金属氧化物阵列基板及显示面板的制作方法

文档序号:23749851发布日期:2021-01-26 20:08阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种金属氧化物阵列基板,其特征在于,包括衬底基板、栅极、缓冲层、半导体图形、源极、漏极、氧化铝层和保护层;所述栅极、所述缓冲层、所述半导体图形依次层叠设置在所述衬底基板上,所述源极和所述漏极连接于所述半导体图形的两侧,所述氧化铝层覆盖所述半导体图形,所述保护层层叠设置在所述源极、所述漏极和所述氧化铝层上。2.根据权利要求1所述的金属氧化物阵列基板,其特征在于,所述氧化铝层覆盖所述半导体图形、所述源极和所述漏极。3.根据权利要求1所述的金属氧化物阵列基板,其特征在于,所述氧化铝层为通过原子沉积方式形成的膜状结构。4.根据权利要求3所述的金属氧化物阵列基板,其特征在于,所述氧化铝层的厚度为5.根据权利要求4所述的金属氧化物阵列基板,其特征在于,所述氧化铝层的厚度为6.根据权利要求1-5任一项所述的金属氧化物阵列基板,其特征在于,所述缓冲层包括依次设置的第一缓冲层和第二缓冲层,所述第一缓冲层为氮化硅层,所述第二缓冲层为氧化硅层;所述半导体图形设置在所述第二缓冲层上。7.根据权利要求1-5任一项所述的金属氧化物阵列基板,其特征在于,所述保护层包括层叠设置的有机绝缘层和无机绝缘层,所述无机绝缘层位于所述有机绝缘层的背离所述氧化铝层的一侧。8.根据权利要求7所述的金属氧化物阵列基板,其特征在于,所述有机绝缘层为有机感光树脂层,所述无机绝缘层为氮化硅层。9.根据权利要求1-5任一项所述的金属氧化物阵列基板,其特征在于,还包括透明导电层,所述保护层上设置有接触过孔,所述透明导电层通过所述接触过孔与所述漏极电连接。10.一种显示面板,其特征在于,包括权利要求1-9任一项所述的金属氧化物阵列基板。
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