给箱的动作之间在作用上和时间上存在密切的关系，因此在本实施方式中采取这样的从属方式。
[0070]例如，如果存在“(I)保持基板2的输送臂Ilb进入化学镀敷处理模块14内”这样的输送制程的步骤，则与该步骤相关联地存在“(2)化学镀敷处理模块14的基板旋转保持机构110接受输送臂Ilb所保持的基板2”这样的处理模块制程的步骤。在处理模块制程的步骤(2)完成之后，在化学镀敷处理模块14中执行处理模块制程的各种步骤。也就是说，以从属于上述输送制程的步骤(I)的形式定义了处理模块制程的步骤(2)及其后的各种步骤。
[0071]“虚拟分配制程”定义各种处理液从喷出喷嘴32、92的虚拟喷出(未进行基板处理时的各种处理液从喷出喷嘴32、92的喷出)。例如，在向基板喷出进行温度控制后的处理液(加温后的处理液)时，在产品基板的处理开始之前，预先使加温后的处理液在喷出喷嘴(32、92等)以及与该喷出喷嘴相连接的液体供给管线中流通一定时间(将这样的与产品基板的处理没有直接关系的喷出称为“虚拟分配(日语:夂彡一r 4)”)来使喷出喷嘴和液体供给管线变温，由此能够从第一个产品基板开始供给温度稳定的处理液。这样的操作在能够与处理模块制程相独立地进行时更为方便，因此虚拟分配制程相对于输送制程和处理模块制程而独立。
[0072]例如在使用具有高污染性(有可能成为交叉污染的主要原因)或者难以去除的处理液的处理模块中，有时会设置有定期地清洗杯(杯105等)的清洗喷嘴等，“模块清洗制程”是定义这样的清洗单元的动作的制程。模块清洗制程也相对于输送制程和处理模块制程而独立。
[0073]接着，说明如下操作:在上述镀敷处理系统10中，将用于在进行人工维护时使镀敷处理系统10从通常运转状态自动地转变为适于人工维护的状态的一组停止动作命令(制程步骤)以及用于在人工维护结束之后使该基板处理装置自动地转变为适于通常运转的状态的一组启动动作命令编辑成一个宏(“维护宏(maintenance macro)”)并保存。
[0074]首先，当从主画面的菜单栏(未图示)(位于与位于图8的上部的菜单/工具栏区域301、302相同的区域)中选择“制程列表画面显示”时，例如显示图8所示的制程列表画面300。在该制程列表画面300的左侧区域303中显示按制程种类整理的文件夹(与上述输送制程、处理模块制程、虚拟分配制程等对应)的列表。此外，“维护宏”也是动作命令(制程步骤)的集合体，因此当然是“制程”的一种。
[0075]此外，当在该画面上通过触摸来选择某一个文件夹时，在该制程列表画面300的右侧区域304中显示与该文件夹对应的种类的制程的一览。
[0076]现在开始要编辑“维护宏”，因此触摸“维护宏”的文件夹。于是，如在图8的右侧区域304中显示的那样显示“维护宏1”、“维护宏2”等制程名称(维护宏的名称)。
[0077]在此，当通过触摸等来选择“维护宏I”的行、并在该状态下触摸位于画面下部的“编辑制程”的虚拟按钮305时，显示后述的图9的制程编辑画面，能够编辑已经创建并登记的制程。
[0078]在此，设编辑新的维护宏。在该情况下，触摸位于画面下部的“创建新制程”的虚拟按钮306。于是，显示图9的制程编辑画面400。
[0079]制程编辑画面400具有与自动停止有关的显示区域403以及与自动启动有关的显示区域404。附图标记401、402是用于显示菜单、工具栏、数据等的区域。在区域402中显示此时被显示的维护宏的名称(在已经决定的情况下)等。
[0080]在与自动停止有关的显示区域403中记述用于从镀敷处理系统10正在进行通常运转的状态起使该镀敷处理系统10的一部分或者全部停止(停机(shut down))来自动地转变为适于人工维护的状态的一组停止动作命令(制程步骤)。
[0081]在与自动启动有关的显示区域404中记述用于在人工维护结束之后使镀敷处理系统10自动地转变为适于通常运转的状态的一组启动动作命令(制程步骤)。
[0082]以下，说明显示区域403的编辑。
[0083]设当前在显示区域403中没有任何记述。当在该状态下触摸显示区域403的最上部(在图9中显示为“I输送晶圆Trs/PM/COOl/004/A2”的区域)来选择该区域，并进一步触摸与显示区域403对应的“编辑步骤”的虚拟按钮405时，进行用于促使关于作为一系列自动启动工序中的第一工序而被实施的制程步骤进行输入的显示。也就是说，例如在图9中，在显示为“I输送晶圆Trs/PM/COOl/004/A2”的区域中仅显示有左端的“ 1，”通过变更该区域的明亮度、色彩等来对该区域进行突出显示。
[0084]当在该状态下触摸“处理种类”的虚拟按钮406时，弹出图10所示那样的小画面500。构成维护宏的动作命令是从预先准备的处理的列表中选择出来的，能够通过图10所示的画面来进行选择。
[0085]在此，首先，设为了停止而最初进行的动作为“使在通常运转时内部温度较高的处理模块的温度下降至不妨碍人工维护的程度的温度”。在该情况下，由处理模块制程来管理处理模块的温度，并且，如上所述，处理模块制程从属于输送制程。因此，在图10的画面上触摸“输送”。
[0086]于是，在其它画面上显示输送制程的各动作命令(输送制程步骤)以及从属于该输送制程的处理模块制程的各动作命令(处理制程步骤)的一览，但是此处对此并未详细地进行图示。在进行显示后，触摸显示有所需的动作命令的行，例如当以烘烤模块15为例时触摸显示有与“冷却烘烤模块”对应的动作命令的行，来选择该动作命令。此外，作为与冷却烘烤模块对应的动作，具体地说，例如例示热板15A的电源关闭、打开气体供给口 15c和气体排气口 15b以使冷却空气流动等。
[0087]选择动作命令、且对在显示有上述输送制程和处理模块制程的动作命令的一览的未图示的画面上显示的未图示的“确定”按钮进行触摸，由此确定其选择，如图9所示那样进行“I输送晶圆Trs/PM/Cool/004/A2”这样的显示。在此，“晶圆Trs/PM/Cool/004/A2”是与“冷却烘烤模块”对应的制程步骤名称。此外，在上述画面上还显示“中止”按钮(未图示)，在想要中止选择的情况下，只要触摸该按钮即可。
[0088]设为了停止而接着进行的动作为“为了过滤器更换和传感器清洁而进行冲洗，以清洗液体供给箱的容器和管路”。此外，冲洗(flashing)是指以下操作:(例如使用容器液补充部916)向流通液体的贮存部和/或管路(例如图2的容器902和循环管线904)填充干净的液体，使该液体在上述贮存部和/或管路内流动，接着(例如使用排液部918)扔掉该液体，由此清洗上述贮存部和/或管路。
[0089]当在该状态下对显示区域403的紧挨着显示为“I输送晶圆Trs/PM/Cool/004/A2”的区域的下方的处于空栏状态的行进行触摸来选择该区域，并进一步触摸与显示区域403对应的“编辑步骤”的虚拟按钮405时，进行用于促使关于作为一系列自动启动工序中的第二工序而被实施的制程步骤进行输入的显示。也就是说，例如在图9中，在显示为“2冲洗DHF-CAB冲洗三次”的区域中仅显示有“2，”通过变更该区域的明亮度、色彩等来对该区域进行突出显示。
[0090]当在该状态下触摸“处理种类”的虚拟按钮406时，弹出图10所示那样的小画面500。在本例中，触摸图10的“冲洗”按钮。
[0091]于是，弹出图11所示那样的小画面600。操作人员通过触摸各虚拟按钮来选择“进行”冲洗和“不进行”冲洗中的任一方，在进行冲洗的情况下，触摸作为冲洗对象的液体供给箱来进行选择。在此，从箱A?E中选择所期望的箱。并且，选择冲洗次数。
[0092]在上述选择结束之后，当触摸小画面600中的“确定”的虚拟按钮时，上述选择被确定，在图9的显示区域403的第二行中进行“2冲洗DHF CAB冲洗三次”这样的显示。这意味着例如对DHF液体供给箱进行三次冲洗。
[0093]设为了停止而接着进行的动作为排出与上述相同的液体供给箱的液体(排液)。在该情况下，与上述同样地进行图9所示的显示区域403的第三行的编辑。在从图10的小画面500中选择了“排液”时，显示与图11类似的小画面。在该画面中显示用于“进行/不进行”排液的选择、作为进行排液的对象的液体供给箱的选择以及“确定”、“中止”的选择的虚拟按钮。
[0094]与上述同样地，将所需数量的为了停止而所需的制程步骤(动作命令)登记下去。
[0095]在登记自动停止所需的制程步骤后，接着登记自动启动所需的制程步骤。登记的过程与上述的停止所需的制程步骤的登记相同。但是，所使用的“编辑步骤”、“处理种类”的虚拟按钮使用另外的虚拟按钮(位于图9的右侧的虚拟按钮)。
[0096]简单地说明在图10的小画面500中能够选择的处理种类。在图10的画面中选择了“虚拟分配”的情况下，弹出显示有虚拟分配制程的制程步骤列表的新画面。在该制程步骤列表中以“从处理模块A的喷出喷嘴B将处理液C喷出D秒钟”的形式记载有能够执行的虚拟分配的一览。通过从该列表中选择适当的内容并触摸该画面上的“确定”，来在图9所示的用于显示用于启动的制程步骤的显示区域404中显示例如“虚拟Dis/PM/SCl/091/B4”这样的制程步骤名称。
[0097]在图10的画面中选择了“液体更换”的情况下，显示用于“进行/不进行”液体更换的选择、要进行液体更换的液体供给箱的选择以及“确定”、“中止”的选择的虚拟按钮。
[0098]在自动启动所需的制程步骤的登记结束后，当触摸图9的下方的“保存”的虚拟按钮407时，由在图9中显示的制程步骤的组构成的新的维护宏被登记。在本实施方式中，在登记时自动地赋予维护宏的名称。如果作为维护宏的名称已经登记有“维护宏1”、“维护宏2”，则以“维护宏3”的名称进行登记。此外，也可以不自动赋予名称，而是使用能够显示在编辑画面上的