1.一种避免硅片背面产生腐蚀斑的夹具，其特征在于，包括夹具圆盘，所述夹具圆盘上方设置有多个同心圆环，下方开设有安装孔；所述夹具圆盘中部开设进水孔，每个所述同心圆环沿其径向开设有多个出水通道。
2.根据权利要求1所述的一种避免硅片背面产生腐蚀斑的夹具，其特征在于，所述同心圆环至少为四个。
3.根据权利要求2所述的一种避免硅片背面产生腐蚀斑的夹具，其特征在于，所述出水通道至少为三个，相邻的所述出水通道的中心线之间的夹角为120度。
4.根据权利要求3所述的一种避免硅片背面产生腐蚀斑的夹具，其特征在于，所述同心圆环的高度自内向外逐渐变高。
5.根据权利要求1-4任一所述的一种避免硅片背面产生腐蚀斑的夹具，其特征在于，所述夹具圆盘为PVC圆盘。