未图示的虚拟键盘来以任意的名称进行登记。
[0099]接着，说明利用所保存的维护宏进行的自动停止、人工维护以及自动启动。
[0100]当触摸主画面的菜单栏(未图示)内的“操作列表”(未图示)的虚拟按钮时，操作列表被展开地显示。在操作列表中除了包括“用于处理通常的产品基板的处理制程的执行”、“处理制程的传送、接收等”等项目以外，还包括“维护制程的执行”这样的项目。当触摸“维护制程的执行”时，切换为如图12所示那样的维护制程执行画面700。
[0101]当在图12所示的画面上触摸“选择维护宏”的虚拟按钮702时，打开表示所登记的维护宏的一览的另外的小画面(未图示)。当在该画面上选择适当的维护宏并触摸“确定”时，所选择的维护宏、在此为“维护宏3”显示在区域703中，并且用于停止的制程步骤和用于启动的制程步骤以与图9所示的显示大致相同的形式显示在画面上的区域704、705中。例如，图9的画面400的区域403、404中记载的事项与图12的画面700的区域704、705中记载的事项彼此分别相同。而且，如果所选择的维护宏没错，则触摸“预约”的虚拟按钮 706。
[0102]如果当前镀敷处理系统正在进行通常运转，则使维护宏的执行开始待机直到在该时间点预定的所有的基板的处理结束为止，在所有的基板的处理结束时开始执行维护宏。
[0103]首先，按登记顺序自动地执行停止用的制程步骤。在全部的停止用的制程步骤结束后，镀敷处理系统成为能够开始人工维护的状况。操作人员或者作业人员在按下设置于装置的未图示的“开始”按钮之后开始人工维护。在人工维护结束并且作业人员从镀敷处理系统中退出后，按下设置于装置的未图示的“结束”按钮。于是，按登记顺序自动地执行启动用的制程步骤。此外，在区域707中显示当前时间点执行的工序即自动停止、人工维护以及自动启动中的任一个。另外，通过对区域704和区域705中的与执行中的工序对应的编号的行进行突出显示，可获知当前执行的是哪一道工序。此外，能够通过触摸“中止”的虚拟按钮708来中止自动停止和自动启动。
[0104]在启动用的制程步骤全部结束后，转变为通常运转、即能够立即处理产品基板的状态。但是，也能够在开始处理产品基板之前进行监测基板的处理及其处理结果的确认，确认镀敷处理系统是否处于适当的状态。
[0105]根据上述实施方式，镀敷处理系统10的控制装置19具有将用于使镀敷处理系统10从通常运转状态自动地转变为适于人工维护的状态的一组停止动作命令以及用于在人工维护结束之后使镀敷处理系统10自动地转变为适于通常运转的状态的一组启动动作命令作为一个宏来保存的功能。而且，能够将这样的一组停止动作命令和一组启动动作命令这双方显示在显示器19b的一个编辑画面上，并且能够通过输入装置19c在该一个编辑画面上编辑一个宏。另外，能够在显示器19b的一个编辑画面上确认构成正在编辑的宏和编辑完成的宏的一组停止动作命令和一组启动动作命令这双方。
[0106]因此，操作人员能够一边将镀敷处理系统10的人工维护之前的系统停止和人工维护之后的系统启动这两者相关联地掌握、一边编辑维护宏。因此，能够防止维护宏内包含的制程步骤的过多或过少乃至错误，能够进行可靠且高效率的维护。
[0107]此外，在上述实施方式中，说明了与作为基板处理装置的一例的镀敷处理系统10的维护相关联地编辑维护宏的情况，但是并不限定于此。基板处理装置也可以是其它方式的装置。例如，基板处理装置也可以仅具有多个药液清洗模块来作为处理模块。另外，基板处理装置例如也可以是具备多个抗蚀剂涂布模块、防反射膜形成模块、显影模块、清洗模块、烘烤模块等来作为处理模块的用于光刻技术的进行膜形成的涂布显影装置。并且，也可以是将气体导入到反应室内并通过热化学反应来进行CVD、蚀刻等处理的装置。
[0108]维护宏内包含的制程步骤的内容能够与基板处理装置内包含的处理模块的结构、由处理模块执行的处理的种类等相应地变更。例如，若是烘烤(加热)模块，则例如只要在停止时降低该模块的温度就足够，在停止时对该模块执行的制程步骤有时是唯一的，即对该模块仅进行降温。即，维护宏内包含的停止动作命令、启动动作命令不必一定是多个，根据情况，可以仅包含输送制程等，只要分别包含至少一个即可。另外，例如在温度较高的环境下进行药液处理的处理模块的情况下，在停止时对该模块执行的制程步骤还有时涉及该模块的降温、模块清洗、相关联的液体供给箱的冲洗和排液等多方面。
[0109]在上述实施方式中，说明了基板处理装置的控制装置19使用其显示器和输入装置来编辑维护宏的例子，但是也可以是在外部的个人计算机(PC)等通用的信息处理装置中使用存储介质等来安装专用软件，来实现与上述实施方式相同的功能。在该情况下，PC成为编辑装置，与PC相连接的显示器作为显示装置而发挥功能，鼠标、键盘作为输入装置而发挥功能。另外，通过利用PC执行所安装的软件，来实现在一个编辑画面上显示停止动作命令和启动动作命令的显示部、能够根据输入装置的输入来在上述一个编辑画面上编辑包括停止动作命令和启动动作命令这双方的一个宏的编辑部以及对上述基板处理装置发送由编辑部编辑后的上述一个宏的发送部。PC进行到生成宏，经由网络等向基板处理装置发送所生成的宏。在基板处理装置侧执行宏时，进行与上述实施方式的基板处理装置同样的动作。
【主权项】
1.一种基板处理装置，具备控制装置，该控制装置具有将用于使基板处理装置从通常运转状态自动地转变为适于人工维护的状态的停止动作命令以及用于在人工维护结束之后使该基板处理装置自动地转变为适于通常运转的状态的启动动作命令作为一个宏来保存的功能，并根据上述宏来控制该基板处理装置的动作，该基板处理装置的特征在于，还具备: 输入装置，其用于向上述控制装置输入动作命令；以及 显示装置，其显示与输入到上述控制装置的动作命令相关联的信息， 其中，上述控制装置使上述停止动作命令和上述启动动作命令这双方显示在上述显示装置的一个编辑画面上，并且使得能够通过上述输入装置在该一个编辑画面上编辑上述宏。
2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于， 从与在通常运转状态时使用的输送制程或者从属于该输送制程的制程内包含的制程步骤对应的动作命令中选择上述宏内包含的上述停止动作命令和上述启动动作命令中的至少一部分。
3.根据权利要求1或者2所述的基板处理装置，其特征在于， 能够在上述编辑画面上设定一组停止动作命令的执行顺序和一组启动动作命令的执行顺序。
4.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于， 为了执行上述宏而在上述显示装置中显示一个执行画面，在该一个执行画面上显示构成上述宏的一组上述停止动作命令和一组上述启动动作命令这双方。
5.根据权利要求4所述的基板处理装置，其特征在于， 在上述执行画面上对与当前正在执行的动作命令对应的区域进行突出显示。
6.一种基板处理方法，用于在基板处理装置中实现编辑和显示维护制程的功能，该基板处理装置具备:控制装置，其具有将用于使基板处理装置从通常运转状态自动地转变为适于人工维护的状态的停止动作命令以及用于在人工维护结束之后使该基板处理装置自动地转变为适于通常运转的状态的启动动作命令作为一个宏来保存的功能；输入装置，其用于向上述控制装置输入动作命令；以及显示装置，其显示与输入到上述控制装置的动作命令相关联的信息，该基板处理方法的特征在于，包括: 使上述停止动作命令和上述启动动作命令这双方显示在上述显示装置的一个编辑画面上； 通过上述输入装置在该一个编辑画面上编辑上述宏；以及 根据编辑后的上述宏来控制上述基板处理装置的动作。
7.—种编辑装置，编辑在基板处理装置中使用的动作命令，该基板处理装置具有将用于使基板处理装置从通常运转状态自动地转变为适于人工维护的状态的停止动作命令以及用于在人工维护结束之后使该基板处理装置自动地转变为适于通常运转的状态的启动动作命令作为一个宏来保存的功能，该编辑装置具备: 显示部，其使上述停止动作命令和上述启动动作命令这双方显示在一个编辑画面上； 编辑部，其能够根据输入装置的输入在上述一个编辑画面上编辑包括停止动作命令和启动动作命令这双方的一个宏；以及 发送部，其对上述基板处理装置发送由上述编辑部编辑后的上述一个宏。
8.—种编辑方法，用于编辑在基板处理装置中使用的动作命令，该基板处理装置具有将用于使基板处理装置从通常运转状态自动地转变为适于人工维护的状态的停止动作命令以及用于在人工维护结束之后使该基板处理装置自动地转变为适于通常运转的状态的启动动作命令作为一个宏来保存的功能，该编辑方法包括: 显示步骤，使上述停止动作命令和上述启动动作命令这双方显示在一个编辑画面上；编辑步骤，能够根据输入装置的输入在上述一个编辑画面上编辑包括停止动作命令和启动动作命令这双方的一个宏；以及 发送步骤，对上述基板处理装置发送通过上述编辑步骤编辑后的上述一个宏。
【专利摘要】提供基板处理装置、基板处理方法、编辑装置以及编辑方法。由用户容易且可靠地设定在人工维护前后要进行的基板处理装置的停止和启动所需的过程。基板处理装置的控制装置具有将用于使基板处理装置从通常运转状态自动地转变为适于人工维护的状态的停止动作命令以及用于在人工维护结束之后使基板处理装置自动地转变为适于通常运转的状态的启动动作命令作为一个宏来保存的功能，使上述停止动作命令和上述启动动作命令这双方显示在显示装置的一个编辑画面(400)上，并且能够通过输入装置在该一个编辑画面上编辑上述宏。
【IPC分类】H01L21-67, G06F3-0488
【公开号】CN104821286
【申请号】CN201510051937
【发明人】汤浅正一郞, 藤本邦彦
【申请人】东京毅力科创株式会社
【公开日】2015年8月5日
【申请日】2015年1月30日
【公告号】US20150220136