻蚀的均匀性的控制装置，还包括第五支撑杆41，第五支撑杆41底端与工作台1顶侧壁连接，第五支撑杆41横向设置有第一平衡孔、第二平衡孔和第三平衡孔，第三支撑杆16、第四支撑杆17和第二支撑杆4左端分别穿过第一平衡孔、第二平衡孔和第三平衡孔；第五支撑杆与工作台连接，第三支撑杆、第四支撑杆和第二支撑杆均穿过第五支撑杆，增强稳定性。

本实用新型的一种用于晶圆生产刻蚀的均匀性的控制装置，还包括左卡环42、右卡环和旋转环43，第二转动杆19穿过左卡环42、旋转环43和右卡环并且与左卡环42和右卡环固定连接；第二转动杆穿过左卡环、右卡环和旋转环并且与左卡环和右卡环固定连接，抓住旋转环来转动第二转动杆，使用者手相对于第二转动杆不必发生角度变化，方便使用者操作。

本实用新型的一种用于晶圆生产刻蚀的均匀性的控制装置，还包括多组上滚珠44和多组下滚珠，第三连接杆25前端和后端分别设置有两组第一盛放槽，第四连接杆26前端和后端分别设置有两组第二盛放槽，第五连接孔前端和后端分别设置有两组第三盛放槽，第三连接孔前端和后端分别设置有两组第四盛放槽，多组上滚珠44分别位于两组第一盛放槽和两组第三盛放槽内，多组下滚珠分别位于两组第二盛放槽和两组第四盛放槽内；多组上滚珠和多组下滚珠减小左夹板沿第三连接杆和第四连接杆左右移动时的摩擦力。

本实用新型的一种用于晶圆生产刻蚀的均匀性的控制装置，还包括两组防护盖45，两组防护盖45分别安装在第一滚珠轴承30和第二滚珠轴承处；两组防护盖阻碍外界杂质进入第一滚珠轴承和第二滚珠轴承，提高使用可靠性。

本实用新型的一种用于晶圆生产刻蚀的均匀性的控制装置，还包括前防脱板46和后防脱板，前固定杆13和后固定杆顶端分别与前防脱板46和后防脱板底侧壁中央区域连接；前防脱板和后防脱板阻碍前不完整齿轮和后不完整齿轮分别脱离前固定杆和后固定杆。

本实用新型的一种用于晶圆生产刻蚀的均匀性的控制装置，第一支撑杆与工作台连接，第二支撑杆与第一支撑杆连接，第二支撑杆上设置有前滚珠轴承和后滚珠轴承，前固定杆底端穿过前不完整齿轮然后插入前滚珠轴承内部，并且前固定杆与前不完整齿轮固定连接，后固定杆底端穿过后不完整齿轮然后插入后滚珠轴承内部，并且后固定杆与后不完整齿轮固定连接，前连接杆将前不完整齿轮和前夹持机构连接起来，后连接杆将后不完整齿轮和后夹持机构连接起来，从而前不完整齿轮、前连接杆和前夹持机构可以以前固定杆为中心轴转动，后不完整齿轮、后连接杆和后夹持机构可以以后固定杆为中心轴转动，前防脱板和后防脱板阻碍前不完整齿轮和后不完整齿轮分别脱离前固定杆和后固定杆，前限位板、后限位板、右挡板均与第二支撑杆固定连接，推动杆穿过左挡板、弹簧和右挡板，弹簧左端和右端分别与左挡板和右挡板连接，推动杆与左挡板固定连接，推动杆右端与齿条连接，齿条与前不完整齿轮和后不完整齿轮咬合，使用者抓住U形杆向右移动推动杆，弹簧被挤压，左挡板和右挡板之间的距离减小，齿条向右移动，从而带动前不完整齿轮和后不完整齿轮转动，进而前夹持机构和后夹持机构打开，使用者将胶头滴管中央区域放置于前夹持机构和后夹持机构之间，然后慢慢松手使推动杆向右移动，在弹簧弹力作用下，推动杆向左移动，齿条向左移动，从而带动前不完整齿轮和后不完整齿轮转动，进而前夹持机构和后夹持机构将胶头滴管夹紧，前夹持机构和后夹持机构对称，前螺纹杆和后螺纹杆分别穿过前连接杆和后连接杆，前夹持块和后夹持块分别设置有第三滚珠轴承和第四滚珠轴承，前插入杆和后插入杆分别插入第三滚珠轴承和第四滚珠轴承内并且与第三滚珠轴承和第四滚珠轴承键连接，前插入杆和后插入杆分别与前螺纹杆和后螺纹杆连接，前把手和后把手分别与前螺纹杆和右螺纹杆连接，转动前把手和后把手使前螺纹杆和后螺纹杆转动，前连接杆和后连接杆不转动，从而前夹持块与前连接杆之间的距离和后夹持块与后连接杆之间的距离发生改变，可适应较多直径的胶头滴管，距离调整完毕后，将前锁紧螺母和后锁紧螺母旋紧，上齿轮外径小于下齿轮外径，第一支撑杆上分别设置有第一滚珠轴承和第二滚珠轴承，两组防护盖阻碍外界杂质进入第一滚珠轴承和第二滚珠轴承，第三支撑杆和第四支撑杆分别插入第一滚珠轴承和第二滚珠轴承并且分别与第一滚珠轴承和第二滚珠轴承键连接，从而第三支撑杆和第四支撑杆可以分别以自身中心线为轴转动，第三支撑杆和第四支撑杆分别穿过上齿轮和下齿轮并且分别与上齿轮和下齿轮固定连接，第一转动杆将第二转动杆和第三支撑杆连接起来，第一连接杆将第三连接杆和第四连接杆连接起来，第三支撑杆穿过套环，第二连接杆将套环和第一连接杆连接起来，右夹板将第三连接杆和第四连接杆连接起来，第四支撑杆左端与第一螺纹杆连接，第三连接杆和第四连接杆均穿过左夹板，并且第一螺纹杆螺装穿过左夹板，使用者旋转第二转动杆使上齿轮转动，上齿轮转动带动下齿轮转动，下齿轮转动带动第四支撑杆转动，第四支撑杆转动带动第一螺纹杆转动，由于第三连接杆和第四连接杆均穿过左夹板，第一连接杆与第三连接杆和第四连接杆连接，第二连接杆与第一连接杆和套环连接，使第三连接杆和第四连接杆不会发生转动，从而第一螺纹杆转动带动左夹板左右移动，左夹板左侧壁和右夹板右侧壁分别与胶头滴管顶端接触时，继续旋转第二转动杆，第二转动杆穿过左卡环、右卡环和旋转环并且与左卡环和右卡环固定连接，抓住旋转环来转动第二转动杆，使用者手相对于第二转动杆不必发生角度变化，由于上齿轮外径小于下齿轮外径，上齿轮转动较多的圈数才能使下齿轮转动一圈，使左夹板可以进行细微的移动，左夹板和右夹板的距离变化小，从而挤压胶头滴管的力度得到控制，第二过渡杆将第三连接杆和第四连接杆连接起来，第二过渡杆上设置有第五滚珠轴承，第一过渡杆与第一螺纹杆连接，第一过渡杆插入第五滚珠轴承内部并且与第五滚珠轴承键连接，提高第一螺纹杆转动时的稳定性，第五支撑杆与工作台连接，第三支撑杆、第四支撑杆和第二支撑杆均穿过第五支撑杆，多组上滚珠和多组下滚珠减小左夹板沿第三连接杆和第四连接杆左右移动时的摩擦力。

本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。本实用新型中所述“第一”、“第二”、“第三”以及类似的表述不代表具体的数量及顺序，仅仅是用于名称的区分。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。