一种避免硅片背面产生腐蚀斑的夹具的制作方法

本实用新型涉及硅片腐蚀夹具技术领域，尤其涉及一种避免硅片背面产生腐蚀斑的夹具。

背景技术：

现有的腐蚀夹具通常是三点固定，而且是通过夹爪固定，这样很容易在夹爪处形成腐蚀斑，影响硅片表面的外观属性，夹爪固定后，取硅片容易破坏夹爪，影响夹具的使用寿命；现有的腐蚀夹具通常都是只能实现单个尺寸硅片的腐蚀，这样夹具在实际操作时，需要经常更换，容易造成夹具的损坏，且容易影响加工效率。

授权公告号为：CN 202434491 U的实用新型公开了一种带凸点圆片键合的夹具，夹具圆片上带有可容纳键合圆片凸点的沟槽，夹具圆片的材料为硅片或者金属圆片，通过刻蚀、腐蚀或者机械加工的方法制作夹具圆片上的沟槽，夹具圆片上制作有对准用的标记。键合圆片上的凸点嵌入夹具圆片的沟槽中，并将键合圆片固定在键合夹具上经热压键合或阳极键合；该专利是通过带凸点的圆片键合的夹具进行硅片夹紧，但是该专利并没有解决现有的技术问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的是提供一种避免硅片背面产生腐蚀斑的夹具，解决了现有技术中的腐蚀夹具容易造成硅片产生腐蚀斑、夹具使用寿命短且影响加工效率的技术问题。

一种避免硅片背面产生腐蚀斑的夹具，包括夹具圆盘，所述夹具圆盘上方设置有多个同心圆环，下方开设有安装孔；所述夹具圆盘中部开设进水孔，每个所述同心圆环沿其径向开设有多个出水通道。

在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以做如下改进：

进一步地，所述同心圆环至少为四个，采用本步的有益效果是通过多个同心圆环可以形成多个支撑部，这样可以完成不同尺寸硅片的支撑，以此提高工作效率。

进一步地，所述出水通道至少为三个，相邻的所述出水通道的中心线之间的夹角为120度，采用本步的有益效果是通过出水通道和进水孔相互配合，这样能够形成流水通道，对硅片进行冲刷，在硅片进行钝化处理的过程中有效避免腐蚀斑的产生。

进一步地，所述同心圆环的高度自内向外逐渐变高，采用本步的有益效果是通过不同高度的同心圆环可以放置不同尺寸的硅片，同时同心圆环的高度依次变高，这样可以保证流水通道的顺畅，从而完成钝化过程中的冲洗过程。

进一步地，所述夹具圆盘为PVC圆盘，采用本步的有益效果是通过PVC圆盘可以保证夹具的使用寿命。

本实用新型的有益效果：

1.本实用新型提供一种腐蚀夹具，通过在夹具圆盘上设置有多个同心圆环，用于支撑不同尺寸的硅片，这样可以扩大应用范围。

2.本实用新型提供一种腐蚀夹具，不同的同心圆环之间的间隙和出水通道相互配合，可以形成流水通道，这样能够有利于流水冲洗，完成加工。

3.本实用新型提供一种腐蚀夹具，对同心圆环的高度进行设计，这样能够保证流水通道顺畅。

4.本实用新型中的进水孔是位于夹具圆盘中部，通过水流漫过的方式进行硅片冲洗，这样能够最大化的冲洗硅片面，提高硅片的质量。

5.本实用新型结构简单，便于安装和更换。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型具体实施例所述的一种避免硅片背面产生腐蚀斑的夹具的示意图；

图2为本实用新型具体实施例所述的一种避免硅片背面产生腐蚀斑的夹具的俯视图；

附图标记：

1-夹具圆盘；2-同心圆环；3-安装孔；4-进水孔；5-出水通道。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型技术方案的实施例进行详细的描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，因此只作为示例，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。

需要注意的是，除非另有说明，本申请使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域技术人员所理解的通常意义。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

实施例：

如图1-2所示，本实用新型所提供的一种避免硅片背面产生腐蚀斑的夹具，包括夹具圆盘1，所述夹具圆盘1上方设置有多个同心圆环2，下方开设有安装孔3；所述夹具圆盘1中部开设进水孔4，每个所述同心圆环2沿其径向开设有多个出水通道5；本实用新型是针对于现有的腐蚀夹具的改进，取消了现有夹具的夹爪，通过同心圆环2完成硅片的限位，同时由于水流从进水孔4进入，这样造成硅片的悬浮，能够保证水流的充分冲洗，提高硅片的质量；本实用新型的安装孔3为阶梯型，这样便于夹具圆盘的安装。

其中，所述同心圆环2至少为四个，通过多个同心圆环2可以形成多个支撑部，这样可以完成不同尺寸硅片的支撑，以此提高工作效率。

其中，所述出水通道5至少为三个，相邻的所述出水通道5的中心线之间的夹角为120度，出水通道5均分同心圆环2，这样水流形成的流速能够恒定；本实用新型的同心圆环2至少有四个，相邻的同心圆环2之间的间隙形成流水通道；本实用新型通过出水通道5和进水孔4相互配合，这样能够形成流水通道，对硅片进行冲刷，在硅片进行钝化处理的过程中有效避免腐蚀斑的产生。

其中，所述同心圆环2的高度自内向外逐渐变高，通过不同高度的同心圆环可以放置不同尺寸的硅片，同时同心圆环的高度依次变高，这样可以保证流水通道的顺畅，从而完成钝化过程中的冲洗过程。

其中，所述夹具圆盘1为PVC圆盘，通过PVC圆盘可以保证夹具的使用寿命。

本实用新型的说明书中，说明了大量具体细节。然而，能够理解，本实用新型的实施例可以在没有这些具体细节的情况下实践。在一些实例中，并未详细示出公知的方法、结构和技术，以便不模糊对本说明书的理解。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求和说明书的范围当中。