1.一种离子束筛选器，其特征在于，包括：具有第一孔的底板、具有第二孔的遮挡板，所述第一孔的孔径大于所述第二孔的孔径，所述遮挡板能够相对于底板移动，所述遮挡板覆盖所述底板的第一孔时，切换第二孔工作；所述遮挡板未覆盖所述底板的第一孔时，切换第一孔工作。
2.如权利要求1所述的离子束筛选器，其特征在于，所述离子束筛选器还包括用于使与遮挡板能够相对于底板移动的移动装置。
3.如权利要求2所述的离子束筛选器，其特征在于，所述移动装置包括与遮挡板连接的气缸以及与所述气缸连接的控制器。
4.如权利要求1所述的离子束筛选器，其特征在于，所述离子束筛选器还包括碳棒，所述遮挡板固定在碳棒上。
5.如权利要求1所述的离子束筛选器，其特征在于，所述第一孔的孔径为36mm-40mm；所述第二孔的孔径为7mm-9mm。
6.如权利要求1所述的离子束筛选器，其特征在于，所述底板和所述遮挡板平行设置。
7.如权利要求1所述的离子束筛选器，其特征在于，所述离子束的中心线垂直于所述第一孔或所述第二孔入射。
8.一种离子植入机，其特征在于，包括：离子源、离子束分离器以及如权利要求1-7任一项所述的离子束筛选器。
9.如权利要求8所述的离子植入机，其特征在于，所述离子束分离器为两个石墨板，两个石墨板在同一平面并且两个石墨板之间具有一定间隙。
10.如权利要求8所述的离子植入机，其特征在于，所述离子源发射的离子束的密度从中间到边缘部分逐渐减小。