指发射传感器281、接收传感器282与贯穿孔241位于一直线上。在图示的实施例中，即发射传感器281、接收传感器282所在的高度与贯穿孔241位于滚轴240上的高度一致。发射传感器281发射光信号，接收传感器282与控制器相连接，接收传感器282接收光信号，将光信号转换为电信号并将接收信息发送至控制器。只有当发射传感器281和接收传感器282与贯穿孔241正对着时，接收传感器282才能够通过穿孔241接收发射传感器281发出的光信号，否则，滚轴240会遮挡发射传感器281发出的光信号，使得接收传感器282无法接收到光信号。
[0022]当驱动组件带动驱动轮旋转,驱动轮通过皮带250带动滚轴240旋转时,滚轴240每旋转一圈，接收传感器282能够接收到2次光信号。设定单位时间内滚轴240旋转N圈，那么相应地，单位时间内，接收传感器282能够接收到2N次光信号。如果接收传感器282在单位时间内能够接收到2N次光信号，则表明滚轴240 —直在转动；如果单位时间内接收传感器282 —直能够接收到发射传感器281发出的光信号或者一直无法接收到光信号，则认为滚轴240停止转动，控制器输出报警信号。
[0023]除了监测与驱动轮通过皮带250相连接的滚轴240外，还可以采取同样的方式对其他两个滚轴240或任意一滚轴240进行监测。
[0024]参阅图4，揭示了本发明的晶圆清洗装置的第二实施例的结构示意图。第二实施例中，检测装置包括传感器381、检测体382和控制器。与驱动轮通过皮带350相连接的滚轴340在其伸出清洗腔310以外的部分上设置有检测体382。传感器381安装在清洗腔310的外壁，且传感器381布置在设置有检测体382的滚轴340的一侧，传感器381与检测体382对齐。在图示的实施例中，对齐的含义是传感器381所在的高度与检测体382位于滚轴340上的高度一致，传感器381与控制器相连接。当传感器381与检测体382对准时，传感器381能够检测到检测体382。此处，对准的含义是指传感器381与检测体382面对面正对。在一个实施例中，传感器381为光电式传感器，检测体382发射光信号，当检测体382与传感器382对准时，传感器381接收检测体382发射的光信号，转换为电信号并提供至控制器。于是，只有当传感器381与检测体382正对着时，传感器381才能够检测到检测体382，否则，传感器381无法检测到检测体382。
[0025]当驱动组件带动驱动轮旋转,驱动轮通过皮带350带动滚轴340旋转时,滚轴340每旋转一圈，传感器381能够检测到一次检测体382。设定单位时间内滚轴340旋转N圈，那么相应地，单位时间内，传感器381能够检测到N次检测体382。如果传感器381在单位时间内能够检测到N次检测体382，则表明滚轴340 —直在转动；如果传感器381在单位时间内一直能够检测到检测体382或者一直无法检测到检测体382，则认为滚轴340停止转动，控制器输出报警信号。
[0026]除了监测与驱动轮通过皮带350相连接的滚轴340外，还可以采取同样的方式对其他两个滚轴340或任意一滚轴340进行监测。
[0027]由上述可知，本发明通过设置检测装置，如一对光电式传感器或传感器与检测体，在晶圆清洗过程中，能够检测带动晶圆旋转的滚轮及滚轴是否在转动，从而使晶圆的清洗效果能够得到保障，提升器件的合格率。
[0028]综上所述，本发明通过上述实施方式及相关图式说明，己具体、详实的揭露了相关技术，使本领域的技术人员可以据以实施。而以上所述实施例只是用来说明本发明，而不是用来限制本发明的，本发明的权利范围，应由本发明的权利要求来界定。至于本文中所述元件数目的改变或等效元件的代替等仍都应属于本发明的权利范围。
【主权项】
1.一种晶圆清洗装置，包括清洗腔、清洗刷、滚轴和滚轮，清洗刷安装在清洗腔内，滚轴的第一端位于清洗腔内，滚轮安装在滚轴的第一端上，该滚轴的第二端延伸到清洗腔外并连接到驱动轮，驱动轮驱动滚轴转动，其特征在于，还包括检测装置，所述检测装置检测滚轴是否旋转，所述检测装置收发信号，检测装置根据所述信号的收发情况判断滚轴是否旋转。
2.根据权利要求1所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述滚轴伸出清洗腔外的部分上具有径向的贯穿孔，所述检测装置包括发射传感器、接收传感器和控制器，发射传感器和接收传感器相对布置在滚轴的两侧并与所述贯穿孔对齐，发射传感器发射信号，接收传感器与控制器相连接，接收传感器通过接收穿过贯穿孔的信号并将接收信息发送至控制器，滚轴每旋转一圈，接收传感器能够接收到2次信号，设定单位时间内滚轴旋转N圈，如果接收传感器在单位时间内能够接收到2N次信号，则表明滚轴一直在转动，如果单位时间内接收传感器一直能够接收到信号或者一直无法接收到信号，则认为滚轴停止转动，控制器输出报警信号。
3.根据权利要求2所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述发射传感器和接收传感器为光电式传感器，发射传感器发射光信号，接收传感器接收穿过贯穿孔的光信号，将光信号转换为电信号并发送至控制器。
4.根据权利要求1所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述检测装置包括传感器、检测体和控制器，检测体设置在滚轴伸出清洗腔外的部分上，传感器布置在滚轴的一侧并与所述检测体对齐，当检测体与传感器对准时，传感器能够检测到检测体，传感器与控制器相连接，滚轴每旋转一圈，传感器能够检测到一次检测体，设定单位时间内滚轴旋转N圈，如果传感器在单位时间内能够检测到N次检测体，则表明滚轴一直在转动，如果传感器在单位时间内一直能够检测到检测体或者一直无法检测到检测体，则认为滚轴停止转动，控制器输出报警信号。
5.根据权利要求4所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述传感器为光电式传感器，所述检测体发射光信号，当检测体与传感器对准时，传感器接收检测体发射的光信号，转换为电信号并提供至控制器。
【专利摘要】本发明揭示了一种晶圆清洗装置，包括清洗腔、清洗刷、滚轴和滚轮，清洗刷安装在清洗腔内，滚轴的第一端位于清洗腔内，滚轮安装在滚轴的第一端上，该滚轴的第二端延伸到清洗腔外并连接到驱动轮，驱动轮驱动滚轴转动。该晶圆清洗装置还包括检测装置，检测装置检测滚轴是否旋转，检测装置收发信号，检测装置根据信号的收发情况判断滚轴是否旋转。本发明通过设置检测装置，由检测装置通过信号的收发来判断滚轴是否在正常转动。在晶圆清洗过程中，能够检测带动晶圆旋转的滚轮及滚轴是否在转动，从而使晶圆的清洗效果能够得到保障，提升器件的合格率。
【IPC分类】H01L21-02
【公开号】CN104867810
【申请号】CN201410065684
【发明人】杨贵璞, 王坚, 王晖
【申请人】盛美半导体设备（上海）有限公司
【公开日】2015年8月26日
【申请日】2014年2月26日