基板处理装置、基板处理方法、编辑装置以及编辑方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及如下工序的自动化技术，S卩:在对半导体晶圆等基板进行处理的基板处理装置中进行人工维护时在进行该维护之前的装置的停止以及在进行维护之后的装置的启动所需的工序。
【背景技术】
[0002]在对半导体晶圆等基板进行处理的基板处理装置中，为了维持稳定的处理性能而定期地进行人工维护、例如腔室清洁、消耗部件的更换等。在进行该人工维护之前，使基板处理装置的整体或者一部分成为适于人工维护的状态(基板处理装置的停止)。具体地说，例如使进行高温处理的处理模块(mod ule)内的温度下降至不会妨碍人工维护的温度，或者事先使基板处理装置自动地进行多个维护工序中的只能通过人工进行的工序以外的工序(例如处理液供给系统的清洗)。
[0003]在专利文献I中记载了以下点:将用于进行使基板处理装置成为适于人工维护的状态所需的一系列工序的一组动作命令做成宏来准备，作业人员仅通过从基板处理装置的控制计算机的键盘输入该宏的执行命令就能够自动地进行上述一系列工序。
[0004]在人工维护结束之后，为了使基板处理装置转变为通常运转状态，需要使基板处理装置成为适于执行通常的处理制程的状态。例如，在更换了部件的处理液管线中，需要进行该处理液管线的清洗。这样的用于使基板处理装置启动的工序没有包含在为产品基板准备的通常的处理制程中。引用文献I中没有记载使基板处理装置自动地进行这样的用于启动的过程。因而，在引用文献I的技术中，人工维护前后的过程的自动化存在进一步改进的余地。
[0005]另外，在引用文献I中，使用预先准备的宏，并未记载由用户编辑宏。另外，即使假设用户能够编辑宏，关于用于进行编辑的用户接口也没有任何记载。因而，在引用文献I的技术中，难以灵活地应对多种多样的维护方式。
[0006]在专利文献2中记载了在进行维护之后且在通常运转之前自动地实施预先设定的检查。但是，在专利文献2中没有记载维护之前的停止的过程，人工维护前后的过程的自动化仍然存在进一步改进的余地。
[0007]专利文献1:日本专利第3116658号公报
[0008]专利文献2:日本专利第4781505号公报
【发明内容】
[0009]发明要解决的问题
[0010]本发明提供一种能够由用户容易且可靠地设定要在人工维护的前后进行的基板处理装置的停止和启动所需的过程的技术。
[0011]用于解决问题的方案
[0012]本发明提供一种基板处理装置，该基板处理装置具备控制装置，该控制装置具有将用于使基板处理装置从通常运转状态自动地转变为适于人工维护的状态的停止(日语:立与下#)动作命令以及用于在人工维护结束之后使该基板处理装置自动地转变为适于通常运转的状态的启动(日语:立右上(f)动作命令作为一个宏来保存的功能，并根据上述宏来控制该基板处理装置的动作，该基板处理装置还具备:输入装置，其用于向上述控制装置输入动作命令；以及显示装置，其显示与输入到上述控制装置的动作命令相关联的信息，其中，上述控制装置使上述停止动作命令和上述启动动作命令这双方显示在上述显示装置的一个编辑画面上，并且使得能够通过上述输入装置在该一个编辑画面上编辑上述宏。
[0013]另外，本发明提供一种存储介质，该存储介质的特征在于，存储有程序，通过由上述计算机执行该程序来在基板处理装置中实现维护制程的编辑和显示的功能，该基板处理装置具备:由上述计算机构成的控制装置，其具有将用于使基板处理装置从通常运转状态自动地转变为适于人工维护的状态的停止动作命令以及用于在人工维护结束之后使该基板处理装置自动地转变为适于通常运转的状态的启动动作命令作为一个宏来保存的功能，并根据上述宏来控制基板处理装置的动作；输入装置，其用于向上述控制装置输入动作命令；以及显示装置，其显示与输入到上述控制装置的动作命令相关联的信息，其中，上述功能包括以下功能:使上述停止动作命令和上述启动动作命令这两者显示在上述显示装置的一个编辑画面上并且能够通过上述输入装置在该一个编辑画面上编辑上述宏。
[0014]并且，本发明提供一种编辑装置，该编辑装置编辑在基板处理装置中使用的动作命令，该基板处理装置具有将用于使基板处理装置从通常运转状态自动地转变为适于人工维护的状态的停止动作命令以及用于在人工维护结束之后使该基板处理装置自动地转变为适于通常运转的状态的启动动作命令作为一个宏来保存的功能，该编辑装置具备:显示部，其使上述停止动作命令和上述启动动作命令这双方显示在一个编辑画面上；编辑部，其能够根据输入装置的输入在上述一个编辑画面上编辑包括停止动作命令和启动动作命令这双方的一个宏；以及发送部，其对上述基板处理装置发送由上述编辑部编辑后的上述一个宏。
[0015]并且，本发明提供一种编辑方法，该编辑方法用于编辑在基板处理装置中使用的动作命令，该基板处理装置具有将用于使基板处理装置从通常运转状态自动地转变为适于人工维护的状态的停止动作命令以及用于在人工维护结束之后使该基板处理装置自动地转变为适于通常运转的状态的启动动作命令作为一个宏来保存的功能，该编辑方法包括:显示步骤，使上述停止动作命令和上述启动动作命令这双方显示在一个编辑画面上；编辑步骤，能够根据输入装置的输入在上述一个编辑画面上编辑包括停止动作命令和启动动作命令这双方的一个宏；以及发送步骤，对上述基板处理装置发送通过上述编辑步骤编辑后的上述一个宏。
[0016]并且，本发明提供一种存储介质，该存储介质存储有用于编辑在基板处理装置中使用的动作命令的上述编辑方法的程序，该基板处理装置具有将用于使基板处理装置从通常运转状态自动地转变为适于人工维护的状态的停止动作命令以及用于在人工维护结束之后使该基板处理装置自动地转变为适于通常运转的状态的启动动作命令作为一个宏来保存的功能。
_7] 发明的效果
[0018]根据本发明，能够在一个编辑画面上编辑由停止动作命令和启动动作命令构成的宏，因此能够由用户容易且可靠地设定停止和启动所需的过程。
【附图说明】
[0019]图1是概要性地表示作为基板处理装置的一个实施方式的镀敷处理系统的整体结构的俯视图。
[0020]图2是用于说明由镀敷处理系统执行的处理的基板的截面图。
[0021]图3是概要性地表示镀敷处理模块的结构的纵向剖视图。
[0022]图4是表示液体供给机构的结构的一例的配管图。
[0023]图5是概要性地表示镀敷处理模块的结构的俯视图。
[0024]图6是概要性地表示烘烤模块的结构的纵向剖视图。
[0025]图7是用于说明制程的结构的图。
[0026]图8是说明编辑画面的图。
[0027]图9是说明编辑画面的图。
[0028]图10是说明编辑画面的图。
[0029]图11是说明编辑画面的图。
[0030]图12是说明编辑画面的图。
[0031]附图标记说曰月
[0032]10:基板处理装置；19:控制装置；19B:显示装置；19C:输入装置。
【具体实施方式】
[0033]以下，参照附图来说明本发明的一个实施方式。以下，说明作为基板处理装置(基板处理系统)的一例的镀敷处理系统。镀敷处理系统10对半导体晶圆等具有凹部2a的基板(硅基板)2 (参照图2)实施镀敷处理。
[0034]如图1所示，镀敷处理系统10具有卡匣承接站(cassette stat1n) 18，该卡匣承接站18载置收纳有基板2的卡匣(cassette，未图示)。基板输送机构11从卡匣承接站18上的卡匣中取出基板2，将基板输送到后述的各种处理模块12?17。基板输送机构11具有第一输送臂Ila和第二输送臂lib。在卡匣承接站18附近移动的第一输送臂Ila将基板2从卡匣中取出并转运至基板缓冲器11c，第二输送臂Ilb将基板2从基板缓冲器Ilc搬入到偶联处理模块12，并且还负责在各种处理模块12?17之间的基板的输送。完成了一系列处理的基板通过第二输送臂Ilb返回至基板缓冲器11c，进而通过第一输送臂Ila返回至卡匣内的相同位置。
[0035]在第二输送臂Ilb的移动路径Ild的一侧配置有偶联处理模块12、催化剂层形成模块13以及化学镀敷处理模块14。在移动路径Ild的另一侧配置有烘烤(bake)模块15和化学镀敷处理模块16。另外，与烘烤模块15相邻地配置有电解镀敷处理模块17。
[0036]对于上述镀敷处理系统的各结构部件、例如卡匣承接站18、基板输送机构11、偶联处理模块12、催化剂层形成模块13、化学镀敷处理模块14、烘烤模块15、化学镀敷处理模块16以及电解镀敷处理模块17，都由控制装置19按照设置于控制装置19的存储介质19A中存储的各种程序进行驱动控制，由此对基板2进行各种处理。在此，存储介质19A存储有各种设定数据、后述的镀敷处理程序等各种程序。作为存储介质19A，能够使用计算机可读取的ROM、RAM等存储器、硬盘、CD-ROM、DVD-ROM、软盘等盘状存储介质等公知的介质。
[0037]在控制装置19上连接有显示器(显示装置)19B和输入装置19C。显示器19B和输入装置19C既可以是这两者合并而成的触摸面板显示器，也可以是不具有触摸面板功能的显示器与键盘、鼠标、触摸板等输入装置的组合。此外，以下，为了简化说明，以显示器19B和输入装置19C是这两者合并而成的触摸面板显示器且能够通过在画面上进行触摸来进行全部的输入操作为前提进行说明。
[0038]化学镀敷处理模块14和16均具有图3和图5所示的结构。化学镀敷处理模块14、16具备:基板旋转保持机构(基板收容部)110，其用于在外壳101的内部使基板2旋转并保持基板2 ;液体供给机构30、90，其向基板2的表面供给镀液、清洗液等；杯105，其接受从基板2飞散的镀液、清洗液等；排出