一种避免硅片背面产生腐蚀斑的夹具的制作方法

技术总结
本实用新型公开一种避免硅片背面产生腐蚀斑的夹具，包括夹具圆盘，夹具圆盘上方设置有多个同心圆环，下方开设有安装孔；夹具圆盘中部开设进水孔，每个同心圆环沿其径向开设有多个出水通道，本实用新型解决了现有技术中腐蚀夹具容易造成硅片产生腐蚀斑、夹具使用寿命短且影响加工效率的技术问题。

技术研发人员：顾标琴;高占成;徐爱民
受保护的技术使用者：江苏润奥电子制造股份有限公司
技术研发日：2018.11.21
技术公布日：2019.07.09